利用由性能改进的氧化钒所制成的热敏材料来制造微测辐射热计的方法技术

本发明专利技术涉及一种用于制造微测辐射热计(1)的方法，该方法包括以下步骤：‑生产包含热敏电阻材料(14)的膜(10)，该热敏电阻材料由基于氧化钒的第一化合物所制成，并且由覆盖中间绝缘层(13)的中央部段(14.1)以及由穿过孔(13a)与极化电极(12)相接触的侧向部段(14.2)来形成；‑通过离子注入在侧向部段(14.2)中局部地掺杂大于或等于有效量的量(y)的附加化学元素(A)，由此改性的化合物在室温下的电阻率ρ

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】利用由性能改进的氧化钒所制成的热敏材料来制造微测辐射热计的方法
本专利技术的领域在于用于检测电磁辐射(例如红外或太赫兹电磁辐射)的设备领域，该设备包括含有基于氧化钒的热敏电阻材料的至少一个电阻式热检测器。本专利技术尤其适用于红外成像、热成像或气体检测领域。
技术介绍
用于检测电磁辐射的设备可以包括也称作微测辐射热计的电阻式热检测器的矩阵，每个微测辐射热计都包括能够吸收待检测的电磁辐射的吸收性部段。图1是根据现有技术的微测辐射热计1的示例的透视图，该微测辐射热计在此适于吸收波长为大约8μm至14μm的LWIR(英文为LongWavelengthInfrared)光谱波段中的红外电磁辐射。在此针对本说明书下文来定义直接三维正交坐标系(X，Y，Z)，其中，XY平面基本上与其上放置有微测辐射热计1的衬底2的平面平行，Z轴沿着与衬底2的平面基本上正交的轴线朝向吸收性膜10来定向。此外，术语“下部”和“上部”理解为在+Z方向上与衬底2的距离增大的位置相关。微测辐射热计1包括通过锚固柱4悬挂在读取衬底2上方并通过热绝缘臂5与该本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制造至少一个微测辐射热计(1)的方法，所述方法包括以下步骤：/nο生产从衬底(2)起延伸的锚固柱(4)，并且所述锚固柱中的每个都包括导电材料；/nο生产热绝缘臂(5)，所述热绝缘臂中的每个都包括与所述锚固柱(4)的导电材料相接触并形成极化电极的金属材料层(12)；/nο生产旨在通过锚固柱(4)和热绝缘臂(5)来悬挂在衬底(2)上方的膜(10)，所述膜包含：/n·所述极化电极(12)；/n·称为中间绝缘层的绝缘层(13)，其部分地覆盖所述极化电极(12)并包含通往极化电极(12)的孔(13a)；/n·热敏电阻材料(14)，其由基于氧化钒的第一化合物(VO

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181024 FR 18598091.一种用于制造至少一个微测辐射热计(1)的方法，所述方法包括以下步骤：
ο生产从衬底(2)起延伸的锚固柱(4)，并且所述锚固柱中的每个都包括导电材料；
ο生产热绝缘臂(5)，所述热绝缘臂中的每个都包括与所述锚固柱(4)的导电材料相接触并形成极化电极的金属材料层(12)；
ο生产旨在通过锚固柱(4)和热绝缘臂(5)来悬挂在衬底(2)上方的膜(10)，所述膜包含：
·所述极化电极(12)；
·称为中间绝缘层的绝缘层(13)，其部分地覆盖所述极化电极(12)并包含通往极化电极(12)的孔(13a)；
·热敏电阻材料(14)，其由基于氧化钒的第一化合物(VOx)制成，并且由覆盖中间绝缘层(13)的称为中央部段的部段(14.1)以及由穿过孔(13a)与极化电极(12)相接触的称为侧向部段的部段(14.2)来连续地形成；
其特征在于，所述方法还包括以下步骤：
ο确定至少一种附加化学元素(A)的称为有效量的非零量(yeff)，所述至少一种附加化学元素在通过离子注入而掺杂在第一化合物中时形成称为改性化合物的化合物(VOxAy)，所述改性化合物在室温下的电阻率ρL小于或等于所述第一化合物(VOx)在室温下的电阻率ρc的10％；
ο通过离子注入将大于或等于有效量(yeff)的所述附加化学元素(A)的量(y)局部地掺杂到热敏电阻材料(14)的侧向部段(14.2)中。

【专利技术属性】
技术研发人员：让雅克·约恩，丹尼斯·珀朗，
申请(专利权)人：原子能和替代能源委员会，
类型：发明
国别省市：法国;FR