【技术实现步骤摘要】
批量形成机构和基板处理装置
公开的实施方式涉及一种批量形成机构和基板处理装置。
技术介绍
以往，公知有从在工厂内被作为1个制造单位(以下，也称呼为批次。)管理的多张基板形成要在基板处理装置内成批地处理的1个处理单位(以下，也称呼为批量。)的批量形成机构(参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平8-195373号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本公开提供一种能够形成与工艺条件、硬件条件相应的批量的技术。用于解决问题的方案本公开的一技术方案的批量形成机构具备接收部、间距转换部以及保持部。接收部以能够在垂直方向上移动的方式配置，从输送机构接收以预定的间距排列的多张基板。间距转换部用于转换以等间隔排列配置的多张基板的间距。保持部以能够在水平方向上移动的方式配置，用于暂时保持多张基板。对于上述批量形成机构，也可以是，所述间距转换部具有：多个第1槽，其构成为能够保持所述基板；和多个第2槽，其构成为能够供所述基板上下贯穿。对于上...
【技术保护点】
1.一种批量形成机构，其特征在于，/n该批量形成机构具备：/n接收部，其以能够在垂直方向上移动的方式配置，从输送机构接收以预定的间距排列的多张基板；/n间距转换部，其用于转换以等间隔排列配置的多张基板的间距；以及/n保持部，其以能够在水平方向上移动的方式配置，用于暂时保持多张基板。/n
【技术特征摘要】
20191028 JP 2019-195225;20200925 JP 2020-1607941.一种批量形成机构，其特征在于，
该批量形成机构具备：
接收部，其以能够在垂直方向上移动的方式配置，从输送机构接收以预定的间距排列的多张基板；
间距转换部，其用于转换以等间隔排列配置的多张基板的间距；以及
保持部，其以能够在水平方向上移动的方式配置，用于暂时保持多张基板。
2.根据权利要求1所述的批量形成机构，其特征在于，
所述间距转换部具有：多个第1槽，其构成为能够保持所述基板；和多个第2槽，其构成为能够供所述基板上下贯穿。
3.根据权利要求2所述的批量形成机构，其特征在于，
所述第1槽和所述第2槽以所述预定的间距的一半的间距交替地排列形成。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的批量形成机构，其特征在于，
所述保持部具有：多个第3槽，其构成为能够保持所述基板；和多个第4槽，其构成为能够供所述基板上下贯穿。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的批量形成机构，其特征在于，
该批量形成机构还具备控制各部的控制部，
就所述控制部而言，使用4个能够由所述输送机构一次性输送的制造单位来形成1个处理单位，该处理单位由以所述预定的间距的一半的间距排列的多张基板构成。
6.根据权利要求5所述的批量形成机构，其特征在于，
就所述控制部而言，
使用两个所述制造单位而在所述接收部上形成1个基板组，该基板组由以所述预定的间距排列的多张基板构成，
再使用两个所述制造单位而在所述间距转换部上形成1个另一基板...
【专利技术属性】
技术研发人员：隐塚惠二，甲斐义广，岩野纯一，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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