用于提纯过氧化氢的方法技术

本发明专利技术涉及一种用于提纯过氧化氢的方法。更具体地，该方法包括使用初级提纯系统提纯过氧化氢的粗产物的步骤，和使用二级提纯系统提纯经过初级提纯的过氧化氢溶液的步骤。初级提纯系统和二级提纯系统中的一个包括电去离子系统，并且初级提纯系统和二级提纯系统中的另一个包括蒸馏系统、树脂系统、反渗透系统及其组合系统中的至少一个。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于提纯过氧化氢的方法
本专利技术涉及一种用于提纯过氧化氢的方法，更具体地，涉及一种包括电去离子工艺的用于提纯过氧化氢的方法。
技术介绍
过氧化氢具有强氧化力且其分解产物无害。因此，过氧化氢被用作氧化剂、用于丝线或羊毛的漂白剂，以及塑料工业中的用于乙烯基聚合的催化剂。此外，除上述用途外，过氧化氢还用于半导体晶片清洗。用于清洗半导体晶片的技术可分为湿式清洗和干式清洗。清洗工艺与蚀刻工艺的相似之处在于去除半导体晶片的表面上的物质，但与之不同之处在于半导体晶片的表面上存在的杂质被选择性地去除。作为代表性的湿式清洗方法，有使用过氧化氢的化学湿法。
技术实现思路
技术问题本专利技术提供了一种用于提纯过氧化氢的方法，所述方法能够制造高纯度的过氧化氢。技术方案根据本专利技术的专利技术构思的用于提纯过氧化氢的方法可以包括：使用初级提纯系统提纯过氧化氢的粗产物，以及使用二级提纯系统提纯经过初级提纯的过氧化氢溶液。初级提纯系统和二级提纯系统中的一个可以包括电去离子系统，初级提纯系统和二级提纯系统中的另一个可以包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于提纯过氧化氢的方法，所述方法包括：/n使用初级提纯系统提纯过氧化氢的粗产物；以及/n使用二级提纯系统提纯经过初级提纯的过氧化氢溶液，其中：/n所述初级提纯系统和所述二级提纯系统中的一个包括电去离子系统；并且/n所述初级提纯系统和所述二级提纯系统中的另一个包括蒸馏系统、树脂系统、反渗透系统及其组合系统中的至少一个。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180817 KR 10-2018-00960171.一种用于提纯过氧化氢的方法，所述方法包括：
使用初级提纯系统提纯过氧化氢的粗产物；以及
使用二级提纯系统提纯经过初级提纯的过氧化氢溶液，其中：
所述初级提纯系统和所述二级提纯系统中的一个包括电去离子系统；并且
所述初级提纯系统和所述二级提纯系统中的另一个包括蒸馏系统、树脂系统、反渗透系统及其组合系统中的至少一个。


2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述电去离子系统包括：
第一电极和第二电极；
第一浓缩室、第二浓缩室以及位于所述第一浓缩室与所述第二浓缩室之间的稀释室；
离子交换树脂，设置在所述稀释室内部；
阴离子交换膜，位于所述第一浓缩室与所述稀释室之间；以及
阳离子交换膜，位于所述第二浓缩室与所述稀释室之间。


3.根据权利要求2所述的方法，其中：
向所述第一电极和所述第二电极施加直流电源；
所述稀释室内部的所述过氧化氢溶液中的阴离子杂质通过所述阴离子交换膜并移动到所述第一浓缩室；并且
所述稀释室内部的所述过氧化氢溶液中的阳离子杂质通过所述阳离子交换膜并移动到所述第二浓缩室。


4.根据权利要求2所述的方法，其中：
将第一浓缩液和第二浓缩液分别引入到所述第一浓缩室...

【专利技术属性】
技术研发人员：金德允，金惠珍，金敬烈，金容逸，
申请(专利权)人：OCI有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR