轴承装置和预压传感器制造方法及图纸

预压传感器(10)包括：压敏图案部(22c)，在上述压敏图案部中，DC电阻根据作用在第一方向上的压力而改变；覆盖部(21、23)，上述覆盖部对压敏图案部(22c)进行覆盖；以及缓冲部(30)，上述缓冲部在第一方向上与覆盖部(21、23)相邻配置。形成缓冲部(30)的材料的纵向弹性模量小于形成覆盖部(21、23)的材料的纵向弹性模量。23)的材料的纵向弹性模量。23)的材料的纵向弹性模量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】轴承装置和预压传感器


[0001]本专利技术涉及轴承装置和预压传感器。

技术介绍

[0002]用于机床的主轴装置需要对轴承进行预压管理，以便提高机加工精度和效率。因此，存在对施加到轴承的预压(以下称为轴承的预压)进行检测的需求。另外，出于防止在轴承中发生异常的目的，还存在在产生这种异常之前对作为在轴承中产生异常的指标的预压的变化进行检测的需求。
[0003]日本专利特开2014
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071085号公报公开了一种薄膜传感器，上述薄膜传感器包括金属薄膜，并且构造成基于压力作用于金属薄膜时发生的电阻的变化来检测压力。引用列表专利文献
[0004]专利文献1：日本专利特开2014
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071085号公报

技术实现思路

技术问题
[0005]日本专利公开2014
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071085号公报中公开的薄膜传感器的厚度薄到亚微米级，并且特别地，金属薄膜的厚度极薄到约200nm。因此，如上所述的薄膜传感器的检测精度更可能受到诸如其间夹有每个薄膜传感器的两个表面中的每一个的表面粗糙本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种预压传感器，包括：压敏图案部，在所述压敏图案部中，DC电阻根据作用在第一方向上的压力而改变；覆盖部，所述覆盖部对所述压敏图案部进行覆盖；以及缓冲部，所述缓冲部在所述第一方向上与所述覆盖部相邻配置，其中，形成所述缓冲部的材料的纵向弹性模量小于形成所述覆盖部的材料的纵向弹性模量。2.如权利要求1所述的预压传感器，其特征在于，所述覆盖部具有面向所述第一方向上的一侧的第一表面，所述缓冲部具有面向所述第一方向上的另一侧的第二表面，所述覆盖部还具有与所述第一表面相对地定位的第三表面，所述缓冲部还具有与所述第二表面相对地定位的第四表面，所述第三表面与所述第四表面接触。3.如权利要求1或2所述的预压传感器，其特征在于，形成所述缓冲部的材料包括树脂。4.如权利要求1至3中任一项所述的预压传感器，其特征在于，所述缓冲部在所述第一方向上的厚度为100μm以下。5.一种轴承装置，包括：如权利要求1至4中任一项所述的预压传感器；轴承；以及与所述轴承相邻配置的间隔件，其中，所述预压传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：小池孝誌，福岛靖之，澁谷勇介，
申请(专利权)人：NTN株式会社，
类型：发明
国别省市：