一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于ICP技术领域，公开了一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置，包括氩气管，所述氩气管内设置有压缩氩气，所述氩气管上依次设置有减压阀和质量流量控制器，所述质量流量控制器位于减压阀的出气端。本方案通过在氩气管上安装质量流量控制器，从而质量流量控制器实时监测氩气管内的压缩氩气的流量，并将检测的气流数据反馈给ICP主控系统的上位机软件，同时ICP主控系统的上位机软件将设置的气流电压信号发送给气流保护系统，气流保护系统对比反馈数据和设置数据，如果差值超出安全阈值的范围，将直接发送指令关闭ICP设备的供电设备，避免由于气体在使用完毕或者气流不稳定的情况下影响测试数据，甚至损坏ICP设备。ICP设备。ICP设备。

【技术实现步骤摘要】
一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置


[0001]本技术涉及ICP
，更具体地说，涉及一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置。

技术介绍

[0002]ICP即电感耦合等离子体的英文缩写，等离子体光谱仪中必定要产生等离子体，氩气是一种惰性气体，它不会和被测材料发生化学反应。而且氩气对电弧的冷却用小，所以电弧在氩气中燃烧时，热量损耗小，稳定性比较好。同时氩气分解后的正离子体积和质量较大，对阴极的冲击力很强，具有强烈的阴极破碎作用，因此现有的ICP气流保护装置常采用氩气对ICP气流进行保护，使得光谱仪发挥其最好的性能，便于光谱仪进行各种数据测试。
[0003]然而现有的ICP气流保护装置不具备氩气流量监控的功能，当氩气气体在使用完毕或者气流不稳定时，会影响数据测试，更严重的损坏ICP设备。

技术实现思路

[0004]1.要解决的技术问题
[0005]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置，解决了现有的ICP气流保护装置不具备氩气流量监控的功能，当氩气气体在使用完毕或者气流不稳定时，会影响数据测试，更严重的损坏ICP设备的问题。
[0006]2.技术方案
[0007]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0008]一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置，包括氩气管，所述氩气管内设置有压缩氩气，所述氩气管上依次设置有减压阀和质量流量控制器，所述质量流量控制器位于减压阀的出气端，所述质量流量控制器的输出端双向信号连接有ICP主控系统的上位机软件，所述ICP主控系统的上位机软件的输出端双向信号连接有气流保护系统,所述气流保护系统的输出端电性连接有ICP设备的供电设备。
[0009]3.有益效果
[0010]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0011]本方案通过在氩气管上安装质量流量控制器，从而质量流量控制器实时监测氩气管内的压缩氩气的流量，并将检测的气流数据反馈给ICP主控系统的上位机软件，同时ICP主控系统的上位机软件将设置的气流电压信号发送给气流保护系统，气流保护系统对比反馈数据和设置数据，如果差值超出安全阈值的范围，将直接发送指令关闭ICP设备的供电设备，避免由于气体在使用完毕或者气流不稳定的情况下影响测试数据，甚至损坏ICP设备。
附图说明
[0012]图1为本技术的系统图。
[0013]图中标号说明：
[0014]1、氩气管；2、减压阀；3、质量流量控制器；4、ICP主控系统的上位机软件；5、气流保护系统；6、ICP设备的供电设备。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0017]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0018]请参阅图1，一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置，包括氩气管1，氩气管1内设置有压缩氩气，氩气管1上依次设置有减压阀2和质量流量控制器3，质量流量控制器3位于减压阀2的出气端，质量流量控制器3的输出端双向信号连接有ICP主控系统的上位机软件4，ICP主控系统的上位机软件4的输出端双向信号连接有气流保护系统5,气流保护系统5的输出端电性连接有ICP设备的供电设备6。
[0019]工作原理：通过在氩气管1上安装质量流量控制器3，从而质量流量控制器3实时监测氩气管1内的压缩氩气的流量，并将检测的气流数据反馈给ICP主控系统的上位机软件4，同时ICP主控系统的上位机软件4将设置的气流电压信号发送给气流保护系统5，气流保护系统5对比反馈数据和设置数据，如果差值超出安全阈值的范围，将直接发送指令关闭ICP设备的供电设备6，避免由于气体在使用完毕或者气流不稳定的情况下影响测试数据，甚至损坏ICP设备。
[0020]需要说明的是，本技术未详述部分为现有技术，在此不做过多赘述。
[0021]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式；但本技术的保护范围并不局限于此。任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置，包括氩气管(1)，其特征在于：所述氩气管(1)内设置有压缩氩气，所述氩气管(1)上依次设置有减压阀(2)和质量流量控制器(3)，所述质量流量控制器(3)位于减压阀(2)的出气端，所述质...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴海荣，
申请(专利权)人：苏州普业仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：