一种基于多路复合外腔合束的宽调谐半导体激光器腔型制造技术

本实用新型专利技术提供一种基于多路复合外腔合束的宽调谐半导体激光器腔型，包括发光准直部件、光栅和耦合输出镜；光栅用于将发光准直部件输出的准直后的光束衍射并分离；耦合输出镜用于将光栅输出的衍射光束反射或透射；发光准直部件包括半导体激光芯片和腔内准直器。本实用新型专利技术是为了克服基于二向分色器件合束的宽调谐半导体激光器方案合束后功率衰减的缺点，通过设计相同的衍射点、采用同一个可旋转的光栅和耦合输出镜，当光栅或耦合输出镜发生转动时，与耦合输出镜镜面相互垂直的衍射方向随之变化，对应的能被耦合输出镜部分反射并原路返回激光芯片中形成激光振荡和输出的光波长也随之改变，实现了多路宽调谐激光高效率合束。

【技术实现步骤摘要】
一种基于多路复合外腔合束的宽调谐半导体激光器腔型
本技术涉及技术半导体激光器领域，具体涉及一种基于多路复合外腔合束的宽调谐半导体激光器腔型。
技术介绍
外腔半导体激光器利用具有波长选择特性的光学器件在激光芯片外部构建谐振腔实现激光输出，对波长选择器件的特定参数进行调节可实现激光器输出波长的调谐。相比于DFB半导体激光器通过改变芯片电流和温度实现调谐，外腔半导体激光器的显著优点是调谐范围宽，在多组分气体检测、光纤光栅传感信号解调、光谱学研究等领域具有重要应用价值。单台套外腔半导体激光器的调谐范围由芯片自身的自发辐射光谱宽度和外腔腔型所能实现的调节范围共同决定，在此基础上若要进一步达到更宽的调谐范围，最常用的方法是将多台套具有不同调谐波段范围的外腔半导体激光器进行合束，在光谱维度上实现其调谐范围的拼接，从而整体上达到了更宽的调谐范围。为保证合束后的光束质量，通常采用传统的二向分色器件(如二向分色镜、二向分色棱镜等)对多台套外腔半导体激光器进行光谱合束，例如一种装置：包含外腔半导体激光器5、5'、5"，对应的调谐范围分别为λ1至λ2、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于多路复合外腔合束的宽调谐半导体激光器腔型，其特征在于：包括发光准直部件(1)、光栅(2)和耦合输出镜(3)；所述光栅(2)用于将所述发光准直部件(1)输出的准直后的光束衍射并分离；所述耦合输出镜(3)用于将所述光栅(2)输出的衍射光束反射或透射；/n所述光栅(2)和所述耦合输出镜(3)至少有一个是可旋转的，通过旋转实现光波长的调谐；/n所述发光准直部件(1)包括半导体激光芯片(11)和腔内准直器(12)，所述腔内准直器(12)用于将所述半导体激光芯片(11)输出的光束进行准直。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于多路复合外腔合束的宽调谐半导体激光器腔型，其特征在于：包括发光准直部件(1)、光栅(2)和耦合输出镜(3)；所述光栅(2)用于将所述发光准直部件(1)输出的准直后的光束衍射并分离；所述耦合输出镜(3)用于将所述光栅(2)输出的衍射光束反射或透射；
所述光栅(2)和所述耦合输出镜(3)至少有一个是可旋转的，通过旋转实现光波长的调谐；
所述发光准直部件(1)包括半导体激光芯片(11)和腔内准直器(12)，所述腔内准直器(12)用于将所述半导体激光芯片(11)输出的光束进行准直。


2.根据权利要求1所述的一种基于多路复合外腔合束的宽调谐半导体激光器腔型，其特征在于：
所述耦合输出镜(3)包括耦合输出镜本体(31)和耦合输出镜旋转台(32)，所述耦合输出镜旋转台(32)与所述耦合输出镜本体(31)相连，并且带动所述耦合输出镜本体(31)旋转；
用于驱动所述输出镜旋转台(32)旋转的方式为手动或电动；所述电动包括直流电机驱动或、步进电机驱动、压电驱动或MEMS驱动；所述MEMS驱动包括静电驱动或电磁驱动。


3.根据权利要求1所述的一种基于多路复合外腔合束的宽调谐半导体激光器腔型，其特征在于：所述光栅(2)包括光栅本体(21)和旋转台(22)，所述旋转台(22)与所述光栅(2)相连，并且带动所述光栅本体(21)旋转；
用于驱动所述旋转台(22)转动的方式为手动或电动；所述电动包括直流电机驱动、步进电机驱动、压电驱动或MEMS驱动；所述MEMS驱动包括静电驱动或电磁驱动；
所述光栅本体(21)的衍射级次为±1级、±2级；所述光栅本体(21)工作方式为反射式或透射式；所述光栅本体(21)种类为刻线光栅、全息光栅、阶梯光栅或MEMS光栅；所述光栅本体(21)面型为平面或曲面；所述光栅本体(21)表面光学膜层为增透膜、增反膜。


4.根据权利要求1所述的一种基于多路复合外腔合束的宽调谐半导体激光器腔型，其特征在于：所述发光准直部件(1)设置有多个。...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄彦，张宇露，高志强，周建发，钟亮，刘蓓，徐暠，韩宁宁，史青，彭泳卿，
申请(专利权)人：北京遥测技术研究所，航天长征火箭技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11