本实用新型专利技术公开了半导体制造领域内的一种捡晶机离子风枪防撞架，包括安装板，安装板上一体设置有固定板，固定板的长度大于安装板的长度，固定板上沿长度方向依次排列设置有若干腰形槽一，腰形槽一的轴线与固定板长度方向相平行，所述安装板呈矩形，安装板下边缘的左侧一体设置有安装耳，安装板上对应安装耳开设有弧形槽，安装板上固定连接有离子风枪，离子风枪的左侧对应安装耳设置有连接耳，离子风枪靠近安装板的一侧开设有螺纹孔，所述连接耳和安装耳通过紧固件固定连接，离子风枪的螺纹孔与安装板通过穿过弧形槽的紧固件相固定连接。本实用新型专利技术能够使得离子风枪的安装位置避开摆臂的旋转行程范围，避免摆臂反转时与离子风枪发生碰撞。
【技术实现步骤摘要】
一种捡晶机离子风枪防撞架
本技术属于半导体制造领域，特别涉及一种捡晶机离子风枪防撞架。
技术介绍
现有技术中，晶圆在切割时，将其放置在晶圆载台上由专用切割刀具对晶圆进行切割，晶圆被切割后会形成多个晶粒，每个晶粒就是一个IC，由于晶粒的数量较多，人工拾取效率过低，需要由捡晶机的真空吸嘴抓取晶粒后进行转移。与捡晶机相配套的离子风枪具有消除静电的作用，可以中和IC产品上的正电荷或者负电荷。现有技术中的离子风枪安装在支架上，但是其不足之处在于：该支架的尺寸过长，安装好后的离子风枪位置已经在捡晶机摆臂旋转行程范围之内，当摆臂出现反转现象时，摆臂会与离子风枪支架发生碰撞，造成摆臂前端组件损坏，发生碰撞时损坏的组件会掉落到产品表面，造成产品出现刮伤、污染等品质异常，影响机台作业稳定性和IC产品品质。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种捡晶机离子风枪防撞架，能够使得离子风枪的安装位置避开摆臂的旋转行程范围，避免摆臂反转时与离子风枪发生碰撞，防止因碰撞造成配件损坏和产品损失的问题。本技术的目的是这样实现的：一种捡晶机离子风枪防撞架，包括安装板，安装板上一体设置有固定板，固定板与安装板相垂直，固定板的长度大于安装板的长度，固定板上沿长度方向依次排列设置有若干腰形槽一，腰形槽一的轴线与固定板长度方向相平行，所述安装板呈矩形，安装板下边缘的左侧一体设置有安装耳，安装板上对应安装耳开设有弧形槽，安装板上固定连接有离子风枪，离子风枪的左侧对应安装耳设置有连接耳，离子风枪靠近安装板的一侧开设有螺纹孔，所述连接耳和安装耳通过紧固件固定连接，离子风枪的螺纹孔与安装板通过穿过弧形槽的紧固件相固定连接。本技术的安装板上可以安装离子风枪，安装板位于摆臂上方，弧形槽确保离子风枪可以在旋转时与离子风枪的螺纹孔相对应，松开连接耳和安装耳的紧固件后，可以绕着安装耳轴线旋转，再通过紧固件将离子风枪与安装板固定，实现调节离子风枪的安装角度，从不同角度清除静电；离子风枪的安装位置避开了摆臂的旋转行程范围。与现有技术相比，本技术的有益效果在于：避免摆臂反转时与离子风枪发生碰撞，防止因碰撞造成配件损坏和产品损失的问题。作为本技术的进一步改进，所述安装板包括固定部和移动部，固定部与固定板连为一体设置，固定部上开设有两道相互平行的腰形槽二，腰形槽二轴线竖直设置，移动部上对应各腰形槽二开设有两个螺纹孔，固定部和移动部通过垂直穿过对应腰形槽二、螺纹孔的紧固件相固定连接。松开紧固件后，上下调整移动部的位置，再将固定部和移动部通过紧固件固定，可以改变离子风枪的安装高度。作为本技术的进一步改进，所述安装耳和弧形槽均设置在移动部上。作为本技术的进一步改进，所述固定板与机台通过垂直穿过腰形槽一的紧固件相固定连接。防撞架的固定板与机台相固定。作为本技术的进一步改进，所述离子风枪在竖直方向上位于摆臂的上方，摆臂与晶圆载台相对应设置。作为本技术的进一步改进，所述腰形槽一设置有三个。设置多个腰形槽一确保连接更加牢固。附图说明图1为本技术的主视图。图2为图1的俯视图。图3为图1的BB向剖视图。图4为本技术安装离子风枪后的主视图。图5为离子风枪的主视图。图6为图4的左视图。图7为本技术安装在机台上的结构示意图。其中，1安装板，1a固定部，1b移动部，2固定板，3腰形槽一，4安装耳，5弧形槽，6离子风枪，6a连接耳，7紧固件，8腰形槽二，9螺纹孔，10机台，11摆臂，12晶圆载台。具体实施方式如图1-7所示，为一种捡晶机离子风枪防撞架，包括安装板1，安装板1上一体设置有固定板2，固定板2与安装板1相垂直，固定板2的长度大于安装板1的长度，固定板2上沿长度方向依次排列设置有若干腰形槽一3，腰形槽一3的轴线与固定板2长度方向相平行，安装板1呈矩形，安装板1下边缘的左侧一体设置有安装耳4，安装板1上对应安装耳4开设有弧形槽5，安装板1上固定连接有离子风枪6，离子风枪6的左侧对应安装耳4设置有连接耳6a，离子风枪6靠近安装板1的一侧开设有螺纹孔，连接耳6a和安装耳4通过紧固件7固定连接，离子风枪6的螺纹孔与安装板1通过穿过弧形槽5的紧固件7相固定连接。腰形槽一3设置有三个。安装板1包括固定部1a和移动部1b，固定部1a与固定板2连为一体设置，固定部1a上开设有两道相互平行的腰形槽二8，腰形槽二8轴线竖直设置，移动部1b上对应各腰形槽二8开设有两个螺纹孔9，固定部1a和移动部1b通过垂直穿过对应腰形槽二8、螺纹孔9的紧固件7相固定连接。松开紧固件7后，上下调整移动部1b的位置，再将固定部1a和移动部1b通过紧固件7固定，可以改变离子风枪6的安装高度。安装耳4和弧形槽5均设置在移动部1b上。固定板2与机台10通过垂直穿过腰形槽一3的紧固件7相固定连接。离子风枪6在竖直方向上位于摆臂11的上方，摆臂11与晶圆载台12相对应设置。本技术的安装板1上可以安装离子风枪6，安装板1位于摆臂11上方，弧形槽5确保离子风枪6可以在旋转时与离子风枪6的螺纹孔相对应，松开连接耳6a和安装耳4的紧固件7后，可以绕着安装耳4轴线旋转，再通过紧固件7将离子风枪6与安装板1固定，实现调节离子风枪6的安装角度，从不同角度清除静电；离子风枪6的安装位置避开了摆臂11的旋转行程范围。本技术的优点在于：避免摆臂11反转时与离子风枪6发生碰撞，防止因碰撞造成配件损坏和产品损失的问题。本技术并不局限于上述实施例，在本技术公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的
技术实现思路
，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种捡晶机离子风枪防撞架，其特征在于，包括安装板，安装板上一体设置有固定板，固定板与安装板相垂直，固定板的长度大于安装板的长度，固定板上沿长度方向依次排列设置有若干腰形槽一，腰形槽一的轴线与固定板长度方向相平行，所述安装板呈矩形，安装板下边缘的左侧一体设置有安装耳，安装板上对应安装耳开设有弧形槽，安装板上固定连接有离子风枪，离子风枪的左侧对应安装耳设置有连接耳，离子风枪靠近安装板的一侧开设有螺纹孔，所述连接耳和安装耳通过紧固件固定连接，离子风枪的螺纹孔与安装板通过穿过弧形槽的紧固件相固定连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种捡晶机离子风枪防撞架，其特征在于，包括安装板，安装板上一体设置有固定板，固定板与安装板相垂直，固定板的长度大于安装板的长度，固定板上沿长度方向依次排列设置有若干腰形槽一，腰形槽一的轴线与固定板长度方向相平行，所述安装板呈矩形，安装板下边缘的左侧一体设置有安装耳，安装板上对应安装耳开设有弧形槽，安装板上固定连接有离子风枪，离子风枪的左侧对应安装耳设置有连接耳，离子风枪靠近安装板的一侧开设有螺纹孔，所述连接耳和安装耳通过紧固件固定连接，离子风枪的螺纹孔与安装板通过穿过弧形槽的紧固件相固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种捡晶机离子风枪防撞架，其特征在于，所述安装板包括固定部和移动部，固定部与固定板连为一体设置，固定部上开设有两道相互平行的腰形槽二，...
【专利技术属性】
技术研发人员：孟强，许秀真，刘明群，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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