一种表面无黄铜镀层的切割钢丝及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种表面无黄铜镀层的切割钢丝及其制备方法，将带黄铜镀层的普通切割钢丝经过褪镀液进行褪镀，褪镀处理完成后使用清水对切割钢丝表面进行冲洗；冲洗完成后，在切割钢丝表面涂覆防锈剂；然后烘干得到无金属镀层的切割钢丝。本发明专利技术的制备方法，褪镀处理效果好，无金属污染残留；降低了后续的处理难度和成本；且不含金属镀层的切割钢丝，力学性能与含有镀层的切割钢丝相当，但是不存在除Fe以外的金属，避免了晶圆切片过程中带入除Fe之外的金属，可以彻底解决晶圆生产中的Cu、Zn金属污染问题。

【技术实现步骤摘要】
一种表面无黄铜镀层的切割钢丝及其制备方法
本专利技术涉及切割钢丝的制备方法领域，尤其涉及一种表面无黄铜镀层的切割钢丝及其制备方法。
技术介绍
半导体行业采用高纯度的单晶硅棒，用切割钢丝切片得到晶圆。晶圆对于金属污染的要求非常高，其中典型的12寸硅晶圆抛光片与外延片，要求表面金属残余量(Cu、Fe、Cr、Ni、Zn)低于1E10atoms/cm2。因此，要尽量减少在晶圆加工中带入金属，多带入一种金属，就会增加后续去除的工作。目前的切割钢丝，是表面带有镀层的钢丝，广泛采用的是黄铜镀层(黄铜是Cu/Zn合金)，在切片过程中，在硅片表面带入Cu、Zn金属，大大增加了处理的难度和成本。如何对有金属镀层的切割钢丝进行处理有效去除金属镀层值得研究。
技术实现思路
专利技术目的：为了克服现有技术中存在的缺陷，本专利技术提出了一种表面无黄铜镀层的切割钢丝及其制备方法，完美解决切片过程中带来的Cu、Zn等金属污染问题。技术方案：为了解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案为：一种表面无黄铜镀层的切割钢丝，为表面不含有黄铜镀层的切割钢丝。一种表面无黄铜镀层的切割钢丝的制备方法，包括如下步骤：S1：将带金属镀层的普通切割钢丝经过褪镀液进行褪镀，处理温度为室温，处理时间为大于1秒；S2：褪镀处理完成后使用清水对切割钢丝表面进行冲洗1次以上；S3：冲洗完成后，在切割钢丝表面涂覆防锈剂；S4：烘干得到无金属镀层的切割钢丝。更进一步的，所述褪镀液的的制备方法如下：16g过硫酸铵(NH4)2S2O8与120mL密度为0.91g/cm3的氨水NH3混合均匀后稀释到1L的所需褪镀液。更进一步的，所述防锈剂具体为水基防锈剂。更进一步的，所述防锈剂的涂覆方式为：切割钢丝从浸有防锈剂的海绵中经过，实现表面完全覆盖。更进一步的，S4中烘干的温度为100℃～500℃。有益效果：本专利技术具有以下优点：(1)制备方法简单，褪镀处理效果好，无金属污染残留；(2)处理后的切割钢丝无金属镀层残留，降低了后续的处理难度和成本；(3)不含金属镀层的切割钢丝，力学性能与含有镀层的切割钢丝相当，但是不存在除Fe以外的金属，避免了晶圆切片过程中带入除Fe之外的金属，可以彻底解决晶圆生产中的Cu、Zn金属污染问题。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术作进一步的详细说明：实施例1-2的褪镀液的制备方法如下：16g过硫酸铵(NH4)2S2O8与120mL密度为0.91g/cm3的氨水NH3混合均匀后稀释到1L的所需褪镀液。实施例1：一种表面无黄铜镀层的切割钢丝的制备方法，包括如下步骤：S1：将直径为0.130mm的带黄铜镀层的普通切割钢丝经过褪镀液进行褪镀，处理温度为室温，处理时间为5秒；S2：褪镀处理完成后使用清水对切割钢丝表面进行冲洗5次；S3：冲洗完成后，在切割钢丝表面涂覆防锈剂，防锈剂的配方为防锈油；防锈剂的涂覆方式为：切割钢丝从浸有防锈剂的海绵中经过，实现表面完全覆盖；S4：在线200℃烘干得到无黄铜镀层的切割钢丝；供半导体行业晶圆切割使用。实施例2：一种表面无黄铜镀层的切割钢丝的制备方法，包括如下步骤：S1：将直径为0.175mm的带黄铜镀层的普通切割钢丝经过褪镀液进行褪镀，处理温度为室温，处理时间为8秒；S2：褪镀处理完成后使用清水对切割钢丝表面进行冲洗4次；S3：冲洗完成后，在切割钢丝表面涂覆防锈剂，防锈剂的配方为水基防锈剂；防锈剂的涂覆方式为：切割钢丝从浸有防锈剂的海绵中经过，实现表面完全覆盖；S4：在线230℃烘干得到无黄铜镀层的切割钢丝；供半导体行业晶圆切割使用。将实施例1-2处理前以及处理后的切割钢丝进行表面镀层检测后，如表1所示(测试结果为每公斤钢丝表面其它金属镀层重量有多少克，因此单位为g/kg，黄铜为铜、锌合金，因此分别测试每公斤钢丝表面铜和锌的重量)：表1实施例1-2处理效果从表1可以看出，经过本专利技术的处理后，含有金属镀层的切割钢丝不存在除Fe以外的金属，避免了晶圆切片过程中带入除Fe之外的金属，可以彻底解决晶圆生产中的Cu、Zn金属污染问题。此外对实施例1-2制备的切割钢丝以及未经处理前的切割钢丝进行力学性能测试对比，具体如表2所示：表2实施例1-2处理前后力学性能对比通过表2可以看出，经过本专利技术处理后的切割钢丝力学性能与处理前相当，在保证力学性能的前提下，解决了由切割钢丝带来的半导体晶圆铜污染问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种表面无黄铜镀层的切割钢丝，其特征在于为表面不含有黄铜镀层的切割钢丝。/n

【技术特征摘要】
1.一种表面无黄铜镀层的切割钢丝，其特征在于为表面不含有黄铜镀层的切割钢丝。


2.一种权利要求1所述的表面无黄铜镀层的切割钢丝的制备方法，其特征在于包括如下步骤：
S1：将带金属镀层的普通切割钢丝经过褪镀液进行褪镀，处理温度为室温，处理时间为大于1秒；
S2：褪镀处理完成后使用清水对切割钢丝表面进行冲洗1次以上；
S3：冲洗完成后，在切割钢丝表面涂覆防锈剂；
S4：烘干得到无金属镀层的切割钢丝。


3.根据权利要求2所述的表面无黄铜镀层的切割钢丝的制备方法，其特征在于：所述褪镀液的的制备...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓军，张释伟，盛荣生，曹伟君，
申请(专利权)人：镇江耐丝新型材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32