一种三轴振动传感器的校准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种三轴振动传感器的校准装置，包括标准振动源，标准振动源顶端的中心处固定安装有螺钉，螺钉的顶端固定安装有正直角三棱锥，正直角三棱锥的底部的三个边侧均开设有截面，正直角三棱锥的三个侧面均粘贴有MEMS模块。本实用新型专利技术通过将待检测的三个MEMS模块粘贴在正直角三棱锥上，取代原有的正方体进行校准，解决了每个芯片都要单独校准三轴，校准过程将非常繁琐且效率极其低下的问题，极大的提高了芯片校准的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种三轴振动传感器的校准装置
本技术涉及一种校准方法，特别涉及一种三轴振动传感器的校准装置，属于芯片制备

技术介绍
一般的MEMS振动传感器芯片在幅频响应的高频部分是幅度衰减或者由于共振点的原因是向上拱起的，图2、图3和图4为常见的几种典型的MEMS芯片幅频响应图（画圈区域代表需要校准和补偿的区域），太低的频带由于通频带比较平坦，因此无须校准，太高的频带偏离正常值已经很大，即使进行校准意义也不大，因此这里所说的校准区域主要是中高频带。如果我们既想提升MEMS芯片的带宽，又要保证相应的精度，就需要对MEMS芯片的中高频带进行校准，但是常用的MEMS芯片的一致性很差，一套校准系数并不能适用于所有的此种型号的MEMS芯片，那么就需要对每个MEMS芯片在中高频部分单独校准，但由于标准校准源都是单轴的，如果每个芯片都要单独校准三轴，校准过程将非常繁琐且效率极其低下。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种三轴振动传感器的校准装置，以解决上述
技术介绍
中提出的常用的MEMS芯片的一致性很差，一套校准系数并不能适用于所有的此种型号本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种三轴振动传感器的校准装置，包括标准振动源（1），其特征在于：所述标准振动源（1）顶端的中心处固定安装有螺钉，所述螺钉的顶端固定安装有正直角三棱锥（2），所述正直角三棱锥（2）的底部的三个边侧均开设有截面（4），所述正直角三棱锥（2）的三个侧面均粘贴有MEMS模块（3）。/n

【技术特征摘要】
1.一种三轴振动传感器的校准装置，包括标准振动源（1），其特征在于：所述标准振动源（1）顶端的中心处固定安装有螺钉，所述螺钉的顶端固定安装有正直角三棱锥（2），所述正直角三棱锥（2）的底部的三个边侧均开设有截面（4），所述正直角三棱锥（2）的三个侧面均粘贴有MEMS模块（3）。


2.根据权利要求1所述的一种校准装置，其特征在于：所述正直角三棱锥（2）底端的中心处开设有螺钉孔（6），四个所述螺钉孔（6）的内径与螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：王瑞，
申请(专利权)人：深圳市亚特尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44