温度控制设备运行数据采集装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供一种温度控制设备运行数据采集装置，包括：人机交互模块以及第一数据采集模块，人机交互模块与第一数据采集模块连接；其中，第一数据采集模块包括互感器以及测量仪表，互感器安装在温度控制设备的预设部件上，测量仪表与互感器连接，用于测量所述温度控制设备的运行数据，并将测量得到的数据传输给人机交互模块；人机交互模块显示并存储所接收到的数据。本实用新型专利技术实施例提供的温度控制设备运行数据采集装置，通过第一数据采集模块采集温度控制设备运行数据，将数据传输给人机交互模块，人机交互模块显示并存储数据，实现了温度控制设备的数据采集，满足了测量数据可视化及自动存储的需求，提高了工作效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
温度控制设备运行数据采集装置


[0001]本技术涉及温度控制领域，尤其涉及一种温度控制设备运行数据采集装置。

技术介绍

[0002]在当今的生产生活中，温度采集和应用无处不在，例如，工业领域的温度控制、工作环境中的温度控制、家居环境中的温度控制等。温度是影响工农业生产的一项重要因素，温度控制的精确与否直接影响到生产的安全、产品的质量或者产量，因此采集温度控制设备运行数据至关重要。
[0003]在工业生产温控系统中，采用的测温元件和测量方法不同，产品的工艺不同，控制温度的精度不同，因此对数据采集的精度和方法也不同，以半导体生产为例。半导体生产用温度控制设备作为生产半导体的辅助设备，主要应用于ETCH(刻蚀)、PVD(物理气相沉积)、CVD(化学气相沉积)等半导体加工工艺过程，为负载设备(例如，半导体加工反应腔、液晶面板加工反应腔)提供高精度、稳定的循环液入口温度，温度控制设备在工作时，需要加热系统平衡控制温度。在晶圆的制备工艺中要求保持恒定的温度输出，同时对于温度、流量、压力、电流、电压、功率、电能也有一定要求。/>[0004]现有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种温度控制设备运行数据采集装置，其特征在于，包括：人机交互模块(101)以及第一数据采集模块(102)，所述人机交互模块(101)与第一数据采集模块(102)连接；其中，所述第一数据采集模块(102)包括互感器以及测量仪表，所述互感器安装在所述温度控制设备的预设部件上，所述测量仪表与所述互感器连接，用于测量所述温度控制设备的运行数据，并将测量得到的数据传输给人机交互模块(101)；所述人机交互模块(101)显示并存储所接收到的数据。2.根据权利要求1所述的温度控制设备运行数据采集装置，其特征在于，所述第一数据采集模块(102)包括多个互感器以及多个测量仪表，一个互感器与一个测量仪表连接；其中，所述测量仪表测量以下数据中的一个或多个：温度控制设备的电压、温度控制设备的总电流、温度控制设备的总功率、温度控制设备的总电能、温度控制设备的频率、温度控制设备的功率因数、温度控制设备中的循环泵变频器输入端的电流、温度控制设备中的循环泵变频器输入端的电压、温度控制设备中的循环泵变频器输入端的频率、温度控制设备中的循环泵变频器输入端的电能、温度控制设备中的压缩机输入端的电流、温度控制设备中的压缩机输入端的电压、温度控制设备中的压缩机输入端的功率以及温度控制设备中的压缩机输入端的电能。3.根据权利要求1所述的温度控制设备运行数据采集装置，其特征在于，还包括第二数据采集模块(103)，所述第二数据采集模块(103)与人机交互模块(101)连接；其中，所述第二数据采集模块(103)与所述温度控制设备中的变频器输出端接口连接。4.根据权利要求3所述的温度控制设备运行数据采集装置，其特征在于，所述第二数据采集模块(103)采集以下数据中的一个或多个：温度控制设备中的循环泵变频器输出端的电流、温度控制设备中的循环泵变频器输出端的电压、温度控制设备中的循环泵变频器输出端的频率、温度控制设备中的压缩机输出端的电流、温度控制设备中的压缩机输出端的电压以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋朝阳，冯涛，常鑫，董春辉，何茂栋，芮守祯，曹小康，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：