气浮垫组件、气浮导轨组件及所述气浮导轨组件的校对方法技术

本发明专利技术提供了一种气浮垫组件，包括具有节流气道的气浮垫、设置在所述气浮垫内节流气道里的第一节流器、设置在所述气浮垫内与所述第一节流器的出气口连通的气腔、设置在所述节流气道出气口处的第二节流器，所述第二节流器的进气口与所述气腔连通。本发明专利技术的气浮导轨组件及气浮垫组件，通过设置串联的第一节流器和第二节流器，从而可以提高气浮导轨组件的刚度和稳定性。稳定性。稳定性。

【技术实现步骤摘要】
气浮垫组件、气浮导轨组件及所述气浮导轨组件的校对方法


[0001]本专利技术涉及一种气浮垫组件、气浮导轨组件及所述气浮导轨组件的校对方法。

技术介绍

[0002]气浮垫产品广泛应用于自动化测量领域，如三坐标测量机、光学测量仪等，以往的安装方式通常依靠工人师傅的经验，先拧紧螺丝将气浮垫与导轨贴合，之后通气，此时会发生气振；然后将螺丝慢慢回拧，直到气振消失。采用这种方法很难保证多个气浮垫气浮间隙的一致性，导致组装精度低，且安装耗时长，效率低。且现有气浮垫的刚度较低，稳定性较差。
[0003]有鉴于此，有必要对现有的气浮垫组件予以改进，以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种气浮垫组件，以解决现有气浮垫安装困难、刚度较低、稳定性较差的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供一种气浮垫组件，所述气浮垫组件包括具有节流气道的气浮垫、设置在所述气浮垫内节流气道里的第一节流器、设置在所述气浮垫内与所述第一节流器的出气口连通的气腔、设置在所述节流气道出气口处的第二节流器，所述第二节流器的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气浮垫组件，其特征在于：所述气浮垫组件包括具有节流气道的气浮垫、设置在所述气浮垫内节流气道里的第一节流器、设置在所述气浮垫内与所述第一节流器的出气口连通的气腔、设置在所述节流气道出气口处的第二节流器，所述第二节流器的进气口与所述气腔连通。2.根据权利要求1所述的气浮垫组件，其特征在于：所述气浮垫组件包括与所述气腔连通用以检测气腔气压的气压检测装置。3.根据权利要求1所述的气浮垫组件，其特征在于：所述气腔呈圆柱状。4.根据权利要求1所述的气浮垫组件，其特征在于：所述第一节流器与所述气腔间隔设置。5.根据权利要求1所述的气浮垫组件，其特征在于：所述第一节流器和所述第二节流器的轴线位于同一直线上。6.根据权利要求5所述的气浮垫组件，其特征在于：所述第一节流器、第二节流器和节流气道的直径相同。7.一种气浮导轨组件，其特征在于：所述气浮导轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈万群，滕翔宇，霍德鸿，陈高强，
申请(专利权)人：江苏集萃精凯高端装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：