数据检索系统及方法技术方案

一种数据检索系统及方法，执行于一信息提供模块中，其中上述信息提供模块储存并提供制造工程数据集合。上述信息提供模块连接一网络。从上述网络接收一第一操作。响应上述第一操作经由上述网络提供上述工程数据集合的一部分。根据上述工程数据集合的上述部分的特征，自动提供引导信息，上述引导信息引导至上述信息提供模块可执行的下一操作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及数据管理，特别是涉及已储存的数据集合中的组件检索。
技术介绍
在半导体制造中，工程数据集合反应出半导体产品、设备、及设施、各种工艺阶段(例如蚀刻、掺杂、离子注入、封装、以及测试)的信息。既然工程数据集合在协助客户避免工艺延迟及技术错误上扮演着重要的角色，有越来越多客户开始使用工程数据集合，例如晶片验收测试(wafer acceptancetests，WAT)、晶片探测(chip probing，CP)、线内测试(inline test)及其它测试的数据集合。当信息系统提供的工程数据集合种类增多的同时，使用工程数据集合并从中取得所要的数据也变得更困难，而且也更耗时。举例来说，介于CP及线内测试数据集合的关联信息在技术上可能涉及其它的工程数据集合，其特征值或介于其它的工程数据集合之间的关联信息。然而，新的客户可能不熟悉该信息系统。另外，实际上相关的数据可能因不同状况而异。目前仍无提出任何有效方法来解决这样的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供。基于上述目的，本专利技术实施例提供一种数据检索方法，执行于一信息提供模块中，其中上述信息提供模块储存并提供制造工程数据集合，并连接一网络。从上述网络接收一第一操作。响应上述第一操作，经由上述网络提供上述工程数据集合的一部分。根据上述工程数据集合的上述部分的特征，自动提供引导信息，上述引导信息引导至上述信息提供模块可执行的下一操作。另外，本专利技术实施例提供一种数据检索系统，包含第一储存单元、接口模块以及引导模块。上述第一储存单元连接于一网络，并储存半导体制造的工程数据集合。上述接口模块连接于上述第一储存单元，通过上述网络接收第一操作并响应上述第一操作提供上述工程数据集合的一部分。上述引导模块连接于上述第一储存单元及上述接口模块，根据上述工程数据集合的上述部分的特征，以自动提供引导信息。上述引导信息引导至上述接口模块可执行的下一操作。另外，本专利技术实施例提供一种数据检索系统，包含第一储存单元、接口模块、第三储存单元以及学习模块。上述第一储存单元连接于一网络，并储存关于一半导体制造实体执行的半导体制造的工程数据集合。上述接口模块连接于上述第一储存单元，通过上述网络接收一第一操作并响应上述第一操作通过上述网络提供上述工程数据集合的一部分，并随后通过上述网络接收一第二操作。上述第三储存单元连接于上述接口模块，用以储存在上述接口模块上执行过的多个操作的一历史记录。上述学习模块连接于上述接口模块及上述第三储存单元，并储存上述第二操作于上述第三储存单元中，并将上述第二操作及上述工程数据集合的上述部分的上述特征关联在一起。因此，根据本专利技术，可以自动地产生、调整IC工程数据集合的使用上的提示信息，并提供给客户。附图说明图1显示一半导体晶片厂及多个客户的实施例的框图；图2显示一信息提供模块实施例的结构框图；图3显示用于操作步骤引导的规则实例；图4显示信息提供模块的操作历史记录实例示意图；图5显示一信息提供模块另一实施例的结构框图；图6显示数据检索方法的实施例的流程图；图7显示引导信息的实例的示意图；以及图8显示引导信息的另一实例的示意图。其中，附图标记说明如下21接口模块 22引导信息提供模块 23学习模块24-26储存单元27分析器.61电脑系统 100半导体制造环境 102半导体晶片厂 106客户108网络202服务系统 204电脑系统206制造执行系统(MES) 208制造设施 210电脑系统212工具及设备 214设计/实验设施 216电脑系统218工具及设备 220工程系统 222电脑系统230信息提供模块。具体实施例方式以下说明是本专利技术的优选实施例。其目的是要举例说明本专利技术一般性的原则，不应视为本专利技术的限制，本专利技术的范围当以权利要求的限定为准。以下提供。在图1中，半导体晶片厂102包含多个实体，每一实体包含一电脑以经由网络108连接至其它电脑及客户(例如客户106)。网络108可以是因特网(Internet)或企业内部网络(intranet)，并实作网络协议，例如网际网络通讯协议(Internet Protocol，IP)及传输控制协议(transmission control protocol，TCP)。客户106可以是集成电路(integrated circuit，IC)设计公司或其它IC处理的实体。在上述实体内的每一电脑包含一网络接口。服务系统202为介于客户(例如客户106及107)与半导体晶片厂102之间的接口，用以交换半导体工艺作业的信息。服务系统202包含电脑系统204及制造执行系统(manufacturing execution system，简称MES)206以促成此通讯。MES 206连接至半导体晶片厂102的其它系统及实体，执行各种作业以推动IC制造。举例来说，MES 206可以接收各种即时(real-time)的信息，组织并储存此信息于集中式的数据库，管理工作顺序，管理工作站，管理制造程序，追踪存货，并管理相关文件。信息提供模块230可以是整合至服务系统202的一台电脑或系统，用以提供IC制造的工程数据给客户。制造设施208用以制造IC。因此，制造设施208包含制造工具及设备212。举例来说，这些工具及设备212可以包含离子注入工具(ion implantationtool)、化学气相沉积(chemical vapor deposition)设备，热氧化(thermal oxidation)设备，溅镀(sputtering)工具，以及各式各样光学影像系统，以及控制这些工具设备所需的软件。制造设施208也可以包含电脑系统210。设计/实验设施214用以设计及测试IC。设计/实验设施214包含设计/实验工具及设备218。工具及设备218可以包含一个或一个以上的软件应用程序及硬体系统。设计/实验设施214也包含电脑系统216。工程师220可以与其它实体(例如服务系统202或其它工程师)在IC制造程序中协同运作。举例来说，工程师220和其它工程师及设计/实验设备214在IC设计与测试方面协同运作，以监视制造设施208中的制造程序，并取得测试货批及良率等的相关信息。工程师220可以利用电脑系统222直接和客户沟通，并执行其各种作业。在图2的信息提供模块230中，第一储存单元24储存从半导体晶片厂102收集而来的半导体制造工程数据。上述工程数据集合包含各种关于工艺、工艺阶段、设施、设备、工具、及关于IC制造及测试的其它信息。在半导体晶片厂102中的每一实体可以经由网络(例如网络108)提供工程数据至第一储存单元24。第二储存单元25储存规则，其中每一规则将信息提供模块230的接口模块21的至少一操作与上述工程数据集合的部分数据的特征关联在一起。在图3中，举例来说，每一种工程数据特征类别关联于信息提供模块230的多个建议操作，该建议操作由标签<opt>及</opt>所包围。每个建议操作包含由标签<weight>及</weight>所包围的权重，用以表示一操作与工程数据特征的关联程度。在第二储存单元25本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种数据检索方法，执行于一信息提供模块中，其中上述信息提供模块储存并提供制造工程数据集合，上述信息提供模块连接一网络，该方法包含：上述信息提供模块从上述网络接收一第一操作；上述信息提供模块响应上述第一操作，经由上述网络提供上 述工程数据集合的一部分；以及上述信息提供模块根据上述工程数据集合的上述部分的特征，自动提供引导信息，上述引导信息引导至上述信息提供模块可执行的下一操作。

【技术特征摘要】
US 2005-12-13 11/301,5201.一种数据检索方法，执行于一信息提供模块中，其中上述信息提供模块储存并提供制造工程数据集合，上述信息提供模块连接一网络，该方法包含上述信息提供模块从上述网络接收一第一操作；上述信息提供模块响应上述第一操作，经由上述网络提供上述工程数据集合的一部分；以及上述信息提供模块根据上述工程数据集合的上述部分的特征，自动提供引导信息，上述引导信息引导至上述信息提供模块可执行的下一操作。2.如权利要求1所述的数据检索方法，其中，被提供的上述引导信息指向上述信息提供模块可执行的多个操作，且每一操作结合一权重。3.如权利要求1所述的数据检索方法，其中，上述引导信息是基于一预定规则而被提供，上述预定规则包含上述工程数据集合的上述部分的上述特征与上述下一操作之间的关联信息，上述数据检索方法还包含当上述下一操作被执行时，上述信息提供模块相对地调整上述预定规则以加强上述工程数据集合的上述部分的上述特征与上述下一操作之间的关联性。4.如权利要求3所述的数据检索方法，其中，基于被执行过的多个操作的一历史记录提供上述引导信息，上述被执行过的多个操作的其中一个关联于上述工程数据集合的上述部分的上述特征，上述数据检索方法还包含当上述下一操作被执行时，上述信息提供模块相对地调整上述历史记录以加强上述工程数据集合的上述部分的上述特征与上述下一操作之间的关联性。5.如权利要求1所述的数据检索方法，其中，上述工程数据集合与半导体测试相关。6.一种数据检索系统，包含一第一储存单元，连接于一网络，储存半导体制造的工程数据集合；一接口模块，连接于上述第一储存单元，通过上述网络接收第一操作并响应上述第一操作提供上述工程数据集合的一部分；以及一引导模块，连接于上述第一储存单元及上述接口模块，根据上述工程数据集合的上述部分的特征，自动提供引导信息，上述引导信息引导至上述接口模块可执行的下一操作。7.如权利要求6所述的数据检索系统，其中，被提供的上述引导信息指向上述信息提供模块可执行的多个操作，且每一操作结合一权重。8.如权利要求6所述的数据检索系统，还包含一第二储存单元，连接于上述引导模块，储存多个预定规则，其中，上述引导模块是基于其中一预定规则提供上述引导信息，上述预定规则将上述工程数据集合的上述部分的上述特征与上述下一操作关联在一起；以及一学习模块，连接于上述引导模...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖世杰，林水典，林宸霆，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]