确定待测器件倾角辐照注量的方法、装置及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种确定待测器件倾角辐照注量的方法、装置及电子设备，上述方法包括：确定当前位置的待测器件的水平位置坐标；获取注量率与位置坐标的函数关系；以及根据注量率与位置坐标的函数关系以及当前位置的待测器件的水平位置坐标确定当前位置的待测器件的注量率，进而确定辐照至待测器件表面的总注量。上述方法可以实时输出较为准确的注量率/注量结果。结果。结果。

【技术实现步骤摘要】
确定待测器件倾角辐照注量的方法、装置及电子设备


[0001]本公开属于空间辐射
，涉及一种确定待测器件倾角辐照注量的方法、装置及电子设备。

技术介绍

[0002]近年来随着半导体技术的迅猛发展以及我国对太空探索脚步的进程，对高性能、高集成度电路的需求不断加强。空间辐射单粒子效应是指单个空间高能带电粒子击中微电子器件灵敏部位，由于电离作用使得器件产生额外电荷或造成材料原子移位，其逻辑状态改变或者功能受到干扰或失效的现象。空间辐射环境中存在各高能射线粒子，如质子、电子、α粒子或者重粒子等，这些高能射线或粒子入射到半导体器件中时会发生单粒子效应，导致器件失效。以质子为例，质子是空间环境中的重要组成部分，关于质子单粒子效应的研究已逐渐成为国内外辐射效应研究领域的重要方向。
[0003]目前，单粒子效应的研究方法主要有空间搭载飞行实验、地面模拟实验和计算机仿真计算等，对于电子学元器件敏感性的评估最常用地面模拟实验。在宇宙空间中辐射粒子，例如质子从各个方向入射到电子学元器件表面，而在地面加速器模拟实验过程中，质子入射角度对器件单粒子效应的影响本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种确定待测器件倾角辐照注量的方法，其特征在于，包括：确定当前位置的待测器件的水平位置坐标；获取注量率与位置坐标的函数关系；以及根据所述注量率与位置坐标的函数关系以及所述当前位置的待测器件的水平位置坐标确定所述当前位置的待测器件的注量率，进而确定辐照至所述待测器件表面的总注量。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定待测器件的水平位置坐标包括：在倾角辐照过程中，基于布置的辐照光路的元件，确定初始位置的待测器件的水平位置坐标、所述待测器件与旋转轴的距离以及预设角度θ；其中，所述元件包括：辐照源器件和待测器件，所述待测器件由初始位置绕着待测器件外部设置的所述旋转轴旋转并平移之后变化至当前位置，所述预设角度θ为所述当前位置的待测器件的表面与所述初始位置的待测器件的表面之间的夹角，所述初始位置的待测器件与所述辐照源器件的粒子束流的出射方向垂直，所述辐照源器件出射的粒子束流能够辐照于所述初始位置和所述当前位置的待测器件表面；以及根据所述初始位置的待测器件的水平位置坐标、所述待测器件与所述旋转轴的距离以及所述预设角度θ确定所述当前位置的待测器件的水平位置坐标，其中，所述初始位置的待测器件的水平位置坐标和所述当前位置的待测器件的水平位置坐标相对于同一个位置参考零点。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述初始位置的待测器件的水平位置坐标、所述待测器件与所述旋转轴的距离以及所述预设角度θ确定所述当前位置的待测器件的水平位置坐标，包括：根据所述待测器件与所述旋转轴的距离以及所述预设角度θ确定所述待测器件由初始位置变化至当前位置的位置变化量；以及根据所述位置变化量与所述初始位置的待测器件的水平位置坐标确定所述当前位置的待测器件的水平位置坐标。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述待测器件由初始位置绕着待测器件外部设置的所述旋转轴旋转并平移之后变化至当前位置，包括：所述待测器件安装于一样品架上，所述待测器件与所述样品架的表面具有预设距离，所述样品架与一支撑台通过一可伸缩的连接部进行连接，所述样品架上用于与所述连接部连接的部分作为所述旋转轴；所述样品架带动所述待测器件由初始位置绕着所述旋转轴旋转预定角度并且由所述连接部通过伸缩变化预定高度之后，使得所述待测器件由初始位置变化至当前位置。5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，以所述辐照源器件的粒子束流的出射方向作为x轴方向，高度方向作为y轴方向，与x
‑
y平面垂直的方向为z轴方向，所述待测器件由初始位置绕着待测器件外部设置的所述旋转轴旋转的形式包括以下运动形式的至少一种：绕着所述z轴方向发生的旋转运动；绕着所述y轴方向发生的旋转运动。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取注量率与位置坐标的函数关系包括：调用存储的预先标定的注量率与位置坐标的函数关系；或者，
标定注量率与位置坐标的函数关系。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述标定注量率与位置坐标的函数关系包括：基于布置的标定元件，所述标定元件包括：辐照源器件和探测器，调整所述探测器的高度和水平位置，使得所述探测器位于辐照源器件的出射路径上，且所述探测器相对于所述位置参考零点分别位于N个不同的水平位置坐标处，N≥3；测量所述探测器位于N个不同水平位置坐标处探测得到的注量率；以及根据所述N个不同水平位置坐标处的注量率拟合得到注量率与位置坐标的函数关系；其中，标定注量率与位置坐标的函数关系的束流条件与待测器件在辐照过程中的束流条件一致。8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述注量率与位置坐标的函数关系以及所述当前位置的待测器件的水平位置坐标确定所述当前位置的待测器件的注量率，包括：将所述当前位置的待测器件的水平位置坐标作为自变量代入至所述注量率与位置坐标的函数关系中，得到的函数结果为所述当前位置的待测器件的注量率。9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述注量率与位置坐标的函数关系以及所述当前位置的待测器件的水平位置坐标确定所述当前位置的待测器件的注量率，包括：将所述当前位置的待测器件的水平位置坐标作为自变量代入至所述注量率与位置坐标的函数关系中，得到的函数结果为所述当前位置的待测器件的初始注量率；以及根据预先确定的注量率修正系数对所述当前位置的待测器件的初始注量率进行修正，得到修正后的注量率为所述当前位置的待测器件的注量率。10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，还包括：预先确定注量率修正系数，所述预先确定注量率修正系数包括：在相同的束流条件下，分别获取由辐照源器件辐照至所述探测器所在表面的第一总注量和由所述探测器表面接收到的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷倩，郭刚，刘建成，张艳文，覃英参，肖舒颜，杨新宇，
申请(专利权)人：中国原子能科学研究院，
类型：发明
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