利用感应传感器和光学位移传感器的厚度测量制造技术

本发明专利技术公开了一种传感器系统(100)，该传感器系统包括涡电流传感器(120)，该涡电流传感器包括至少一个线圈(120a)，该至少一个线圈具有耦合在该线圈两端的激励电子器件(121)。光学位移传感器(140)被固定到该涡电流传感器，使得这些传感器之间的垂直距离是固定的。该光学位移传感器位于该线圈的顶部并与该线圈同心，使得该光学位移传感器的测量轴线与该线圈的对称轴线共线。包括处理器(151)和存储器(152)的计算装置(150)被耦合以接收来自该涡电流传感器和该光学位移传感器的传感器数据，该计算装置适于分析从测量在金属基底(185)的至少一侧上包括涂层(187)的涂覆基底(180)中获得的该传感器数据，以至少确定该涂层的厚度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】利用感应传感器和光学位移传感器的厚度测量
所公开的实施方案涉及测量金属箔上的涂层的厚度。
技术介绍
涡电流(也称为傅科电流)是由时变磁场在电导体中感应的电流回路。在导体中流动的电流(诸如在线圈的导线中流动的电流)产生磁场，而时变电流产生时变磁场(称为用于涡电流感测的初始磁场)，该时变磁场感应在导电片(导体)内流动的涡电流，其中在导体中产生的涡电流与初始磁场的电流相反。脉冲涡电流用于测量导电层的厚度，以及包括导电基底上的导电涂层的涂覆基底的厚度。锂离子电池利用涂覆基底作为阳极电极和阴极电极。制造锂离子电池的过程通常通过混合电化学浆料开始，电化学浆料包括用于阳极的石墨化合物和用于阴极的锂-金属-氧化物化合物，锂-金属-氧化物化合物在电池单元内的离子流动期间充当电子收集器。然后，通常通过通常称为槽模涂覆(slotdiecoating)的过程将该浆料均匀地铺展在金属箔上以形成电极。用于锂离子电池中的电极的基底通常包括铜箔(用于阳极)和铝箔(用于阴极)。在金属基底已经被浆料均匀地涂覆之后，将涂覆基底放入烘箱中以干燥浆料。一旦阳极和阴极已被干燥形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传感器系统(100)，包括：/n涡电流传感器(120)，所述涡电流传感器包括至少一个线圈(120a)，所述至少一个线圈具有耦合在所述线圈两端的激励电子器件(121)；/n光学位移传感器(140)，所述光学位移传感器固定到所述涡电流传感器，使得所述光学位移传感器和所述涡电流传感器之间的垂直距离是固定的，并且其中所述光学位移传感器位于所述线圈的顶部并与所述线圈同心，使得所述光学位移传感器的测量轴线与所述线圈的对称轴线共线，和/n计算装置(150)，所述计算装置包括处理器(151)和存储器(152)，所述计算装置被耦合以接收来自所述涡电流传感器和所述光学位移传感器的传感器数据，所述计算装置适...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180924 US 62/735,583;20190912 US 16/569,2141.一种传感器系统(100)，包括：
涡电流传感器(120)，所述涡电流传感器包括至少一个线圈(120a)，所述至少一个线圈具有耦合在所述线圈两端的激励电子器件(121)；
光学位移传感器(140)，所述光学位移传感器固定到所述涡电流传感器，使得所述光学位移传感器和所述涡电流传感器之间的垂直距离是固定的，并且其中所述光学位移传感器位于所述线圈的顶部并与所述线圈同心，使得所述光学位移传感器的测量轴线与所述线圈的对称轴线共线，和
计算装置(150)，所述计算装置包括处理器(151)和存储器(152)，所述计算装置被耦合以接收来自所述涡电流传感器和所述光学位移传感器的传感器数据，所述计算装置适于分析当测量在金属基底(185)的至少一侧上包括涂层(187)的涂覆基底(180)时获得的所述传感器数据，以至少确定所述涂层的厚度。


2.根据权利要求1所述的传感器系统，其中所述激励电子器件向所述线圈提供重复脉冲电流信号，并且其中所述传感器数据的所述分析包括通过以下方式分析由所述涡电流传感器感测的波形：将作为接收波形的所述传感器数据或从其导出的统计数据与校准值进行比较。


3.根据权利要求2所述的传感器系统，其中所述激励电子器件被配置为以单个频率提供所述重复脉冲电流信号，并且其中所述传感器数据的所述分析包括将所述线圈两端的电压和所述线圈的相位中的至少一者与计算或测量的校准曲线进行比较。


4.根据权利要求1所述的传感器系统，还包括扫描器(190)和平移机构(195)，所述扫描器包括至少一个头部(191、192)，其中至少所述涡电流传感器和所述光学位移传感器被包含在所述至少一个头部内。


5.根据权利要求4所述的传感器系统，其中所述涂层包括顶部涂层(187)和底部涂层(186)，并且其中所述至少一个头部包括用于测量所述顶部涂层的厚度的顶部头(191)和用于测量所述底部涂层的厚...

【专利技术属性】
技术研发人员：迈克尔·孔·耀·休斯，塞巴斯蒂安·蒂克西尔，托比亚斯·内贝尔，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：美国;US