一种烤胶高温用晶园置片架制造技术

本实用新型专利技术是一种烤胶高温用晶园置片架，包括左、右侧固定板，在左侧固定板的上端设置有数个第一横向钻孔，在左侧固定板的下端设置有数个第一竖向钻孔，左侧和右侧固定板结构相同，穿过第一横向钻孔和第二横向钻孔设置第一上支撑杆，穿过另外一组设置第二上支撑杆，其中一组第一竖向钻孔和第二竖向钻孔设置第一下支撑杆，穿过另外一组第一竖向钻孔和第二竖向钻孔设置第二下支撑杆，第一上支撑杆、第二上支撑杆、第一下支撑杆和第二下支撑杆上均设置有滑槽，在每个滑槽内均插入设置有特氟龙材质支撑的支架片。本实用新型专利技术采用三角槽状的支架片进行晶圆的支撑，使得加热均匀，而且还避免了石英磕碰的可能性，适用不同直径的晶圆使用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种烤胶高温用晶园置片架


[0001]本技术涉及一种置片架，具体的说是涉及一种烤胶高温用晶园置片架。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，现有技术中，对石英加热一般采取平放或者是采用铁架的形式来完成。但是使用铁架对预固化晶园进行高温加热的时候，晶园边缘极易在高温时碎裂，如果采用的是平放方式，不仅加热不均而且烘箱空间的使用效率也非常低。

技术实现思路

[0003]为了解决上述问题，本技术提供了一种烤胶高温用晶园置片架，该置片架不仅解决了晶圆容易破碎的问题而且还使得晶圆加热均匀。
[0004]为了达到上述目的，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0005]本技术是一种烤胶高温用晶园置片架，包括左侧固定板和右侧固定板，在左侧固定板的上端设置有对称的两组且每组数个第一横向钻孔，在左侧固定板的下端设置有对称的两组且每组有数个第一竖向钻孔，在右侧固定板的上端设置有对称的两组且每组数个第二横向钻孔，在右侧固定板的下端设置有对称的两组且每组有数个第二竖向钻孔，穿过其中一组第一横向钻孔和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烤胶高温用晶园置片架，包括左侧固定板（1）和右侧固定板（2），其特征在于：在所述左侧固定板（1）的上端设置有对称的两组且每组数个第一横向钻孔（5），在所述左侧固定板（1）的下端设置有对称的两组且每组有数个第一竖向钻孔（6），在所述右侧固定板（2）的上端设置有对称的两组且每组数个第二横向钻孔（7），在所述右侧固定板（2）的下端设置有对称的两组且每组有数个第二竖向钻孔（8），穿过其中一组所述第一横向钻孔（5）和所述第二横向钻孔（7）设置第一上支撑杆（9），穿过另外一组所述第一横向钻孔（5）和所述第二横向钻孔（7）设置第二上支撑杆（10），所述其中一组所述第一竖向钻孔（6）和所述第二竖向钻孔（8）设置第一下支撑杆（11），穿过另外一组所述第一竖向钻孔（6）和所述第二竖向钻孔（8）设置第二下支撑杆（12），所述第一上支撑杆（9）、所述第二上支撑杆（10）、所述第一下支撑杆（11）和所述第二下支撑杆（12）上均设...

【专利技术属性】
技术研发人员：翟继鑫，
申请(专利权)人：无锡市芯飞通光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：