【技术实现步骤摘要】
惯性测量装置、电子设备以及移动体
本专利技术涉及惯性测量装置、电子设备以及移动体等。
技术介绍
在专利文献1中公开了一种收容惯性传感器的模制结构。在专利文献1的模制结构中，使基板上的布线图案通用化，以便不依赖于惯性传感器的安装方式、安装基板的设置方向而能够使用相同结构的惯性传感器。此外，在专利文献1中公开了将振动型角速度传感器即陀螺仪传感器作为惯性传感器收容于模制结构。专利文献1：日本特开2011-85441号公报在基板安装有作为惯性传感器的陀螺仪传感器的情况下，若由于陀螺仪传感器的振动泄漏而使基板共振，则产生陀螺仪传感器的传感器特性恶化的问题。在这种情况下，例如，若在基板安装有陀螺仪传感器的状态下，采用通过树脂浇注的粘接构件来覆盖陀螺仪传感器并固化的方法，则能够防止这种问题的产生。但是，存在不能使用这种树脂浇注的状况。此外，在基板安装检测轴不同的多个陀螺仪传感器的情况下，还需要考虑这些多个陀螺仪传感器的驱动频率、安装方式。
技术实现思路
本公开的一方式涉及一种惯性测量装置，其包括：第一陀...
【技术保护点】
1.一种惯性测量装置，其特征在于，包括：/n第一陀螺仪传感器，在第一轴方向上设定检测轴，被第一驱动频率驱动而检测绕所述第一轴的角速度；/n第二陀螺仪传感器，在第二轴方向上设定检测轴，被与所述第一驱动频率不同的第二驱动频率驱动而检测绕所述第二轴的角速度；/n第三陀螺仪传感器，在第三轴方向上设定检测轴，被与所述第一驱动频率及所述第二驱动频率不同的第三驱动频率驱动而检测绕所述第三轴的角速度；以及/n基板，设置有所述第一陀螺仪传感器、所述第二陀螺仪传感器以及所述第三陀螺仪传感器，/n在将所述第一驱动频率设为fd1、将所述第二驱动频率设为fd2、将所述第三驱动频率设为fd3时，所述基...
【技术特征摘要】
20191028 JP 2019-1949131.一种惯性测量装置，其特征在于，包括：
第一陀螺仪传感器，在第一轴方向上设定检测轴，被第一驱动频率驱动而检测绕所述第一轴的角速度；
第二陀螺仪传感器，在第二轴方向上设定检测轴，被与所述第一驱动频率不同的第二驱动频率驱动而检测绕所述第二轴的角速度；
第三陀螺仪传感器，在第三轴方向上设定检测轴，被与所述第一驱动频率及所述第二驱动频率不同的第三驱动频率驱动而检测绕所述第三轴的角速度；以及
基板，设置有所述第一陀螺仪传感器、所述第二陀螺仪传感器以及所述第三陀螺仪传感器，
在将所述第一驱动频率设为fd1、将所述第二驱动频率设为fd2、将所述第三驱动频率设为fd3时，所述基板的固有振动频率被设定为与fd1、fd2以及fd3不一致的频率。
2.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，
在将基于所述第一轴方向、所述第二轴方向、所述第三轴方向上的激振的振动模式分别设为第一轴振动模式、第二轴振动模式、第三轴振动模式时，
所述第一轴振动模式、所述第二轴振动模式以及所述第三轴振动模式中的所述基板的所述固有振动频率被设定为与fd1、fd2以及fd3不一致的频率。
3.根据权利要求2所述的惯性测量装置，其特征在于，
在将作为所述第一轴振动模式、所述第二轴振动模式、所述第三轴振动模式中的任意一个的第一振动模式中的所述基板的所述固有振动频率设为fA、将作为所述第一轴振动模式、所述第二轴振动模式、所述第三轴振动模式中的任意一个的第二振动模式中的所述基板的所述固有振动频率设为fB、将fd1、fd2、fd3的最小频率设为fmin、将fd1、fd2、fd3的最大频率设为fmax时，
fA<fmin<fmax<fB。
4.根据权利要求2所述的惯性测量装置，其特征在于，
在将所述第一轴振动模式中的相邻的两个所述固有振动频率设为f1A、f1B、将所述第二轴振动模式中的相邻的两个所述固有振动频率设为f2A、f2B、将fd1、fd2、fd3的最小频率设为fmin、将fd1、fd2、fd3的最大频率设为fmax时，
f1A<fmin<fmax<f1B、且f2A<fmin<fmax<f2B。
5.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其特征在于，
所述第三轴振动模式中的所述固有振动频率在满足f1A<fmin<fmax<f1B且f2A<fmin<fmax<f2B的频率范围内被设定为避开fd1、fd2以及fd3的频率。
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