检查模块及包括该检查模块的检查装置制造方法及图纸

提供了检查模块和包括该检查模块的检查装置。所述检查装置检测显示基板的缺陷，所述检查装置包括检查模块，检查模块包括彼此相对的第一偏光板和第二偏光板以及布置在所述第一偏光板与所述第二偏光板之间的液晶层，其中，所述第二偏光板是可旋转的。

【技术实现步骤摘要】
检查模块及包括该检查模块的检查装置
本专利技术涉及检查模块及包括该检查模块的检查装置，更具体地涉及用于检测设置于显示装置的显示基板的缺陷的检查装置及包括在该检查装置中的检查模块。
技术介绍
液晶显示装置广泛应用于显示图像的显示装置。通常，液晶显示装置包括背光单元、显示基板、相对基板和液晶层，其中，背光单元产生光，相对基板与上述显示基板相对，并且液晶层插置在上述两个基板之间。上述液晶显示装置还可以包括产生施加于上述液晶层的电场的电极，并且因此，上述液晶显示装置使用通过上述电场调节透光率的上述液晶层来显示上述图像。同时，上述显示基板可以包括像素电极和与上述像素电极一一对应地电连接的诸如薄膜晶体管的驱动电路。在这种情况下，就上述液晶显示装置的制造方法而言，在完成上述显示基板的制造并且将完成上述制造的上述显示基板与上述相对基板结合之前，检查上述显示基板的上述像素电极和上述驱动电路的缺陷。近来，随着高分辨率的显示装置的研发，检查上述显示基板的缺陷的检查装置需要较高的灵敏度。
技术实现思路
解决的技术问题本专利技术旨在解决的问题在于，提供检查装置及包括在该检查装置中的检查模块，该检查装置可以检测显示基板中的布线结构和层间(堆叠)结构中发生的缺陷。本专利技术的问题不限于以上所提及的问题，并且本领域普通技术人员将从下面的记载清楚地理解未提及的其他技术问题。问题的解决方案根据用于解决上述问题的本专利技术的一个实施方式的检查装置，作为检测显示基板的缺陷的检查装置，包括检查模块，检查模块包括彼此相对的第一偏光板和第二偏光板以及布置在上述第一偏光板与上述第二偏光板之间的液晶层，其中，上述第二偏光板是能够旋转的。上述第一偏光板可以包括在一个方向上形成的第一光轴，并且上述第二偏光板可以包括在一个方向上形成的第二光轴。如果上述第二偏光板旋转，则上述第一光轴和上述第二光轴所形成的平面上的角度可以改变。在上述第一光轴和上述第二光轴所形成的平面上的角度不同的多种状态下，上述检查装置可以收集上述显示基板的图像。上述多种状态可以包括上述第一光轴和上述第二光轴所形成的平面上的角度为0°、45°、90°和135°。上述显示基板可以包括多个导电层，其中，上述液晶层可以通过上述多个导电层之间的电场使液晶分子取向。上述显示基板的缺陷可以包括数据线的断开、栅极线的断开、数据线与栅极线之间的短路、存储电容器与数据线之间的短路或相邻数据线之间的短路。上述检查模块还可以包括第一取向膜和第二取向膜，其中，第一取向膜布置在上述第一偏光板与上述液晶层之间，并且第二取向膜布置在上述第二偏光板与上述液晶层之间。当检测上述显示基板的缺陷时，上述第一偏光板可以相比上述第二偏光板邻近上述显示基板。当检测上述显示基板的缺陷时，上述检查模块与上述显示基板的间隔可以为40μm至60μm。上述第一偏光板为四边形形状，其中，横向长度和纵向长度可以分别为5mm至10mm。上述第二偏光板可以具有与上述第一偏光板相同的形状和大小。上述第二偏光板可以包括具有彼此不同的方向的光轴的多个偏光区域。上述第二偏光板可以包括第一偏光区域、第二偏光区域、第三偏光区域和第四偏光区域，其中，第一偏光区域包括第二光轴，第二偏光区域包括相对于上述第二光轴旋转45°的第三光轴，第三偏光区域包括相对于上述第二光轴旋转90°的第四光轴，并且第四偏光区域包括相对于上述第二光轴旋转135°的第五光轴。上述第一偏光板和上述第二偏光板都可以是能够旋转的。上述检查装置还可以包括光源、测量单元和图像处理部，其中，光源输出光以提供给上述检查模块，测量单元接收透过上述检查模块的上述光以生成与上述光对应的数据信号，图像处理部将上述数据信号转换为图像。上述图像处理部可以将随着上述第二偏光板旋转而基于光产生的多个数据信号转换为相应的图像，并且合并上述相应的图像。上述液晶层可以不包括PDLC(聚合物分散液晶)。根据用于解决上述问题的本专利技术的一个实施方式的检查模块，作为包括在检测显示基板的缺陷的检查装置中的检查模块，包括第一偏光板和第二偏光板以及液晶层，其中，第一偏光板与第二偏光板彼此相对，并且液晶层布置在上述第一偏光板与上述第二偏光板之间，其中，上述第一偏光板包括在一个方向上形成的第一光轴，其中，上述第一偏光板是固定的，以及上述第二偏光板包括在一个方向上形成的第二光轴，其中，上述第二偏光板能够以虚拟的旋转轴为中心旋转。其他实施方式的具体细节包括在详细的说明和附图中。有益效果根据本专利技术的实施方式，检查装置可以检测高分辨率显示基板的缺陷。另外，检查装置可以检测在显示基板中的布线结构和层间(堆叠)结构中发生的缺陷。根据实施方式的效果不限制于以上例示的内容，并且在本说明书中包括更多种效果。附图说明图1是概略地示出根据本专利技术的一个实施方式的检查装置的图。图2是概略地示出根据本专利技术的一个实施方式的作为检查装置的检查对象的显示基板的截面图。图3是示出根据本专利技术的一个实施方式的检查装置中的第一偏光板和第二偏光板的概念的图。图4至图7是示出关于图3的第二偏光板沿多个方向旋转的状态的概念的图。图8是示出根据本专利技术的另一实施方式的检查装置中的第二偏光板的概念的图。图9和图10是概略地示出根据本专利技术的又一些实施方式的检查装置的图。具体实施方式参考以下与附图一起详细描述的实施方式，本专利技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本专利技术不限于下面公开的实施方式，而是将以不同的各种形式实现，并且本实施方式仅是为了使本专利技术的公开内容完整并向本专利技术所属
的普通技术人员充分告知专利技术的范围而提供的，并且本专利技术仅由权利要求的范围来限定。元件或层被称为在另一元件或层“上”包括直接在另一元件上或中间插置有另一层或另一元件的情况。在说明书全文中，相同的参考标号指示相同的构成要素。虽然第一、第二等用于说明各种构成要素，但这些构成要素当然不受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个构成要素与另一个构成要素区分开。因此，在本专利技术的技术思想内，在下面提到的第一构成要素当然也可以是第二构成要素。除非上下文另外明确指出，否则单数的表达包括复数的表达。附图中所示的各结构的大小和厚度为了便于描述而任意地示出，因此本专利技术不必然地限于所示大小和厚度。在附图中，为了清楚表示多个层和区域，可夸大示出厚度。在下文，将参考附图详细描述本专利技术的实施方式。对于附图中的相同的构成要素，使用相同或相似的参考标号。图1是概略地示出根据本专利技术的一个实施方式的检查装置的图。在图1中一起示出了作为检查装置10的检查对象的显示基板20。参考图1，检查装置10可以检测显示基板20的缺陷。作为一个实施方式，检查装置10包括光源250、分光器220、检查模块100、聚光部件280、测量单元300和图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于检测显示基板的缺陷的检查装置，所述检查装置包括：/n检查模块，包括第一偏光板、第二偏光板和液晶层，所述第一偏光板与所述第二偏光板彼此相对，并且所述液晶层布置在所述第一偏光板与所述第二偏光板之间，/n其中，所述第二偏光板能够旋转。/n

【技术特征摘要】
20191104 KR 10-2019-01397551.用于检测显示基板的缺陷的检查装置，所述检查装置包括：
检查模块，包括第一偏光板、第二偏光板和液晶层，所述第一偏光板与所述第二偏光板彼此相对，并且所述液晶层布置在所述第一偏光板与所述第二偏光板之间，
其中，所述第二偏光板能够旋转。


2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
所述第一偏光板包括在一个方向上形成的第一光轴，以及
所述第二偏光板包括在一个方向上形成的第二光轴。


3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，如果所述第二偏光板旋转，则所述第一光轴和所述第二光轴所形成的平面上的角度改变。


4.根据权利要求3所述的检查装置，其中，所述检查装置在所述第一光轴和所述第二光轴所形成的平面上的角度不同的多种状态下收集所述显示基板的图像。


5.根据权利要求4所述的检查装置，其中，所述多种状态包括所述第一光轴和所述第二光轴所形成的平面上的角度为0°、45°、90°和135°。


6.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
所述显示基板包括多个导电层，
其中，所述液晶层通过所述多个导电层之间的电场使液晶分子取向。


7.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述显示基板的缺陷包括数据线的断开、栅极线的断开、数据线与栅极线之间的短路、存储电容器与数据线之间的短路或相邻数据线之间的短路。


8.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述检查模块还包括：
第一取向膜，布置在所述第一偏光板与所述液晶层之间；以及
第二取向膜，布置在所述第二偏光板与所述液晶层之间。


9.根据权利要求8所述的检查装置，其中，当检测所述显示基板的缺陷时，所述第一偏光板相比所述第二偏光板邻近所述显示基板。


10.根据权利要求9所述的检查装置，其中，当检测所述显示基板的缺陷时，所述检查模块与...

【专利技术属性】
技术研发人员：林用賱，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR