目标形成装置制造方法及图纸

一种用于极紫外光源的系统包括：毛细管，毛细管包括从第一端延伸到第二端的侧壁，侧壁包括外壁和内壁，内壁限定从第一端延伸到第二端的通道；被配置为定位在毛细管的外壁处的致动器；以及在外壁与致动器之间的粘合剂，粘合剂被配置为机械耦合致动器和毛细管，其中粘合剂占据由于固化而保持基本相同或膨胀的体积。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】目标形成装置相关申请的交叉引用本申请要求于2018年9月24日提交的题为“TARGETFORMATIONAPPARATUS”的美国第62/735,420号申请的优先权，其全部内容通过引用合并于此。
本公开涉及一种用于极紫外(EUV)光源的目标形成装置。
技术介绍
极紫外线(“EUV”)光(例如，波长为100纳米(nm)或更小的电磁辐射(有时也称为软X射线)，并且包括波长为例如20nm或更小，在5nm至20nm之间或在13nm至14nm之间的光)可以用于光刻工艺中以通过在抗蚀剂层中引发聚合来在衬底(例如，硅晶片)中产生极小特征。产生EUV光的方法包括但不限于将包括氙、锂或锡等元素的材料转换成等离子体状态的EUV范围的发射线。在通常称为激光产生等离子体(“LPP”)的一种这样的方法中，所需要的等离子体可以通过用可以称为驱动激光的放大光束照射材料的微滴、板、带、流或簇的形式的目标材料来产生。对于该过程，通常在密封容器(例如，真空室)中产生等离子体，并且使用各种类型的量测设备对其进行监测。
技术实现思路
在一个总体方面，一种用于极紫外光源的系统包括：毛细管，毛细管包括从第一端延伸到第二端的侧壁，侧壁包括外壁和内壁，内壁限定从第一端延伸到第二端的通道；被配置为定位在毛细管的外壁处的致动器；以及在外壁与致动器之间的粘合剂，粘合剂被配置为机械地耦合致动器和毛细管。粘合剂占据由于固化而保持基本相同或膨胀的体积。实现可以包括以下特征中的一项或多项。在增加粘合剂的温度的同时，粘合剂可以占据保持基本相同或膨胀的体积。当粘合剂的温度高于与粘合剂的胶凝点相关联的温度时，粘合剂可以占据继续膨胀或保持基本相同的体积。至少在高于粘合剂的胶凝点的一些温度处，粘合剂可以占据保持基本相同或膨胀的体积。粘合剂可以包括苯并恶嗪树脂或含苯并恶嗪的树脂。粘合剂可以包括氰酸酯树脂或含氰酸酯的树脂。致动器可以围绕毛细管的外壁的至少一部分，并且粘合剂可以围绕毛细管的外壁的一部分。致动器可以包括压电调节器。该系统还可以包括耦合到致动器的控制系统，控制系统被配置为向致动器提供致动信号，致动信号足以引起致动器以一定频率振动。在另一总体方面，一种用于极紫外光源的系统包括：管，该管包括从第一端处的第一开口延伸到第二端处的第二开口的侧壁，侧壁包括外壁和内壁，内壁限定从第一端延伸到第二端的通道；围绕管的外壁的一部分的致动器；以及粘合剂，填充外壁的一部分与致动器之间的区域，使得粘合剂与外壁的一部分以及致动器接触。在操作使用期间：在致动器使管振动以形成目标材料微滴流的同时，熔融金属目标材料流入管的第二开口中并且流出管的第一开口，并且粘合剂保持与外壁的一部分以及致动器接触。实现可以包括以下特征中的一项或多项。在操作使用期间，外壁可以被加热到高于粘合剂的固化温度的温度，并且当外壁被加热到高于固化温度的温度时，粘合剂保持与外壁的一部分以及致动器接触。在增加粘合剂的温度的同时，粘合剂可以占据保持基本相同或膨胀的体积。当粘合剂的温度高于与粘合剂的胶凝点相关联的温度时，粘合剂可以占据继续膨胀或保持基本相同的体积。至少在高于粘合剂的胶凝点的一些温度处，粘合剂可以占据保持基本相同或膨胀的体积。粘合剂可以包括苯并恶嗪树脂或含苯并恶嗪的树脂。粘合剂可以包括氰酸酯树脂或含氰酸酯的树脂。致动器可以围绕毛细管的外壁的至少一部分，并且粘合剂可以围绕毛细管的外壁的一部分。在另一总体方面，一种极紫外光源包括：真空容器；以及被配置为将目标材料供给到真空容器的内部的目标材料供给系统。目标材料供给系统包括：被配置为保持熔融目标材料并且向熔融目标材料施加压力的储存器，熔融目标材料在处于等离子体状态时发射极紫外光；以及微滴生成器。微滴生成器包括：毛细管，毛细管包括从第一端延伸到第二端的侧壁，侧壁包括外壁和内壁，内壁限定从第一端延伸到第二端的通道，通道被配置为从储存器接收熔融目标材料；被配置为定位在毛细管的外壁处的致动器；以及粘合剂，粘合剂具有由于固化而保持基本相同或膨胀的体积，粘合剂位于外壁与致动器之间，并且粘合剂被配置为机械耦合致动器和毛细管。实现可以包括以下特征中的一项或多项。在增加粘合剂的温度的同时，粘合剂可以占据保持基本相同或膨胀的体积。当粘合剂的温度高于与粘合剂的胶凝点相关联的温度时，粘合剂可以占据继续膨胀或保持基本相同的体积。粘合剂可以占据在固化期间保持基本相同或膨胀的体积。上述任何技术的实现可以包括EUV光源、系统、方法、过程、设备或装置。在附图和以下描述中阐述了一种或多种实现的细节。根据说明书和附图以及根据权利要求书，其他特征将很清楚。附图说明图1是EUV光源的示例的框图。图2A是目标形成装置的示例的侧视截面图。图2B是图2A的目标形成装置的俯视截面图。图3包括用于制造目标形成装置的过程300A的示例的流程图以及用于操作目标形成装置的过程300B的示例的流程图。图4和图5A-图5C是实验数据的示例。图6A和6B是光刻装置的示例的框图。图7是EUV光源的示例的框图。具体实施方式参考图1，示出了包括供给系统110的EUV光源100的框图。供给系统110发射目标流121使得目标121p被输送到真空室109中的等离子体形成位置123。目标121p包括目标材料，目标材料是在处于等离子体状态时发射EUV光的任何材料。例如，目标材料可以包括水、锡、锂和/或氙。等离子体形成位置123接收光束106。光束106由光源105生成并且经由光路107被传递到真空室109。光束106与目标121p中的目标材料之间的相互作用产生发射EUV光的等离子体196。供给系统110包括与储存器112流体耦合的毛细管114。毛细管114限定孔口119。包围毛细管114的一部分的区域113(在图1中用虚线勾画)在插图中更详细地示出。区域113不是真空室109内的物理结构，而是用于标记供给系统110的被更详细示出的一部分。毛细管114通过粘合剂134(在图1中以斜线阴影示出)机械地耦合到致动器132。致动器132经由控制链路152耦合到控制系统150。控制系统150可以包括函数发生器、电子处理器(未示出)和电子存储装置(未示出)以执行控制系统150的功能。控制链路152是能够将数据从控制系统150传输到致动器132的任何类型的连接。例如，控制链路152可以是被配置为从控制系统150向致动器132传输电子信号和命令的有线和/或无线连接。控制系统150生成信号，该信号在被施加到致动器132或与致动器132相关联的元件时，引起致动器132移动。例如，致动器132可以是基于所施加的电压而改变形状的压电陶瓷材料。在这些实现中，控制系统150生成信号，该信号被传送到电压源(未示出)，该电压源向致动器132施加电压。施加到致动器132的电压的大小和/或极性基于来自控制系统150的信号。由于毛细管114与致动器132之间的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于极紫外光源的系统，所述系统包括：/n毛细管，所述毛细管包括从第一端延伸到第二端的侧壁，所述侧壁包括外壁和内壁，所述内壁限定从所述第一端延伸到所述第二端的通道；/n致动器，被配置为定位在所述毛细管的所述外壁处；以及/n在所述外壁与所述致动器之间的粘合剂，所述粘合剂被配置为机械耦合所述致动器和所述毛细管，其中所述粘合剂占据由于固化而保持基本相同或膨胀的体积。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180924 US 62/735,4201.一种用于极紫外光源的系统，所述系统包括：
毛细管，所述毛细管包括从第一端延伸到第二端的侧壁，所述侧壁包括外壁和内壁，所述内壁限定从所述第一端延伸到所述第二端的通道；
致动器，被配置为定位在所述毛细管的所述外壁处；以及
在所述外壁与所述致动器之间的粘合剂，所述粘合剂被配置为机械耦合所述致动器和所述毛细管，其中所述粘合剂占据由于固化而保持基本相同或膨胀的体积。


2.根据权利要求1所述的系统，其中在增加所述粘合剂的温度的同时，所述粘合剂占据保持基本相同或膨胀的体积。


3.根据权利要求2所述的系统，其中当所述粘合剂的温度高于与所述粘合剂的胶凝点相关联的温度时，所述粘合剂占据继续膨胀或保持基本相同的体积。


4.根据权利要求1所述的系统，其中至少在高于所述粘合剂的胶凝点的一些温度处，所述粘合剂占据保持基本相同或膨胀的体积。


5.根据权利要求1所述的系统，其中所述粘合剂包括苯并恶嗪树脂或含苯并恶嗪的树脂。


6.根据权利要求1所述的系统，其中所述粘合剂包括氰酸酯树脂或含氰酸酯的树脂。


7.根据权利要求1所述的系统，其中所述致动器围绕所述毛细管的所述外壁的至少一部分，并且所述粘合剂围绕所述毛细管的所述外壁的所述一部分。


8.根据权利要求7所述的系统，其中所述致动器包括压电调节器。


9.根据权利要求1所述的系统，还包括耦合到所述致动器的控制系统，所述控制系统被配置为向所述致动器提供致动信号，所述致动信号足以引起所述致动器以一定频率振动。


10.一种用于极紫外光源的系统，所述系统包括：
管，包括从第一端处的第一开口延伸到第二端处的第二开口的侧壁，所述侧壁包括外壁和内壁，所述内壁限定从所述第一端延伸到所述第二端的通道；
致动器，围绕所述管的所述外壁的一部分；以及
粘合剂，填充所述外壁的所述一部分与所述致动器之间的区域，使得所述粘合剂与所述外壁的所述一部分以及所述致动器接触，其中在操作使用期间：在所述致动器使所述管振动以形成目标材料微滴流的同时，熔融金属目标材料流入所述管的所述第二开口中并且流出所述管的所述第一开口，并且所述粘合剂保持与所述外壁的所述一部分以及所述致动器接触。


11.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：G·O·瓦斯琴科，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL