一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置制造方法及图纸

技术编号:28547451 阅读:55 留言:0更新日期:2021-05-25 17:38
本发明专利技术涉及一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置,属于晶体材料制备存储技术领域,包括支架、贮存舱、石英储藏管、左支撑法兰、右支撑法兰、左密封端盖、右密封端盖、管道、开关阀Ⅰ、主管道、开关阀Ⅱ、抽真空管路、真空过渡舱、真空泵、真空压力表;本发明专利技术通过设置一个贮存舱,并在贮存舱中设置多根石英储藏管,利用单根的石英储藏管来实现原材料、半制成品或制成品的真空贮存;同时单根石英储藏管上都设置泄漏触发器来检测是否漏气,以检测石英储藏管是否出现漏气的情况,可通过控制启动真空泵抽真空,防止泄漏进入的空气使材料氧化变质。

【技术实现步骤摘要】
一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置
本专利技术属于晶体材料制备存储
,具体地说,涉及一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置。
技术介绍
碲锌镉等单晶材料的制备,需要经过原材料提纯、摇摆混合、晶体生长、退火或切割等工艺环节,每个工艺环节都有一定流转时间,需要数小时甚至数天,在这过程中,原材料、半制成品或制成品容易暴露在空气中,但其表面与氧气等接触又容易导致材料氧化,最终影响到材料纯度和品质。另外,碲锌镉等单晶材料在加工过程中,进行切片、抛光、刻蚀等会促使切削面与空气中氧气接触,表面发生氧化反应,破坏原材料或制成品晶体材料的表面结构,影响其性能。因此,制备过程中每个工艺环节结束后,需立即将其贮存在真空装置内,缩短材料在空气中暴露时间,是保证碲锌镉等单晶材料制备品质的重要手段。对于制备的半成品或成品,贮存时间有时长达数月甚至1年或2年,确保贮存环境与空气隔离至关重要。目前的技术是将原材料、半制成品或制成品放置在圆形或矩形容器内,贮存容器与真空泵之间连接真空管路,真空管路上安装有截止阀。原材料、半制成品或制成品放置好后,关闭贮存容积,打开截止阀,启动真空泵,将贮存容积内的空气抽走,关闭截止阀,使原材料、半制成品或制成品贮存在真空环境。需要取出原材料、半制成品或制成品时,打开截止阀,将空气放入真空贮存箱内,使箱体内外压力平衡。再打开贮存箱盖,取出原材料、半制成品或制成品。上述技术存在的不足主要有两点:一是圆形或矩形容器为一个大容器,每次在打开容器盖取原材料、半制成品或制成品的过程中,都会导致其他材料及成品暴露在空气中;二是长时间贮存过程中,人工难于识别贮存箱是否泄漏,泄漏多少,泄漏后会导致原材料、半制成品或制成品在圆形或矩形容器内氧化且极难识别。因此,有必要对现有的技术改进。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中存在的问题,本专利技术提供一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置,通过设置一个贮存舱,并在贮存舱中设置多根石英储藏管,利用单根的石英储藏管来实现原材料、半制成品或制成品的真空贮存;同时单根石英储藏管上都设置泄漏触发器来检测是否漏气,以解决泄漏难于发现且不能及时报警提醒的技术问题。为实现上述目的,本专利技术是通过如下技术方案实现的:一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置包括支架1、贮存舱2、石英储藏管3、左支撑法兰4、右支撑法兰5、左密封端盖6、右密封端盖7、管道8、开关阀Ⅰ9、主管道10、开关阀Ⅱ11、抽真空管路12、真空过渡舱13、真空泵14、真空压力表15,所述的贮存舱2固定安装在支架1上,贮存舱2的左右两侧壁上安装有均匀排列的左支撑法兰4、右支撑法兰5,且左支撑法兰4与右支撑法兰5一一对应,石英储藏管3的左右两端分别安装在左支撑法兰4与右支撑法兰5上,石英储藏管3的左右两端口分别通过左法兰密封端盖6、右密封端盖7,每个石英储藏管3的左法兰密封端盖6上设置有与石英储藏管3内腔连通的管道8,每根管道8上设置有开关阀Ⅰ9,所有管道8与主管道10的一端连接,主管道10的另一端与抽真空管路12的一端连接,抽真空管路12上安装有开关阀Ⅱ11,抽真空管路12的另一端与真空过渡舱13连接,真空过渡舱13通过管路与真空泵14,每根管道8上分别设置有真空压力表15;真空压力表15与PLC控制器18连接,PLC控制器18分别与开关阀Ⅱ11以及每根管道8上的开关阀Ⅰ9连接,真空泵14通过电磁阀与PLC控制器18连接。进一步,每根管道8上设置有泄漏触发器16,泄漏触发器16与PLC控制器18连接,PLC控制器18与报警灯17连接。进一步,所述的泄漏触发器16包括阀底座20、底座密封圈21、阀体22、导向头23、弹簧24、导向杆25、顶杆26、顶杆密封圈27、行程开关28、安装板29,所述的阀体22固定安装在石英储藏管3与开关阀Ⅰ9之间的管道8上,通过真空状态检测管19与管道8连接,真空状态检测管19与阀底座20固定为一体,阀底座20安装在阀体22的阀内腔30内,阀底座20与阀体22连接端部设置有底座密封圈21,阀底座20位于阀内腔30中的一端端部开设有一个凹槽,凹槽底部设置有一个导向头23,导向头23与的中部开设有与真空状态检测管19和凹槽连通的气流通道31;阀内腔30中安装有导向杆25,弹簧24套接在导向杆25与导向头23上,导向杆25上设置有与阀内腔30的内壁密封的顶杆密封圈27,导向杆25的另一端设置有穿出阀体22的顶杆26;阀体22的外壁上设置有安装板29,行程开关28固定安装在安装板29上,行程开关28的触头32正对顶杆26;行程开关28与PLC控制器18连接。进一步,主管道10上设置有氮气管道33,氮气管道33上安装有开关阀Ⅲ34,开关阀Ⅲ34与PLC控制器18连接,氮气管道33与氮气罐35连接。本专利技术的有益效果:本专利技术通过设置一个贮存舱,并在贮存舱中设置多根石英储藏管,利用单根的石英储藏管来实现原材料、半制成品或制成品的真空贮存;同时单根石英储藏管上都设置泄漏触发器来检测是否漏气,以检测石英储藏管是否出现漏气的情况,可通过控制启动真空泵抽真空,防止泄漏进入的空气使材料氧化变质。附图说明图1为本专利技术的结构示意图;图2为本专利技术的泄漏触发器的结构示意图;图3为本专利技术的电路控制示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例和附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。如图1、3所示,一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置包括支架1、贮存舱2、石英储藏管3、左支撑法兰4、右支撑法兰5、左密封端盖6、右密封端盖7、管道8、开关阀Ⅰ9、主管道10、开关阀Ⅱ11、抽真空管路12、真空过渡舱13、真空泵14、真空压力表15。所述的贮存舱2固定安装在支架1上,贮存舱2的左右两侧壁上安装有均匀排列的左支撑法兰4、右支撑法兰5,且左支撑法兰4与右支撑法兰5一一对应,石英储藏管3的左右两端分别安装在左支撑法兰4与右支撑法兰5上,石英储藏管3的左右两端口分别通过左法兰密封端盖6、右密封端盖7,每个石英储藏管3的左法兰密封端盖6上设置有与石英储藏管3内腔连通的管道8,每根管道8上设置有开关阀Ⅰ9,所有管道8与主管道10的一端连接,主管道10的另一端与抽真空管路12的一端连接,抽真空管路12上安装有开关阀Ⅱ11,抽真空管路12的另一端与真空过渡舱13连接,真空过渡舱13通过管路与真空泵14,每根管道8上分别设置有真空压力表15;真空压力表15与PLC控制器18连接,PLC控制器18分别与开关阀Ⅱ11以及每根管道8上的开关阀Ⅰ9连接,真空泵14通过电磁阀与PLC控制器18连接。贮存时,打开右密封端盖7,将原材料、半制成品或制成品放置在石英储藏管3内,固定好后,关闭密右密封端盖7。并打开相应的开关阀Ⅰ9、开关阀Ⅱ11,启动真空泵14,对石英储藏管3进行抽真空。真空压力表15实时检测石英本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置,其特征在于:所述的碲锌镉晶体材料真空贮存装置包括支架(1)、贮存舱(2)、石英储藏管(3)、左支撑法兰(4)、右支撑法兰(5)、左密封端盖(6)、右密封端盖(7)、管道(8)、开关阀Ⅰ(9)、主管道(10)、开关阀Ⅱ(11)、抽真空管路(12)、真空过渡舱(13)、真空泵(14)、真空压力表(15),所述的贮存舱(2)固定安装在支架(1)上,贮存舱(2)的左右两侧壁上安装有均匀排列的左支撑法兰(4)、右支撑法兰(5),且左支撑法兰(4)与右支撑法兰(5)一一对应,石英储藏管(3)的左右两端分别安装在左支撑法兰(4)与右支撑法兰(5)上,石英储藏管(3)的左右两端口分别通过左法兰密封端盖(6)、右密封端盖(7),每个石英储藏管(3)的左法兰密封端盖(6)上设置有与石英储藏管(3)内腔连通的管道(8),每根管道(8)上设置有开关阀Ⅰ(9),所有管道(8)与主管道(10)的一端连接,主管道(10)的另一端与抽真空管路(12)的一端连接,抽真空管路(12)上安装有开关阀Ⅱ(11),抽真空管路(12)的另一端与真空过渡舱(13)连接,真空过渡舱(13)通过管路与真空泵(14),每根管道(8)上分别设置有真空压力表(15);真空压力表(15)与PLC控制器(18)连接,PLC控制器(18)分别与开关阀Ⅱ(11)以及每根管道(8)上的开关阀Ⅰ(9)连接,真空泵(14)通过电磁阀与PLC控制器(18)连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置,其特征在于:所述的碲锌镉晶体材料真空贮存装置包括支架(1)、贮存舱(2)、石英储藏管(3)、左支撑法兰(4)、右支撑法兰(5)、左密封端盖(6)、右密封端盖(7)、管道(8)、开关阀Ⅰ(9)、主管道(10)、开关阀Ⅱ(11)、抽真空管路(12)、真空过渡舱(13)、真空泵(14)、真空压力表(15),所述的贮存舱(2)固定安装在支架(1)上,贮存舱(2)的左右两侧壁上安装有均匀排列的左支撑法兰(4)、右支撑法兰(5),且左支撑法兰(4)与右支撑法兰(5)一一对应,石英储藏管(3)的左右两端分别安装在左支撑法兰(4)与右支撑法兰(5)上,石英储藏管(3)的左右两端口分别通过左法兰密封端盖(6)、右密封端盖(7),每个石英储藏管(3)的左法兰密封端盖(6)上设置有与石英储藏管(3)内腔连通的管道(8),每根管道(8)上设置有开关阀Ⅰ(9),所有管道(8)与主管道(10)的一端连接,主管道(10)的另一端与抽真空管路(12)的一端连接,抽真空管路(12)上安装有开关阀Ⅱ(11),抽真空管路(12)的另一端与真空过渡舱(13)连接,真空过渡舱(13)通过管路与真空泵(14),每根管道(8)上分别设置有真空压力表(15);真空压力表(15)与PLC控制器(18)连接,PLC控制器(18)分别与开关阀Ⅱ(11)以及每根管道(8)上的开关阀Ⅰ(9)连接,真空泵(14)通过电磁阀与PLC控制器(18)连接。


2.根据权利要求1所述的一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置,其特征在于:每根管道(8)上设置有泄漏触发器(16),泄漏触发器(16)与PLC控制器(18)连接,PLC控制器(...

【专利技术属性】
技术研发人员:罗亚南郭关柱
申请(专利权)人:云南农业大学
类型:发明
国别省市:云南;53

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