油墨涂布控制装置及油墨涂布方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制未涂布油墨的区域的产生的油墨涂布控制装置。通过油墨涂布控制装置的控制部的控制而在基板的规定区域涂布油墨。在沿应涂布油墨的涂布区域的边缘的边缘区域及从边缘区域隔着间隔的内侧区域上以涂布于边缘区域上的油墨与涂布于内侧区域上的油墨不接触的方式涂布油墨。之后，在边缘区域与内侧区域之间的间隙区域涂布油墨。

【技术实现步骤摘要】
油墨涂布控制装置及油墨涂布方法
本申请主张基于2019年11月22日申请的日本专利申请第2019-211466号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考而援用于本说明书中。本专利技术涉及一种油墨涂布控制装置及油墨涂布方法。
技术介绍
已知有利用喷墨印刷法形成蚀刻用抗蚀剂膜的技术(专利文献1)。在利用旋转涂布法形成抗蚀剂膜的情况下，需要光刻工序。由于喷墨印刷法中不需要光刻工序，因此能够减少工序数量。专利文献1：日本特开2010-56266号公报
技术实现思路
若应涂布油墨的基板的表面的疏液性变高，则容易产生着落于基板的表面上的油墨的液滴彼此吸引的现象。若液滴彼此吸引，则即使使油墨着落，油墨也有可能在表面上从着落地点移动而产生未涂布油墨的区域。本专利技术的目的在于提供一种能够抑制未涂布油墨的区域的产生的油墨涂布控制装置及油墨涂布方法。根据本专利技术的一观点，提供一种油墨涂布控制装置，其具备控制部，所述控制部控制向基板的规定区域的油墨的涂布，其中，所述控制部在沿应涂布油墨的涂布区域的边缘的边缘区域及从所述边缘区域隔着间隔的内侧区域上以涂布于所述边缘区域上的油墨与涂布于所述内侧区域上的油墨不接触的方式涂布油墨，在所述边缘区域及所述内侧区域涂布油墨之后，在所述边缘区域与所述内侧区域之间的间隙区域涂布油墨。根据本专利技术的另一观点，提供一种油墨涂布控制装置，其具备控制部，所述控制部控制向基板的规定区域的油墨的涂布，其中，在沿应涂布油墨的涂布区域的边缘延伸的边缘区域上，成为油墨的着落目标位置的多个像素在所述边缘的长度方向上排列的同时在宽度方向上排列两个，在使油墨着落于所述边缘区域的像素上时，所述控制部在所述边缘区域的长度方向上，使油墨着落于至少每隔1个的像素上，之后使油墨着落于着落有油墨的像素之间的像素上，对于所述边缘区域的在宽度方向上排列的两个像素，使油墨先着落于比外侧的像素更靠内侧的像素上。根据本专利技术的又一观点，提供一种油墨涂布方法，其在表面上划定了应涂布油墨的涂布区域的基板的沿所述涂布区域的边缘的边缘区域及从所述边缘区域隔着间隔的内侧区域上，以涂布于所述边缘区域上的油墨与涂布于所述内侧区域上的油墨不接触的方式涂布油墨，在所述边缘区域及所述内侧区域涂布油墨之后，在所述边缘区域与所述内侧区域之间的间隙区域涂布油墨。根据本专利技术的又一观点，提供一种油墨涂布方法，其在表面上划定了应涂布油墨的涂布区域的基板的沿所述涂布区域的边缘延伸的边缘区域上，成为油墨的着落目标位置的多个像素在所述边缘的长度方向上排列的同时在宽度方向上排列两个，在所述边缘区域的长度方向上，使油墨着落于至少每隔1个的像素上，之后，使油墨着落于着落有油墨的像素之间的像素上，对于所述边缘区域的在宽度方向上排列的两个像素，使油墨先着落于比外侧的像素更靠内侧的像素上。通过在边缘区域及内侧区域涂布油墨之后，在间隙区域涂布油墨，能够抑制未涂布油墨的区域的产生。附图说明图1A是搭载有基于实施例的油墨涂布控制装置的油墨涂布装置的概略主视图。图1B是表示可动台及油墨吐出单元在俯视观察时的位置关系的图。图2A是处于油墨涂布的中途阶段的基板的局部平面图。图2B是油墨涂布结束状态下的基板的局部平面图。图3A及图3B分别是利用基于比较例的油墨涂布方法涂布了油墨的涂布区域的中途阶段及涂布结束时的平面图。图4A是示意地表示定义涂布区域的形状及位置的图像数据的图。图4B是表示像素与着落于基板上的油墨的液滴的位置关系的图。图5A及图5B是表示边缘区域、内侧区域及间隙区域与像素的对应关系和使油墨着落的像素的图。图6A是表示由配置成2行2列的4个像素形成的单元的图。图6B～图6E是分别表示在第1次～第4次扫描时使油墨着落的像素的图。图7A～图7D是分别表示在间隙区域涂布油墨的情况下在第1次～第4次扫描时使油墨着落的像素的图。图8是表示在图6B～图6E的左边及上边的边缘区域的像素上着落并固化的油墨的平面形状的图。图9A是表示多个涂布区域的配置的一例的平面图。图9B是放大示出涂布区域的边缘发生起伏时的涂布区域的间隙部的平面图。图10A及图10B是分别表示在第1次及第2次扫描中使油墨着落的像素的图。图11A及图11B是分别表示在第3次及第4次扫描中使油墨着落的像素的图。图12A是以序号的形式表示包括在第1次～第4次扫描中使油墨着落的像素的单元的图。图12B是以序号的形式表示包括在第5次～第8次扫描中使油墨着落的像素的单元的图。图12C及图12D是分别表示在第1次及第2次扫描中使油墨着落的像素的图。图13A及图13B是分别表示在第3次及第4次扫描中使油墨着落的像素的图。，图14A及图14B是分别表示在第5次及第6次扫描中使油墨着落的像素的图。图15A及图15B是分别表示在第7次及第8次扫描中使油墨着落的像素的图。图中：10-基座，11-移动机构，11X-x方向移动机构，11Y-y方向移动机构，12-可动台，13-支承部件，20-基板，21-涂布区域，22-边缘区域，23-内侧区域，24-间隙区域，25-未涂布区域，30-油墨吐出单元，31-喷墨头，32-喷嘴孔，33-固化用光源，40-图像数据，41-像素，42-单元，50-油墨涂布控制装置，51-存储部，52-控制部，60-着落于基板上的油墨的液滴。具体实施方式参考图1A～图2B，对基于本专利技术的一实施例的油墨涂布控制装置进行说明。图1A是搭载有基于本实施例的油墨涂布控制装置的油墨涂布装置的概略主视图。在基座10上通过移动机构11支承有可动台12。定义x轴及y轴朝向水平方向且z轴朝向铅垂上方的xyz正交坐标系。移动机构11由油墨涂布控制装置50控制，以使可动台12向x方向及y方向这两个方向移动。作为移动机构11，例如能够使用包括X方向移动机构11X及Y方向移动机构11Y的XY工作台。X方向移动机构11X使Y方向移动机构11Y相对于基座10向x方向移动，Y方向移动机构11Y使可动台12相对于基座10向y方向移动。在可动台12的上表面(保持面)上保持有作为油墨涂布对象的基板20。基板20例如通过真空卡盘而固定于可动台12上。在可动台12的上方例如通过门式支承部件13而相对于基座10可升降地支承有油墨吐出单元30。油墨吐出单元30具有与基板20对置的多个喷嘴孔。光固化性(例如，紫外线固化性)的油墨从各喷嘴孔被液滴化并朝向基板20的表面吐出。油墨的吐出由油墨涂布控制装置50控制。在图1A中示出了使油墨吐出单元30相对于基座10静止并使基板20移动的示例，但是与此相反，也可以使基板20相对于基座10静止而使油墨吐出单元30移动。如此，只要设为使基板20与油墨吐出单元30中的一个相对于另一个相对移动的结构即可。油墨涂布控制装置50包括存储本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种油墨涂布控制装置，其具备控制部，所述控制部控制向基板的规定区域的油墨的涂布，其中，所述控制部进行下述控制：/n在沿应涂布油墨的涂布区域的边缘的边缘区域及从所述边缘区域隔着间隔的内侧区域上以涂布于所述边缘区域上的油墨与涂布于所述内侧区域上的油墨不接触的方式涂布油墨，/n在所述边缘区域及所述内侧区域涂布油墨之后，在所述边缘区域与所述内侧区域之间的间隙区域涂布油墨。/n

【技术特征摘要】
20191122 JP 2019-2114661.一种油墨涂布控制装置，其具备控制部，所述控制部控制向基板的规定区域的油墨的涂布，其中，所述控制部进行下述控制：
在沿应涂布油墨的涂布区域的边缘的边缘区域及从所述边缘区域隔着间隔的内侧区域上以涂布于所述边缘区域上的油墨与涂布于所述内侧区域上的油墨不接触的方式涂布油墨，
在所述边缘区域及所述内侧区域涂布油墨之后，在所述边缘区域与所述内侧区域之间的间隙区域涂布油墨。


2.根据权利要求1所述的油墨涂布控制装置，其中，
在所述间隙区域涂布油墨时，所述控制部以不与所述边缘区域及所述内侧区域中的任一个接触的方式涂布油墨，之后以与涂布于所述间隙区域上的油墨和涂布于所述边缘区域上的油墨这两者接触的方式及以与涂布于所述间隙区域上的油墨和涂布于所述内侧区域上的油墨这两者接触的方式涂布油墨。


3.根据权利要求1或2所述的油墨涂布控制装置，其中，
所述边缘区域的成为油墨的着落目标位置的多个像素在所述边缘区域的长度方向上排列的同时在宽度方向上排列两个，
在使油墨着落于所述边缘区域的像素上时，所述控制部进行下述控制：在所述边缘区域的长度方向上，使油墨着落于至少每隔1个的像素上，之后使油墨着落于着落有油墨的像素之间的像素上，并在所述边缘区域的宽度方向上，使油墨先着落于比外周侧的像素更靠内周侧的像素上。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的油墨涂布控制装置，其中，
所述内侧区域的成为油墨的着落目标位置的多个像素被配置成矩阵状，
在使油墨着落于所述内侧区域的多个像素上时，所述控制部进行下述控制：使油墨以每隔1行且每隔1列...

【专利技术属性】
技术研发人员：村野贤一，圷隆史，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP