【技术实现步骤摘要】
一种自动刷磨破坏装置
本技术与硅晶片刷磨破坏制程工艺有关，设计一种自动刷磨破坏装置及其使用方法。
技术介绍
硅晶片的生产制造过程中，根据客户的要求需要对产品进行刷磨破坏工艺制程，传统的工艺是采用人工对产品进行刷磨破坏，然而人力劳动强度高，效率低下，而且容易出现清洗不彻底和对产品的污染，使得刷磨破坏效果不稳定。
技术实现思路
本技术提供了一种自动刷磨破坏装置及其使用方法，其克服了现有技术所存在的不足之处。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种自动刷磨破坏的装置，包括自动上下料机构和刷磨工作室，刷磨工作室有一承接回收槽、一传送皮带、两传送轮、一真空吸盘、两碳化硅刷轮、一光感测头及三个水洗装置，承接回收槽上放置传送轮及传送皮带来传送加工产品，自动刷磨工作室一侧固定设置光感测头，加工产品的上方设置碳化硅刷轮及水洗装置来进行刷磨破坏制程，传送皮带下方设置真空吸盘用以吸附加工产品。可选的，包括一承接回收槽，该承接回收槽位于自动刷磨破坏装置的底部。可选的，包括一光感测头，光感测头设置在自动上片...
【技术保护点】
1.一种自动刷磨破坏装置，包括自动上下料机构和刷磨工作室，其特征在于：所述刷磨工作室有一承接回收槽、一传送皮带、两传送轮、一真空吸盘、两碳化硅刷轮、一光感测头及三个水洗装置，承接回收槽上放置传送轮及传送皮带来传送加工产品，自动刷磨工作室一侧固定设置光感测头，加工产品的上方设置碳化硅刷轮及水洗装置来进行刷磨破坏制程，传送皮带下方设置真空吸盘用以吸附加工产品。/n
【技术特征摘要】
1.一种自动刷磨破坏装置，包括自动上下料机构和刷磨工作室，其特征在于：所述刷磨工作室有一承接回收槽、一传送皮带、两传送轮、一真空吸盘、两碳化硅刷轮、一光感测头及三个水洗装置，承接回收槽上放置传送轮及传送皮带来传送加工产品，自动刷磨工作室一侧固定设置光感测头，加工产品的上方设置碳化硅刷轮及水洗装置来进行刷磨破坏制程，传送皮带下方设置真空吸盘用以吸附加工产品。
2.根据权利要求1所述的一种自动刷磨破坏装置，其特征在于：所述装置有一承接回收槽，承接回收槽中安置回收循环系统，对使用过的清洗液进行回收过滤。
3.根据权利要求1所述的一种自动刷磨破坏装置，其特征在于：所述承接回收槽的上方放置传送轮及传...
【专利技术属性】
技术研发人员：李汉生，蔡雪良，何庆波，王帅，
申请(专利权)人：昆山中辰矽晶有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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