【技术实现步骤摘要】
流场可视化观测装置与流场可视化观测方法
本专利技术涉及一种流场可视化技术，且特别涉及一种流场可视化观测装置及观测方法。
技术介绍
传统可视化分析通过激光作为照明，以利于高速摄像机的截取画面，因此受限于腔体的形状与抽气影响粒子扰流，且压力须在常压范围，粒子才能有效被拍摄，因此无法测量低压真空CVD(ChemicalVaporDeposition)工艺流场。另也可利用等离子体激发流体产生发光的特性，以等离子体显影取代激光照明的方式，来进行可视化分析。然而基于等离子体的光强度、拍摄背景亮度及光波段的影响等，容易发生高速摄像机取像时有过度曝光的情形，使得拍摄效果不佳，造成流场粒子图像的误判。另外，传统使用激光光源的可视化分析方式，针对低压真空等离子体显影流场的可视化拍摄范围有所局限，且真实性与准确度不足。传统流场可视化分析方式缺少光强度等检测技术，故难以取得最佳的拍摄像图像，并使得流场可视化的拍摄范围局限且真实性准确度不足。
技术实现思路
本专利技术提供一种流场可视化观测装置与一种流场可视化观测方法，能解...
【技术保护点】
1.一种流场可视化观测装置，其特征在于所述装置包括：/n腔体；/n电源供应器，其输出等离子体产生用的电压；/n至少一对电极，设置在该腔体内，该至少一对电极藉由来自该电源供应器的电压激发该腔体内的流体而产生等离子体；以及/n至少一流场观测模块，设置在该腔体外并朝该腔体拍摄该等离子体所激发的流体粒子图像，该流场观测模块包括：/n高速摄像机；/n滤光组件，设置在该高速摄像机与该腔体之间；以及/n光检测组件，取得该腔体内的光信息，并传送至该滤光组件。/n
【技术特征摘要】
20191101 TW 1081396891.一种流场可视化观测装置，其特征在于所述装置包括：
腔体；
电源供应器，其输出等离子体产生用的电压；
至少一对电极，设置在该腔体内，该至少一对电极藉由来自该电源供应器的电压激发该腔体内的流体而产生等离子体；以及
至少一流场观测模块，设置在该腔体外并朝该腔体拍摄该等离子体所激发的流体粒子图像，该流场观测模块包括：
高速摄像机；
滤光组件，设置在该高速摄像机与该腔体之间；以及
光检测组件，取得该腔体内的光信息，并传送至该滤光组件。
2.如权利要求1所述的流场可视化观测装置，还包括真空设备，用以使所述腔体内保持真空状态。
3.如权利要求1所述的流场可视化观测装置，其中该流体包括惰性气体。
4.如权利要求1所述的流场可视化观测装置，其中该高速摄像机至少通过该滤光组件与该滤波组件的其中之一朝该腔体拍摄该等离子体所激发的该流体粒子图像。
5.如权利要求1所述的流场可视化观测装置，其中，该滤光组件包括多个滤光单元。
6.如权利要求5所述的流场可视化观测装置，其中，该流场观测模块依据该光检测组件取得的该腔体内的该光信息中的光强度信息，选用该滤光组件中的一个该滤光单元，使该高速摄像机通过该选用的该滤光单元朝该腔体拍摄该等离子体所激发的该流体粒子图像。
7.如权利要求5所述的流场可视化观测装置，其中，该流场观测模块还包括滤波组件，该滤波组件设置在该高速摄像机与该腔体之间；该滤波组件包括多个滤波单元；该流场观测模块依据该光检测组件取得的该腔体内的该光信息中的光波长信息，选用该滤波组件中的一个该滤波单元，使该高速摄像机通过该选用的该滤波单元朝该腔体拍摄该等离子体所激发的该流体粒子图像。
8.如权利要求7所述的流场可视化观测装置，其中，该滤光组件包括第一承载件，该多个滤光单元设置在该第一承载件上；该滤波组件包括第二承载件，该多个滤波单元设置在该第二承载件上。
9.如权利要求8所述的流场可视化观测装置，其中，该第一承载件具有第一旋转轴，该第一承载件依据该第一旋转轴进行转动，使一个该滤光单元与一个该滤波单元重叠。
10.如权利要求8所述的流场可视化观测装置，其中，该第二承载件具有第二旋转轴，该第二承载件依据该第二旋转轴进行转动，使一个该滤波单元与一个该滤光单元重叠。
11.如权利要求8所述的流场可视化观测装置，其中，该第一承载件与该第二承载件具有共同旋转轴，该第一承载件与该第二承载件依据该共同旋转轴进行旋转，使一个该滤光单元与一个该滤波单元重叠。
12.如权利要求8所述的流场可视化观测装置，其中，该第一承载件与该第二承载件可相对性地进行平移，使一个该滤...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄智勇，刘耀先，陈冠州，林义钧，林士钦，王庆钧，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71
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