光刻图像的生成方法、装置和电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种光刻图像的生成方法、装置和电子设备，包括：获取待处理图像的像素矩阵，该像素矩阵中包含有待处理图像中的每个像素点对应的像素值；按照预设规则，将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值；基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将像素矩阵中的灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图；将替换后的像素矩阵对应的待处理图像，确定为光刻图像。该方法通过曲线光栅替换待处理图像中的灰度值，从而避免了现有技术中渐变图案利用直线光栅光刻制版的不连续性和对点光源的依赖性；同时，由于整体光栅的利用率高，增加了整体的亮度，解决了现有直线光栅制造渐变图案的固有缺陷。

【技术实现步骤摘要】
光刻图像的生成方法、装置和电子设备
本专利技术涉及全息光学
，尤其是涉及一种光刻图像的生成方法、装置和电子设备。
技术介绍
采用全息光学可以制造渐变图案，这一效果也就是能看到一幅图案从没有到逐渐显现的过程。渐变图案原理为利用分点将图案的不同区域填入不同的灰度，灰度代表直线光栅的不同角度，先亮的一部分会拥有更多的灰度。但是现有的点阵直线光栅往往在杂散光下就呈现出多个像的形态，图案模糊，需要点光源的照射才能呈现较好的渐变效果，且连续性不强，光栅利用率不高。相关技术中，给出了一种无点阵全息曲线光栅计算方法，该方法包括获取立体模型，设置观察角度范围；根据立体模型的模式类型从预存的多种拟合算法中选择出与立体模型的模式类型对应的拟合算法；根据选择出的拟合算法在观察角度范围内对该立体模型进行拟合以得到多组曲线集合，获得多组曲线集合中包含的曲线的切线值相等的点以构成点集，其中，各点集中包含的点构成的区域为立体模型在该点集对应的切线方向的垂直方向上的观察图案。但是这一计算方法只能用于固定的立体模型，且仅能达到不跳帧的连续动画效果，无法实现渐变效果。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻图像的生成方法，其特征在于，所述方法包括：/n获取待处理图像的像素矩阵；其中，所述像素矩阵中包含有所述待处理图像中的每个像素点对应的像素值；/n按照预设规则，将所述像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值；/n基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将所述像素矩阵中的灰度值替换为所述灰度值对应的曲线光栅图；/n将替换后的所述像素矩阵对应的所述待处理图像，确定为光刻图像。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻图像的生成方法，其特征在于，所述方法包括：
获取待处理图像的像素矩阵；其中，所述像素矩阵中包含有所述待处理图像中的每个像素点对应的像素值；
按照预设规则，将所述像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值；
基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将所述像素矩阵中的灰度值替换为所述灰度值对应的曲线光栅图；
将替换后的所述像素矩阵对应的所述待处理图像，确定为光刻图像。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述按照预设规则，将所述像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值的步骤，包括：
按照所述灰度值从所述待处理图像的中心向外依次变化的方式，将所述待处理图像的像素矩阵中每个像素点的像素值替换为相应的灰度值；
或者，按照所述灰度值从所述待处理图像的边缘变化的方式，将所述待处理图像的像素矩阵中每个像素点的像素值替换为相应的灰度值。


3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述预设规则包括：所述像素矩阵中每一行对应的同一灰度值的连续区域的像素个数为第一预设值，且相邻的两个变化的灰度值之间的间隔小于第二预设值。


4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述灰度值的取值范围为0-255；所述图像集合中，每个灰度值对应的曲线光栅图中的曲线光栅的角度不同；其中，所述曲线光栅的角度跟随所述灰度值的增大而减小，或者所述曲线光栅的角度跟随所述灰度值的减少而增大。


5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪昱坤，李桂林，黄凯，
申请(专利权)人：武汉华工图像技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42