带有有机功能膜的基板的制造方法技术

采用下述制造方法，能够得到抑制攀爬现象、具有均匀的膜厚的有机功能膜的电子元件，所述制造方法是具有基板、在该基板上规定开口部的隔壁和在该隔壁内具有有机功能膜的电子元件的制造方法，其包括：将包含有机功能材料成分和包含三甘醇的溶剂的有机功能墨在隔壁内采用喷墨法涂布的工序、通过减压从而从在隔壁内涂布了的有机功能墨中将溶剂除去以形成有机功能膜的工序，溶剂中的三甘醇的含量为3～17质量％。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有有机功能膜的基板的制造方法
本专利技术涉及带有有机功能膜的基板的制造方法。
技术介绍
在有机电致发光(以下称为有机EL)元件中，作为发光层、电荷注入层，使用包含有机化合物的有机功能膜。特别地，空穴注入层承担阳极与空穴传输层或发光层的电荷的授受，为了实现有机EL元件的低电压驱动和高亮度而发挥重要的功能。空穴注入层的形成方法大致分为以蒸镀法为代表的干法和以旋涂法为代表的湿法，如果将这些方法进行比较，湿法能够大面积地高效率地制造平坦性高的薄膜。因此，在进行着有机EL显示器的大面积化的现在，希望有可采用湿法形成的空穴注入层，报道了有关可采用湿法成膜的空穴注入层的技术(例如参照专利文献1)。此外，在有机EL显示器的制造中，在采用湿法形成空穴注入层、其他的有机功能层的情况下，一般地，以将层的形成区域包围的方式设置隔壁(围堰)，在该隔壁的开口部内涂布有机功能墨。此时，有时发生在开口部内涂布的墨在隔壁的侧面攀爬、与隔壁的侧面接触的涂膜周缘部的厚度变得比涂膜中央部厚的所谓攀爬(累积)现象。这样的攀爬现象引起如下事态：没有如设计那样遵守在电极间形成的多个有机功能层的层叠顺序，形成漏电流流路。其结果，不能实现所期望的元件特性。另外，攀爬的空穴注入层等有机功能层可引起得到的有机EL元件的发光不均。在这方面，在专利文献2、3中提出了抑制攀爬现象的手段，鉴于使用了湿法的有机EL显示器的开发进一步加速的目前的状况，对于有关这样的攀爬现象的抑制的技术的要求进一步提高。现有技术文献专利文献<br>专利文献1：国际公开第2008/032616号专利文献2：日本特开2009-104859号公报专利文献3：日本特开2011-103222号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术鉴于上述实际情况而完成，目的在于提供抑制攀爬现象、具有均匀的膜厚的有机功能膜的带有有机功能膜的基板的制造方法。用于解决课题的手段本专利技术人为了实现上述目的而反复深入研究，结果发现：通过使用包含三甘醇的溶剂作为有机功能墨的溶剂，从而在将该墨采用喷墨涂布在隔壁内涂布的情况下，能够制作极力抑制了墨的攀爬的薄膜，完成了本专利技术。即，本专利技术提供：1.带有有机功能膜的基板的制造方法，是具有基板、在该基板上规定开口部的隔壁和在该隔壁内具有有机功能膜的带有有机功能膜的基板的制造方法，其特征在于，包括：将包含有机功能材料和包含三甘醇的溶剂的有机功能墨在所述隔壁内采用喷墨法涂布的工序、通过减压从而从在所述隔壁内涂布了的有机功能墨中将溶剂除去以形成有机功能膜的工序，所述溶剂中的三甘醇的含量为3～17质量％；2.1的带有有机功能膜的基板的制造方法，其中，在通过所述减压从而将溶剂成分除去后，包括进行加热的工序；3.1或2的带有有机功能膜的基板的制造方法，其中，所述溶剂包含沸点比三甘醇低的二醇溶剂；4.1～3中任一项的带有有机功能膜的基板的制造方法，其中，所述溶剂包含沸点比三甘醇低的二醇醚溶剂；5.1～4中任一项的带有有机功能膜的基板的制造方法，其中，所述溶剂包含三甘醇、二甘醇和三甘醇二甲基醚；6.1～5中任一项的带有有机功能膜的基板的制造方法，其中，所述有机功能材料为苯胺衍生物；7.电子元件的制造方法，其包含如下工序：在采用1～6的制造方法得到的带有有机功能膜的基板上进一步制作有机功能层；8.攀爬抑制方法，其为在制造具有基板、在该基板上规定开口部的隔壁和在该隔壁内具有有机功能膜的带有有机功能膜的基板时，在将包含有机功能材料和溶剂的有机功能墨在所述隔壁内采用喷墨法涂布时，抑制所述有机功能墨在所述隔壁内攀爬的现象的攀爬抑制方法，其特征在于，作为所述有机功能墨，使用三甘醇的含量为3～17质量％的溶剂；9.喷墨法用墨，其为在制造具有基板、在该基板上规定开口部的隔壁和在该隔壁内具有有机功能膜的带有有机功能膜的基板时在所述隔壁内采用喷墨法所涂布的喷墨法用墨，其特征在于，包含有机功能材料和包含三甘醇的溶剂，该溶剂中的三甘醇的含量为3～17质量％。专利技术的效果根据本专利技术的带有有机功能膜的基板的制造方法，能够有效率地制作包括在隔壁内抑制墨的攀爬、具有均匀的膜厚的有机功能膜的带有有机功能膜的基板。附图说明图1为实施例中的累积指数的计算法的说明图。具体实施方式以下对本专利技术更详细地说明。应予说明，本专利技术中，与有机功能墨有关的“固体成分”意指该墨中所含的溶剂以外的成分。另外，所谓电荷传输性，与导电性同义，与空穴传输性同义。本专利技术涉及的带有有机功能膜的基板的制造方法是具有基板、在该基板上规定开口部的隔壁和在该隔壁内具有有机功能膜的带有有机功能膜的基板的制造方法，其特征在于，包括：将包含有机功能材料和包含三甘醇的溶剂的有机功能墨在隔壁内采用喷墨法涂布的工序、通过减压从而从在隔壁内涂布了的有机功能墨中将溶剂除去以形成有机功能膜的工序，溶剂中的三甘醇的含量为3～17质量％。本专利技术的特征在于，作为有机功能墨的溶剂(以下也称为墨溶剂)，使用三甘醇的含量为3～17质量％的溶剂，通过使用该溶剂，从而能够有效地抑制在围堰(隔壁)内涂布了的墨的攀爬现象，制作的薄膜的膜厚变得更为均匀，从再现性良好地得到抑制攀爬现象、具有均匀的膜厚的有机功能膜的带有有机功能膜的基板的观点出发，三甘醇的含量优选为4～16质量％，更优选为5～15质量％。本专利技术中使用的墨溶剂只要三甘醇的含量为3～17质量％，则并无特别限定，作为残余(83～97质量％)的溶剂成分，能够从以往在有机功能墨中使用的溶剂中适当地选择使用，如果考虑进一步提高攀爬的抑制效果，残余的溶剂优选在大气压(1.013×105Pa)下沸点比三甘醇(沸点287℃)低的溶剂，更优选沸点低10℃以上的溶剂，进一步优选沸点低20℃以上的溶剂，更进一步优选沸点低30℃以上的溶剂。特别地，在本专利技术中使用的墨溶剂中，优选包含沸点比三甘醇低的其他的二醇溶剂。作为这样的其他的二醇溶剂的具体例，可列举出乙二醇(沸点197℃)、丙二醇(沸点188℃)、二甘醇(沸点244℃)、二丙二醇(沸点232℃)、三丙二醇(沸点273℃)、己二醇(沸点197℃)、1，2-丁二醇(沸点193℃)、2，3-丁二醇(沸点182℃)、1，3-丁二醇(沸点207℃)、1，4-丁二醇(沸点228℃)、1，5-戊二醇(沸点239℃)等，这些可各自单独地使用，也可将2种以上组合使用。墨溶剂中的其他的二醇溶剂的总比例只要为97质量％以下即可，从再现性良好地获得抑制攀爬现象、具有均匀的膜厚的有机功能膜的带有有机功能膜的基板的观点出发，优选5～80质量％，更优选10～70质量％，进一步优选15～60质量％，更进一步优选20～50质量％(其中，使用的全部的溶剂种的合计为100质量％)。进而，优选在本专利技术中使用的墨溶剂中包含沸点比三甘醇低的二醇醚溶剂。作为这样的二醇醚溶剂的具体例，可列举出乙二醇本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.带有有机功能膜的基板的制造方法，是具有基板、在该基板上规定开口部的隔壁和在该隔壁内具有有机功能膜的带有有机功能膜的基板的制造方法，其特征在于，包括：将包含有机功能材料和包含三甘醇的溶剂的有机功能墨在所述隔壁内采用喷墨法涂布的工序、通过减压从而从在所述隔壁内涂布了的有机功能墨中将溶剂除去以形成有机功能膜的工序，所述溶剂中的三甘醇的含量为3～17质量％。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180925 JP 2018-1790201.带有有机功能膜的基板的制造方法，是具有基板、在该基板上规定开口部的隔壁和在该隔壁内具有有机功能膜的带有有机功能膜的基板的制造方法，其特征在于，包括：将包含有机功能材料和包含三甘醇的溶剂的有机功能墨在所述隔壁内采用喷墨法涂布的工序、通过减压从而从在所述隔壁内涂布了的有机功能墨中将溶剂除去以形成有机功能膜的工序，所述溶剂中的三甘醇的含量为3～17质量％。


2.根据权利要求1所述的带有有机功能膜的基板的制造方法，其中，在通过所述减压从而将溶剂成分除去后，包括进行加热的工序。


3.根据权利要求1或2所述的带有有机功能膜的基板的制造方法，其中，所述溶剂包含沸点比三甘醇低的二醇溶剂。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的带有有机功能膜的基板的制造方法，其中，所述溶剂包含沸点比三甘醇低的二醇醚溶剂。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的带有有机功能膜的基板的制...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴田知佳，
申请(专利权)人：日产化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP