一种主轴冷却水的回收利用系统技术方案

本实用新型专利技术涉及工业用水回收利用技术领域，尤其涉及一种主轴冷却水的回收利用系统，包括依次连通的回收池、过滤组件以及纯水机，其中：回收池连通若干个加工设备的主轴冷却水排放管；过滤组件包括依次连通的石英砂过滤桶、活性炭过滤桶以及树脂过滤桶，树脂过滤桶还连通有盐水桶；本实用新型专利技术的回收利用系统先将加工设备的主轴冷却水汇集到回收池中，再通过第一水泵将收集到的主轴冷却水与外接水一起经过过滤组件过滤后，能够作为纯水机的原水使用，节约水资源，降低车间生产成本；并且在清洗维护过滤组件时往树脂过滤桶中通入盐溶液，达到再生树脂的目的，延长过滤树脂的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种主轴冷却水的回收利用系统
本技术涉及工业用水回收利用
，尤其涉及一种主轴冷却水的回收利用系统。
技术介绍
晶圆加工流程中通常包括切割、研磨等步骤，生产设备的主轴所使用的冷却水相对产品加工的冷却水比较干净，而现有的生产作业中都是将主轴的冷却水和加工冷却水一起排放至污水井，浪费水资源，增加车间生产成本。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的不足，本技术提供了一种主轴冷却水的回收利用系统，能够将加工设备的主轴冷却水回收过滤后作为纯水机的原水使用，节约水资源，降低车间生产成本。本技术解决其技术问题所采用的技术方案为：一种主轴冷却水的回收利用系统，包括依次连通的回收池、过滤组件以及纯水机，其中：所述回收池连通若干个加工设备的主轴冷却水排放管；所述过滤组件包括依次连通的石英砂过滤桶、活性炭过滤桶以及树脂过滤桶，所述树脂过滤桶还连通有盐水桶；所述回收池与所述过滤组件之间设置有第一水泵，所述第一水泵还连通有外接水管。进一步地，所述树脂过滤桶以及所述盐水桶之间还设置有开关阀。进一步地，所述树脂过滤桶以及所述盐水桶(404)之间连接的管路上设置有第二水泵。进一步地，所述石英砂过滤桶和/或所述活性炭过滤桶包括中空的桶体，所述桶体中设置有过滤筛板以及滤袋，石英砂和/或活性炭放置在所述滤袋中。进一步地，所述树脂过滤桶包括外套筒以及设置在所述外套筒中的内套筒，所述内套筒的侧壁上设置有网孔，所述内套筒连接有输出口，所述外套筒连接有输入口，树脂设置在所述外套筒与所述内套筒之间的区域。进一步地，所述内套筒的外壁上包覆有滤布。进一步地，所述内套筒的底部倾斜设置，所述输出口设置在所述内套筒的底部最低点的位置。本技术的有益效果有：本技术的回收利用系统先将加工设备的主轴冷却水汇集到回收池中，再通过第一水泵将收集到的主轴冷却水与外接水一起经过过滤组件过滤后，能够作为纯水机的原水使用，节约水资源，降低车间生产成本；并且本技术的过滤组件还包括树脂过滤桶，树脂过滤桶还连通有盐水桶，在清洗维护过滤组件时往树脂过滤桶中通入盐溶液，达到再生树脂的目的，延长过滤树脂的使用寿命。附图说明本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是本技术实施例的回收利用系统的流程示意图；图2是本技术实施例的过滤组件的流程示意图；图3是本技术实施例的石英砂过滤桶或活性炭过滤桶的结构示意图；图4是本技术实施例的树脂过滤桶的结构示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。参照图1与图2所示的一种主轴冷却水的回收利用系统，该回收利用系统包括依次连通的回收池200、过滤组件400以及纯水机500，其中，回收池200连通若干个加工设备100的主轴冷却水排放管，需要说明的是，该加工设备100可以是加工晶圆时所常用的切割机、研磨机等，并且加工设备100上主轴的冷却水与冷却产品所用的冷却水相互独立设置，现有技术的设计是主轴冷却水以及产品所用的冷却水分别流入污水井300，在污水井300中沉淀后再经过过滤、中和净化等步骤实现排放达标后再排出；本技术是若干个加工设备100的主轴冷却水通过主轴冷却水排放管汇集到回收池200中，主轴冷却水经过滤组件400过滤后可以作为纯水机500的原水使用；具体的，该过滤组件400包括依次连通的石英砂过滤桶401、活性炭过滤桶402以及树脂过滤桶403，树脂过滤桶403还连通有盐水桶404，具体的，盐水桶404可以通过活性炭过滤桶402与树脂过滤桶403之间连通的管路上与树脂过滤桶403连通，也可以是盐水桶404通过管路直接连通树脂过滤桶403，盐水桶404中可以储存有饱和盐溶液，该盐溶液可以是常规的NaCl溶液，主轴冷却水先经过石英砂过滤桶401将泥沙等不溶解的颗粒物滤除，再经过活性炭过滤桶402以滤除主轴冷却水中的余氯，降低主轴冷却水的浊度，而树脂则是可以软化水中的钙镁离子；在一些实施例中，该树脂过滤桶403上可以是采用RO膜，即反渗透膜，般水的流动方式是由低浓度流向高浓度，水一旦加压之后，将由高浓度流向低浓度，亦即所谓逆渗透原理；盐水桶404和树脂过滤桶403之间还依次设置有开关阀和第二水泵，并且回收池200与过滤组件400之间设置有第一水泵201，第一水泵201连通有外接水管，具体的，第一水泵201具有两个输入口4033，其中一个输入口4033连接树脂过滤桶403的出水口，另一个输入口4033外接水管，第一水泵201的输出口4034连接纯水机500的入水口，也就是主轴冷却水经过滤后可以与外接原水一起输入纯水机500进行纯水过滤操作；而在维护清洗该过滤组件400时可以打开开关阀，通过第二水泵将盐水桶404中的盐溶液注入树脂过滤桶403中，通过盐溶液软化和再生树脂，达到延长使用寿命的作用。在一些实施例中，参照图3所示，所述石英砂过滤桶401和/或所述活性炭过滤桶402包括中空的桶体4011，所述桶体4011中设置有过滤筛板4012以及滤袋4013，石英砂和/或活性炭设置在过滤袋4013中，在本实施例中，石英砂过滤桶401以及活性炭过滤桶402的结构相同，其区别仅在于过滤材料的不同，具体的，该过滤筛板4012设置在桶体4011的底部，并且桶体4011的底部设置有出水口，滤袋4013放在过滤筛板4012上并且上端延伸出桶体4011的上端面，桶体4011的上部设置有桶盖，桶盖上设置有进水口，可以通过桶盖将滤袋4013固定在桶体4011中，在清洗维护该过滤桶时，可以直接将滤袋4013取出即可更换过滤桶内的石英砂和/或活性炭，操作简单，快捷方便。在一些实施例中，参照图4所示，所述树脂过滤桶403包括外套筒4031以及设置在外套筒4031中的内套筒4032，内套筒4032的侧壁上设置有网孔，并且内套筒4032的外表面包覆有滤布，树脂设置在外套筒4031与内套筒4032之间的区域，并且外套筒4031的侧壁上设置有输入口4033，内套筒4032的底部设置有输出口4034，也就是主轴冷却水依次经过石英砂和活性炭过滤后，从外套筒4031的输入口4033进入，再经过树脂过滤吸附后从内套筒4032的输出口4034流出，并且内套筒4032的底部倾斜设置，输出口4034设置在内套筒4032底部最低点的位置。需要说明的是，树脂过滤桶403的过滤及再生原理为：主轴冷却水以及原水经过石英砂过滤桶401以及活性炭过滤桶402过滤后，从外套筒4031的输入口4033流入树脂过滤桶403并经过树脂过滤，水中的钙镁离子被树脂颗粒吸附，同时树脂释放出金属钠离子，软化后的软水经内套筒4032收集并从输出口4034流出到纯水机500；而在树脂过滤桶403工作一段时间后，因吸附功能逐步趋向饱和状态，需本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种主轴冷却水的回收利用系统，其特征在于，包括依次连通的回收池(200)、过滤组件(400)以及纯水机(500)，其中：/n所述回收池(200)连通若干个加工设备(100)的主轴冷却水排放管；/n所述过滤组件(400)包括依次连通的石英砂过滤桶(401)、活性炭过滤桶(402)以及树脂过滤桶(403)，所述树脂过滤桶(403)还连通有盐水桶(404)；/n所述回收池(200)与所述过滤组件(400)之间设置有第一水泵(201)，所述第一水泵(201)还连通有外接水管。/n

【技术特征摘要】
1.一种主轴冷却水的回收利用系统，其特征在于，包括依次连通的回收池(200)、过滤组件(400)以及纯水机(500)，其中：
所述回收池(200)连通若干个加工设备(100)的主轴冷却水排放管；
所述过滤组件(400)包括依次连通的石英砂过滤桶(401)、活性炭过滤桶(402)以及树脂过滤桶(403)，所述树脂过滤桶(403)还连通有盐水桶(404)；
所述回收池(200)与所述过滤组件(400)之间设置有第一水泵(201)，所述第一水泵(201)还连通有外接水管。


2.根据权利要求1所述的一种主轴冷却水的回收利用系统，其特征在于，所述树脂过滤桶(403)以及所述盐水桶(404)之间还设置有开关阀。


3.根据权利要求1或2所述的一种主轴冷却水的回收利用系统，其特征在于，所述树脂过滤桶(403)以及所述盐水桶(404)之间连接的管路上设置有第二水泵。


4.根据权利要求1所述的一种主轴冷却水的回收利用系统，其特征在于，所述石英砂过...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴俊，李细华，
申请(专利权)人：珠海市中芯集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44