一种腔内镀金膜的光纤法-珀温度增敏传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种腔内镀金膜的光纤法‑珀温度增敏传感器，该传感器利用镀金属膜和熔接技术，在光纤上构建三个金属反射面，两个F‑P腔的结构，该结构可引入游标效应，同时镀膜提高了端面的反射率，最终使得所制备的传感器灵敏度显著提高，测量精准度显著增强，该传感器的制备方法简单易操作，成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种腔内镀金膜的光纤法-珀温度增敏传感器
本专利技术涉及光纤
，具体涉及一种腔内镀金膜的光纤法-珀温度增敏传感器。
技术介绍
光纤传感器具有体积小、重量轻、结构简单、抗电磁干扰、耐腐蚀等多项优点，近年来各种光纤温度传感器被开发与应用。光纤法-珀传感器作为一种干涉型的传感器，具有结构紧凑、稳定性好、耐受恶劣工作环境的优点，在航空航天、石油化工、能源等领域快速发展。制作光纤法-珀腔的方法包括飞秒激光加工光纤反射面、不同光纤熔接、光纤光栅串联、纤内镀膜、微加工等。当两个法-珀腔级联在一起时，会产生游标效应，传感器的灵敏度会有较大的提高。2019年刘燕燕等人设计了一种分离型光纤传感增敏结构，并联连接两个腔长相近的法布里-珀罗(F-P)腔，实验结果表明，增敏结构的压强灵敏度值由单F-P结构的4.85nm/MPa提高到43.95nm/MPa，温度灵敏度由单F-P腔的0.0675nm/℃提高至0.40364nm/℃；2017年HaeYoungChoi等人采用传统的电弧放电技术，利用空心光子晶体光纤和传统单模光纤制作了光纤法-珀干涉仪，干涉结构由本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种腔内镀金膜的光纤法-珀温度增敏传感器的制备方法，其特征在于，该制备方法具体如下：/n(1)取三段单模光纤，光纤一、光纤二和光纤三，光纤一的两个端面分别是A面和B面，光纤二的两个端面分别为C面和D面，光纤三的两个端面分别为E和F面；/n(2)分别对所述光纤一、光纤二和光纤三的两个端面进行切平处理，切割角度不大于3°；/n(3)分别对所述B面、E面和F面进行镀镍，镀镍完成后，分别对所述B面、E面和F面进行镀金膜，将端面反射率控制在45％-55％；/n(4)进行镀金膜处理后，将所述光纤一的B面与光纤二的C面进行熔接，将所述光纤二的D面与光纤三的E面进行熔接；/n所述镍的镀层厚度为5nm，所述...

【技术特征摘要】
1.一种腔内镀金膜的光纤法-珀温度增敏传感器的制备方法，其特征在于，该制备方法具体如下：
(1)取三段单模光纤，光纤一、光纤二和光纤三，光纤一的两个端面分别是A面和B面，光纤二的两个端面分别为C面和D面，光纤三的两个端面分别为E和F面；
(2)分别对所述光纤一、光纤二和光纤三的两个端面进行切平处理，切割角度不大于3°；
(3)分别对所述B面、E面和F面进行镀镍，镀镍完成后，分别对所述B面、E面和F面进行镀金膜，将端面反射率控制在45％-55％；
(4)进行镀金膜处理后，将所述光纤一的B面与光纤二的C面进行熔接，将所述光纤二的D面与光纤三的E面进行熔接；
所述镍的镀层厚度为5nm，所述金膜的厚度为15nm。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述镀镍和所述镀金膜通过溅射镀膜仪进行。


3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述镀镍的镀膜时间为5s。


4.一种根据权利要求1-3所述方法制备...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝连庆，任越，张钰民，何巍，李红，张雯，董明利，
申请(专利权)人：北京信息科技大学，
类型：发明
国别省市：北京;11