【技术实现步骤摘要】
一种基于光声效应的气体传感器
本专利技术涉及气体检测领域，具体涉及一种基于光声效应的气体传感器。
技术介绍
气体检测，特别是具有选择性的气体检测技术在医疗和工业领域有着重要的应用。基于光声效应的气体检测技术具有选择性强的优点，在气体传感领域具有很好的前景。但是，现有基于光声效应的气体传感器的探测灵敏度低。
技术实现思路
为解决以上问题，本专利技术提供了一种基于光声效应的气体传感器，包括腔壁、进气口、出气口、透光孔、弹性层、电敏感层、源极、漏极，进气口和出气口设置在腔壁的相对侧面上，透光孔设置在腔壁上，透光孔与进气口同侧，弹性层覆盖腔壁，弹性层与腔壁围成腔室，电敏感层置于弹性层上，源极和漏极置于电敏感层上的两侧。更进一步地，电敏感层为石墨烯层。更进一步地，弹性层为绝缘材料。更进一步地，弹性层的中部薄、边缘厚。更进一步地，石墨烯层中设有孔洞。更进一步地，石墨烯层中石墨烯的层数大于1层、小于10层。更进一步地，源极和漏极的材料为金、银、铂。更进一步地，腔室...
【技术保护点】
1.一种基于光声效应的气体传感器，其特征在于，包括腔壁、进气口、出气口、透光孔、弹性层、电敏感层、源极、漏极，所述进气口和所述出气口设置在所述腔壁的相对侧面上，所述透光孔设置在所述腔壁上，所述透光孔与所述进气口同侧，所述弹性层覆盖所述腔壁，所述弹性层与所述腔壁围成腔室，所述电敏感层置于所述弹性层上，所述源极和所述漏极置于所述电敏感层上的两侧。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于光声效应的气体传感器，其特征在于，包括腔壁、进气口、出气口、透光孔、弹性层、电敏感层、源极、漏极，所述进气口和所述出气口设置在所述腔壁的相对侧面上，所述透光孔设置在所述腔壁上，所述透光孔与所述进气口同侧，所述弹性层覆盖所述腔壁，所述弹性层与所述腔壁围成腔室，所述电敏感层置于所述弹性层上，所述源极和所述漏极置于所述电敏感层上的两侧。
2.如权利要求1所述的基于光声效应的气体传感器，其特征在于：所述电敏感层为石墨烯层。
3.如权利要求2所述的基于光声效应的气体传感器，其特征在于：所述弹性层为绝缘材料。
4.如权利要求3所述的基于光声效应的气体传感器，其特征在...
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