陀螺仪制造技术

本实用新型专利技术公开了陀螺仪，陀螺仪包括基底、第一环形件、固定件、第二环形件、第一连接件、第二连接件、电极组件；第一环形件的外轮廓为正8N角星，N为正整数；固定件设于第一环形件的内侧并与第一环形件间隔设置；第二环形件设于第一环形件的外侧并与第一环形件间隔设置，第二环形件的外轮廓为正8N角星，N为整数；第一连接件连接第一环形件和固定件；第二连接件连接第一环形件和第二环形件；电极组件，用于与第一环形件及第二环形件中的至少一个形成电容，以驱动第一环形件及第二环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，并检测第一环形件及所述第二环形件沿与所述第一方向的夹角呈45度方向或与所述第一方向的夹角呈135度方向的振动位移。

【技术实现步骤摘要】
陀螺仪
本技术涉及陀螺仪
，尤其涉及一种陀螺仪。
技术介绍
微机械陀螺仪，即MEMS(MicroElectroMechanicalsystems)陀螺仪，是一种典型的角速度微传感器，由于其尺寸小、功耗低和加工方便等优势在消费电子市场有着非常广泛的应用。近年来随着陀螺仪性能的逐步提升，广泛应用于汽车、工业、虚拟现实等领域。陀螺仪可分为线振动音叉型陀螺仪和圆盘形陀螺仪两类，其中，圆盘形陀螺仪的驱动模态振型和检测模态振型简并，灵敏度高，且结构简单，逐步成为实用较为广泛的高性能陀螺仪。但是，圆盘形陀螺仪受限于结构和空间布局，导致品质因数低，且结构内可够容纳的电容量较小，存在着应用的局限。因而，有必要提供一种新的陀螺仪以解决上述的问题。
技术实现思路
本技术的目的公开一种品质因数高的陀螺仪。本技术的目的采用如下技术方案实现：一种陀螺仪，所述陀螺仪包括基底；悬置于所述基底上的第一环形件，所述第一环形件的外轮廓为正8N角星，N为正整数；固定在所述基底上的固定件，设于所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种陀螺仪，其特征在于，所述陀螺仪包括/n基底；/n悬置于所述基底上的第一环形件，所述第一环形件的外轮廓为正8N角星，N为正整数；/n固定在所述基底上的固定件，设于所述第一环形件的内侧并与所述第一环形件间隔设置；/n悬置于所述基底上的第二环形件，设于所述第一环形件的外侧并与所述第一环形件间隔设置，所述第二环形件的外轮廓为正8N角星，N为整数；/n第一连接件，连接所述第一环形件和所述固定件；/n第二连接件，连接所述第一环形件和所述第二环形件；/n电极组件，与所述基底固定连接，用于与所述第一环形件及所述第二环形件中的至少一个形成电容，以驱动所述第一环形件及所述第二环形件沿相互垂直的第一方向和第...

【技术特征摘要】
1.一种陀螺仪，其特征在于，所述陀螺仪包括
基底；
悬置于所述基底上的第一环形件，所述第一环形件的外轮廓为正8N角星，N为正整数；
固定在所述基底上的固定件，设于所述第一环形件的内侧并与所述第一环形件间隔设置；
悬置于所述基底上的第二环形件，设于所述第一环形件的外侧并与所述第一环形件间隔设置，所述第二环形件的外轮廓为正8N角星，N为整数；
第一连接件，连接所述第一环形件和所述固定件；
第二连接件，连接所述第一环形件和所述第二环形件；
电极组件，与所述基底固定连接，用于与所述第一环形件及所述第二环形件中的至少一个形成电容，以驱动所述第一环形件及所述第二环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，并检测所述第一环形件及所述第二环形件沿与所述第一方向的夹角呈45度方向或与所述第一方向的夹角呈135度方向的振动位移。


2.根据权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于，所述电极组件包括：
第一电极，固定于所述基底上并位于所述第一环形件的外周，所述第一电极与所述第一环形件形成电容；
第二电极，固定于所述基底上并位于所述第二环形件的外周，所述第二电极与所述第二环形件形成电容；
其中，所述第一电极用于驱动所述第一环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，并用于检测所述第一环形件沿与所述第一方向的夹角呈45度方向或与所述第一方向的夹角呈135度方向的振动，所述第二电极用于驱动所述第二环形件沿相互垂直的所述第一方向和所述第二方向振动，所述第一环形件和所述第二环形件异步振动，且所述第二电极用于检测所述第二环形件沿与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：占瞻，马昭，杨珊，李杨，谭秋喻，洪燕，黎家健，张睿，
申请(专利权)人：瑞声科技南京有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32