铝铜旋转靶的制备方法技术

本公开提供了一种铝铜旋转靶的制备方法，其包括：将D

【技术实现步骤摘要】
铝铜旋转靶的制备方法


[0001]本公开涉及溅射靶材领域，具体涉及一种铝铜旋转靶的制备方法。

技术介绍

[0002]铝通过掺杂少量铜形成铝铜合金，用于制作出铝铜磁控溅射靶材，该合金主要用于TP电极导线镀膜，能使TP导线电阻率大大降低，导电性能大大提升。铝铜合金材料相对原来的贵金属，具有更高的电导率，价格低廉的优点，同时也克服了纯铝技术的不稳定性。
[0003]目前常用的方法是通过Al和铜熔融铸锭，然后通过浇铸或挤压成型，因为铝比较软，往往不能作为背管使用，绝大部分的旋转靶是通过挤压一体成型，然后通过机加工成圆筒，进一步绑定在不锈钢、钛等强度高的背管上，该方法制备出的靶材在铸锭冷却过程中偏折比较严重，大大降低了靶材的性能；同时需要绑定工艺复杂，成本大幅提高。

技术实现思路

[0004]鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的目的之一在于提供一种铝铜旋转靶的制备方法，其至少能降低铝铜旋转靶的成分偏析、简化工艺。
[0005]为了实现上述目的，在一些实施例中，本公开提供了一种铝铜旋转靶的制备方法，其包括步骤：步骤一，将颗粒D本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种铝铜旋转靶的制备方法，其特征在于，包括步骤：步骤一，将颗粒为D
50
为15μm～45μm的铝粉和铜粉混合均匀，然后装入送粉器中；步骤二，将背管进行外表面处理，以使背管的外表面的粗糙度Ra为8μm～13μm；步骤三，将背管水平安装在机架上，背管能够围绕轴线旋转且能够沿轴线往复运动；步骤四，将喷枪安装在机台上，喷枪位于背管上方并垂直于喷枪的轴线，喷枪连接并连通送粉器，机台能够使喷枪上下移动；步骤五，使背管围绕轴线旋转并沿轴线水平移动且喷枪向背管外表面喷射铝粉和铜粉，其中，背管围绕轴线旋转的速度为30转/分～45转/分，背管沿轴线水平移动的速度为20mm/min～35mm/min，喷枪出口处温度为350℃～4...

【专利技术属性】
技术研发人员：文崇斌，朱刘，童培云，余芳，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：