废气分拣分离处理装置及其控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术的特征是，根据腐蚀性及非腐蚀性与否分拣分离废气,能够单独地进行热分解处理，而且通过去除发热模块和腔室上固着的粉体来提高操作效率和设备的耐久性，即使运行过程中也能够将捕集到的粉体排出到外部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】废气分拣分离处理装置及其控制方法
本专利技术涉及一种废气分拣分离处理装置，更具体地，涉及接收并联动主设备信号，分拣分离腐蚀性及非腐蚀性废气且能够单独地进行热分解处理，而且通过去除发热模块和腔室上固着的粉体来提高操作效率和设备的耐久性，即使运行过程中也能够将捕集到的粉体排出到外部的废气分拣分离处理装置。
技术介绍
通常，LCD及半导体制造工艺或者化学工艺中排出的腐蚀性及非腐蚀性废气，例如全氟化物(PFC：Perfluorocompound)气体应该先进行无害化处理后再排出到大气中。为了进行无害化处理，需要执行对废气热分解的干式及湿式清洗，与前述无害化处理相关的先行技术已在韩国授权专利第10-0937697号(废气处理装置)中公开。作为现有技术的废气处理装置由用于处理废气的腔室(10)、废气流入的废气流入部(12)、对通过腔室(10)内部的废气进行热分解的热处理部(20)、对通过腔室(10)的同时被热分解的废气进行冷却的冷却部组成，将废气直接暴露于腔室(10)内部,并通过热处理部(20)的高温发热对废气进行热分解，从而完成无害化处理。然而，作为现有技术的废气处理装置中，废气热分解的过程中产生的粉体固着到腔室内部，从而存在操作效率下降的同时耐久性明显降低的技术问题。而且，由于不存在用于另行捕集粉体的结构，因此很难管理包括粉体在内的废弃物。
技术实现思路
【技术问题】为了解决如上所述的技术问题，本专利技术的目的在于提供根据腐蚀性及非腐蚀性与否分拣分离废气并能够单独地进行热分解处理的废气分拣分离处理装置。另外，本专利技术的目的在于提供通过刮板单元部去除发热模块的外侧面及腔室的内侧面上固着的粉体以提高操作效率并能够确保设备的耐久性的废气分拣分离处理装置。另外，本专利技术的目的在于提供废气分拣分离处理装置，其由于具有第一、第二废弃物存放箱，即使设备运行过程中也能够将捕集到的粉体排出到外部，从而可通过连续运行来改善运行率。另外，本专利技术的目的在于提供废气分拣分离处理装置，其通过向第二流动管内注入已加热的工艺气体来防止粉体固着或生成，从而能够使废气处理顺利地进行，而且由于不需要使用附加电能，因此能够改善处理效率，并延长设备寿命。【技术方案】为了解决如上所述的技术问题，根据本专利技术的废气分拣分离处理装置由废气分离部、加热箱部、刮板单元部及湿式清洗处理部组成，所述废气分离部上形成有使先行工艺的废气流入的流入口、根据流入所述流入口的所述废气的腐蚀性及非腐蚀性与否来转换移动方向的方向转换阀、基于所述方向转换阀使所述废气移动的第一移动管及第二流动管,所述加热箱部由用于热分解经过所述第一移动管及第二流动管的废气的多个发热模块和用于容纳所述第一移动管及第二流动管的腔室组成,所述刮板单元部设置于所述加热箱部并用于去除所述腔室的内侧面上固着的粉体,所述湿式清洗处理部与所述加热箱部连通且内侧形成有多个喷嘴，所述多个喷嘴用于喷射对通过所述加热箱部的所述废气进行湿式清洗处理的清洗液。另外，所述刮板单元部上分别形成有环状的底座轨、电机部、环状第二齿轮部及第一粉体清除杆,所述电机部形成于所述底座轨的一侧，所述第一齿轮部与所述电机部的轴连接,所述环状第二齿轮部可旋转地安装在所述底座轨的内侧并与所述第一齿轮部咬合，所述第一粉体清除杆位于所述第二齿轮部的内侧面且与所述腔室的内侧面接触。另外，所述第二齿轮部的内侧面形成有第二粉体清除杆,所述第二粉体清除杆与所述发热模块的外侧面的一部分接触用以清除所述发热模块的外侧面上固着的粉体。另外，所述湿式清洗处理部的下侧形成有第一废弃物存放箱，所述第一废弃物存放箱与所述湿式清洗处理部连接用以捕集粉体和清洗液。另外，所述第一废弃物存放箱的下侧形成有第二废弃物存放箱，所述第二废弃物存放箱与所述第一废弃物存放箱连接，从而捕集从所述第一废弃物存放箱移送的粉体，并将清洗液重新移送到第一废弃物存放箱。另外，所述第二流动管与各发热模块之间形成有热移动管，所述热移动管使由先行工艺注入的工艺气体经所述发热模块加热并移动到所述第二流动管的内部。【有益效果】根据如上所述的本专利技术，具有根据腐蚀性及非腐蚀性与否分拣分离废气并能够单独地进行热分解处理的优点。另外，本专利技术具有通过刮板单元部去除发热模块的外侧面及腔室的内侧面上固着的粉体以提高操作效率并能够确保设备的耐久性的优点。另外，由于具有第一、第二废弃物存放箱，即使设备运行过程中也能够将捕集到的粉体排出到外部，从而具有可通过连续运行来改善运行率的优点。另外，通过向第二流动管内注入已加热的工艺气体来防止粉体固着或生成，从而能够使废气处理顺利地进行，而且由于不需要使用附加电能，因此具有能够改善处理效率并延长设备寿命的优点。附图说明图1是根据本专利技术的优选实施例的废气分拣分离处理装置的整体主视图。图2是根据本专利技术的优选实施例的废气分拣分离处理装置的俯视图。图3是根据本专利技术的优选实施例的废气分拣分离处理装置的刮板单元部的俯视图。图4和图5是根据本专利技术的优选实施例的废气分拣分离处理装置的刮板单元部的主视图。图6是根据本专利技术的优选实施例的废气分拣分离处理装置的第一、第二废弃物存放箱的侧视图。图7是根据本专利技术的优选实施例的废气分拣分离处理装置的第二流动管140上连接有热移动管230的主视图。图8是根据本专利技术的另一优选实施例的废气分拣分离处理装置的先行工艺控制流程的主视图。具体实施方式下面，参照附图详细说明根据本专利技术一实施例的废气分拣分离处理装置1。首先，需要注意的是，附图中相同的组件或者构件尽可能用相同的附图标记表示。为了不使本专利技术的主旨模糊，在说明本专利技术时省略了与相关已知功能或组件有关的具体说明。参照图1，根据本专利技术一实施例的废气分拣分离处理装置1大体由废气分离部100、加热箱部200、刮板单元部300、湿式清洗处理部400、第一废弃物存放箱500及第二废弃物存放箱600组成。首先，对废气分离部100进行说明。如图1或图2所示，所述废气分离部100作为将LCD制造、半导体制造或者化学制造等先行工艺10中使用并排出的各种废气按其种类分离并分别通过不同的管道移送的组件，其上形成有供所述先行工艺10中排出的废气流入的流入口110。另外，形成有方向转换阀120，所述方向转换阀120根据流入到流入口110的废气的腐蚀性及非腐蚀性与否来转换流动方向，并且废气基于所述方向转换阀120流动的第一移动管130及第二流动管140将位于后述的加热箱部200的内侧。另外，还可以形成有驱动模块(未图示)，所述驱动模块从所述先行工艺10接收方向转换信号，而且与来自先行工艺的废气的腐蚀性及非腐蚀性与否联动并驱动方向转换阀112。另外，就所述废气分离部100的操作而言，首先，从所述先行工艺10排出的废气流入所述流入口110之后，在废气注入所述加热箱部200的腔室220内部之前，接收来自所述先行工本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：/n所述废气分拣分离处理装置(1)由废气分离部(100)、加热箱部(200)、刮板单元部(300)及湿式清洗处理部(400)组成，/n所述废气分离部(100)上形成有使先行工艺(10)的废气流入的流入口(110)、根据流入所述流入口(110)的所述废气的腐蚀性及非腐蚀性与否来转换移动方向的方向转换阀(120)、基于所述方向转换阀(120)使所述废气移动的第一移动管(130)及第二流动管(140),/n所述加热箱部(200)由用于热分解经过所述第一移动管(130)和第二流动管(140)的废气的多个发热模块(210)及用于容纳所述第一移动管(130)和第二流动管(140)的腔室(220)组成,/n所述刮板单元部(300)设置于所述加热箱部(200)并用于去除所述腔室(220)的内侧面上固着的粉体,/n所述湿式清洗处理部(400)与所述加热箱部(200)连通且内侧形成有多个喷嘴(410)，所述多个喷嘴(410)用于喷射清洗液以对经过所述加热箱部(200)的所述废气进行湿式清洗处理。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190904 KR 10-2019-0109342;20200205 KR 10-2020-001.一种废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：
所述废气分拣分离处理装置(1)由废气分离部(100)、加热箱部(200)、刮板单元部(300)及湿式清洗处理部(400)组成，
所述废气分离部(100)上形成有使先行工艺(10)的废气流入的流入口(110)、根据流入所述流入口(110)的所述废气的腐蚀性及非腐蚀性与否来转换移动方向的方向转换阀(120)、基于所述方向转换阀(120)使所述废气移动的第一移动管(130)及第二流动管(140),
所述加热箱部(200)由用于热分解经过所述第一移动管(130)和第二流动管(140)的废气的多个发热模块(210)及用于容纳所述第一移动管(130)和第二流动管(140)的腔室(220)组成,
所述刮板单元部(300)设置于所述加热箱部(200)并用于去除所述腔室(220)的内侧面上固着的粉体,
所述湿式清洗处理部(400)与所述加热箱部(200)连通且内侧形成有多个喷嘴(410)，所述多个喷嘴(410)用于喷射清洗液以对经过所述加热箱部(200)的所述废气进行湿式清洗处理。


2.如权利要求1所述的废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：
所述刮板单元部(300)上分别形成有环状的底座轨(310)、电机部(320)、第一齿轮部(330)、环状第二齿轮部(340)及第一粉体清除杆(350),
所述电机部(320)形成于所述底座轨(310)的一侧，
所述第一齿轮部(330)与所述电机部(320)的轴连接,
所述环状第二齿轮部(340)可旋转地安装在所述底座轨(310)的内侧并与所述第一齿轮部(330)咬合，
所述第一粉体清除杆(350)位于所述第二齿轮部(340)的内侧面且与所述腔室(220)的内侧面接触。


3.如权利要求2所述的废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：
所述第二齿轮部(340)的内侧面形成有第二粉体清除杆(360),所述第二粉体清除杆(360)与所述发热模块(210)的外侧面的一部分接触用以清除所述发热模块(210)的外侧面上固着的粉体。


4.如权利要求1所述的废气分拣分离处理装置(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：申奉锦，赵诚旭，
申请(专利权)人：茶山有限公司，申奉锦，
类型：发明
国别省市：韩国;KR