【技术实现步骤摘要】
一种实现组合式量子霍尔电阻样品的基座
[0001]本专利技术涉及一种实现组合式量子霍尔电阻样品的基座。
技术介绍
[0002]组合式量子霍尔电阻样品(一般为半导体材料芯片形态)需要封装在测量基座上进行使用和测量，这种基座的电极触点或接插针脚常规为8个，基座使用环境为极低温强磁环境(温度约为1.5K温区，磁场约为0
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10T)。如图1所示。
[0003]关于组合式量子霍尔电阻样品的设计及制作，目前国内外普遍采用在半导体基材上进行分层刻蚀
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掩模
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镀膜结构，一般为6层。这样的方案存在如下两方面问题，一是工艺复杂度高，可靠性差，成品率低，外界杂质和污损等干扰会导致整片样品芯片作废；二是该结构一旦做成芯片后，功能和结构不可改变，芯片内部多个量子霍尔电阻基本模块的串联或并联关系固定，基准阻值固定，灵活性差。因此，上述现有的工艺和结构设计对材料消耗大，用途受限。
[0004]另一方面，用于承载组合式量子霍尔电阻样品的基座的成本远远低于量子器件材料的成本。如果研发基座...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种实现组合式量子霍尔电阻样品的基座，其特征在于，包括基座承载板(3)，在所述基座承载板中设有用于放置单体量子霍尔电阻的凹槽(5)，在所述凹槽的周围设有用于分别与所述单体量子霍尔电阻的各电压电极连接的电压电极触点、和分别与所述单体量子霍尔电阻的各电流电极连接的电流电极触点，各所述单体量子霍尔电阻的对应的电压电极通过电压电极用导电条连接于外部电压供给源；各所述单体量子霍尔电阻的对应的电流电极通过电流电极用导电条连接于外部电流供给源；所述电压电极用导电条与所述电流电极用导电条彼此平行。2.根据权利要求1所述的实现组合式量子霍尔电阻样品的基座，其特征在于，所述基座承载板包括彼此平行相对的第一平面和第二平面，所述电压电极用导电条以平行于所述第一平面的方式设于所述第一平面，所述电流电极用导电条以平行于所述第二平面的方式设于所述第二平面。3.根据权利要求1所述的实现组合式量子霍尔电阻样品的基座，其特征在于，所述基座承载板包括彼此平行相对的第一平面和第二平面，所述电压电极用导电条包括以平行于所述第一平面的方式设于所述第一平面的第一电压电极用导电条、和以平行于所述第二平面的方式设于所述第二平面的第二电压电极用导电条，所述电流电极用导电条以平行于所述第二平面的方式设于所述第二平面。4.根据权利要求3所述的实现组合式量子霍尔电阻样品的基座，其特征在于，所述凹槽(5)为矩形，所述单体量子霍尔电阻包括第一电压电极、第二电压电极、第三电压电极、第四电压电极、电流输入电极和电流输出电极，并且，所述第一电压电极、所述第三电压电极及所述电流输出电极位于...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡建臻，
申请(专利权)人：北京东方计量测试研究所，
类型：发明
国别省市：
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