本发明专利技术涉及一种防脱落装置及晶圆清洗设备，包括传送电机和从动轮，所述传送电机的下方连接有驱动轮，所述从动轮安装于第一皮带的上方，所述传送带的上方设置有限位槽，所述下卡板的一侧设置有上卡板，且上卡板的右侧设置有水箱，所述水箱的下方设置有清洗仓，本发明专利技术的有益效果是：该防脱落装置及晶圆清洗设备设置有下卡板、上卡板、弹簧和限位槽，使得具备了防脱落结构，并且设置有挡板、转轴、活动杆和液压缸，提高了其安全性，同时还设置有风扇，第二阶梯轮、第一阶梯轮和第二皮带，使其具备了风淋功能，还设置有均风网、卡块与凹槽，使得具备了均匀散风，而且还设置有驱动轮、第一皮带、从动轮和传送带，使得可以传动上料。使得可以传动上料。使得可以传动上料。
【技术实现步骤摘要】
一种防脱落装置及晶圆清洗设备
[0001]本专利技术涉及晶圆清洗设备
，具体为一种防脱落装置及晶圆清洗设备。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，在现代的手机和电脑产业中，晶圆与芯片的起到了很重要的作用，但是在晶圆的生产制作中，需要用到清洗设备来对晶圆进行清洗。
[0003]在中国专利技术专利CN201320216748.6，一种晶圆清洗装置，缩短了晶圆清洗工艺周期，降低了生产成本，且集成于一套装置后占用空间缩小的问题，但这样的机器不能很好的对晶圆进行夹持固定，容易导致晶圆脱落，并且装置不具备防护功能，在风淋时容易导致内部的清洗液喷溅，同时装置不具备烘干功能，导致非常的不实用，还不能很好的风扇吹出的强风进行均匀发散的单一和不能很好的传动上料。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种防脱落装置及晶圆清洗设备，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的防脱落装置及晶圆清洗设备，存在不能很好的对晶圆进行夹持固定，容易导致晶圆脱落，并且装置不具备防护功能，在风淋时容易导致内部的清洗液喷溅，同时装置不具备烘干功能，导致非常的不实用，还不能很好的风扇吹出的强风进行均匀发散的单一和不能很好的传动上料问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种防脱落装置及晶圆清洗设备，包括传送电机和从动轮，所述传送电机的下方连接有驱动轮，且驱动轮的上方连接有第一皮带，所述从动轮安装于第一皮带的上方，且从动轮的上方连接有传送带，所述传送带的上方设置有限位槽，且限位槽的上方安装有下卡板，所述下卡板的一侧设置有上卡板，且上卡板的右侧设置有水箱，所述水箱的下方设置有清洗仓，且清洗仓的下方安装有管道，所述管道的下方连接有废液箱，且废液箱的右侧设置有风淋仓，所述风淋仓的上方设置有变速箱，且变速箱的上方安装有驱动电机，所述驱动电机的右侧设置有销轴，且销轴的下方连接有液压缸，所述液压缸的下方连接有活动杆，且活动杆的下方设置有挡板，所述挡板的左侧连接有转轴，所述风淋仓的内部设置有风扇，且风扇的下方设置有均风网，所述均风网的左右两侧均设置有卡块，且卡块的外部设置有凹槽，所述变速箱的内部设置有第一阶梯轮，且第一阶梯轮的下方设置有第二皮带，所述第二皮带的左侧连接有第二阶梯轮，所述水箱的内部设置有水泵，且水泵的下方连接有水管，所述水管的下方连接有喷头，所述限位槽的内部设置有弹簧。
[0006]可选的，所述传送带通过从动轮与第一皮带之间的配合与驱动轮、传送电机构成传动结构，且驱动轮、第一皮带与从动轮之间为活动连接。
[0007]可选的，所述下卡板、上卡板与限位槽之间为卡槽连接，且下卡板、上卡板与限位
槽之间均关于传送带的表面等距分布，并且上卡板与下卡板之间的截面均为“U”型构造。
[0008]可选的，所述活动杆通过液压缸与销轴之间的配合与变速箱构成伸缩结构，且液压缸的内部表面与活动杆的外部表面相互贴合。
[0009]可选的，所述挡板通过转轴与风淋仓之间的配合与活动杆、液压缸构成翻转结构，且挡板与风淋仓之间为铰链连接。
[0010]可选的，所述均风网通过卡块与凹槽之间的配合与风淋仓构成可拆卸结构，且均风网与风淋仓之间为卡槽连接。
[0011]可选的，所述风扇通过第二阶梯轮与第二皮带之间的配合与第一阶梯轮、驱动电机构成旋转结构，且第二阶梯轮、第二皮带与第一阶梯轮之间为活动连接。
[0012]可选的，所述喷头通过水管与水泵之间的配合与水箱构成单向流通结构，且喷头之间均关于水管的表面等距分布。
[0013]可选的，所述下卡板与上卡板通过弹簧与限位槽之间的配合与传送带构成弹性平移结构，且弹簧之间关于限位槽的水平方向对称分布。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：
[0015]1、本专利技术设置有下卡板、上卡板、弹簧和限位槽，这样的设计大大提高了本装置的稳定性，使用者在进行使用时，可以拉动上卡板和下卡板，这样的从而带着弹簧在限位槽的内部进行弹性移动，最后可以使得上卡板与下卡板可以进行弹性平移开合，这样可以很好的对晶圆进行夹持固定，有效的避免了晶圆在清洗时造成的晃动脱落的情况。
[0016]2、本专利技术设置有挡板、转轴、活动杆和液压缸，这样的设计大大提高了本装置的安全性，使用者在进行使用时可开启液压缸，液压缸带着活动杆进行伸缩运动，从而可以使得下方但是挡板可以在转轴内进行翻转运动，这样的设计起到的了很好的阻挡作用，有效的防止了内部的清洗液和风向外部喷溅。
[0017]3、本专利技术设置有风扇，第二阶梯轮、第一阶梯轮和第二皮带，风扇使得本装置具备了枫林吹干的功能，避免了晶圆清洗之后导致的表面出现大量的水，第一阶梯轮和第二阶梯轮的设计使得本装置具备了速度调节的功能，使用者在使用时，可以通过拉动第二皮带，从而使得第二皮带在第一阶梯轮和第二阶梯轮上进行不同档位的调节，这样可以利用第一阶梯轮和第二阶梯轮上不同直径的传动轮进行旋转，利用不同直径的传动比从而完成电机可以很好的控制着风扇的速度。
[0018]4、本专利技术设置有均风网、卡块与凹槽，这样的设计大大提高了本装置的实用性，本装置在对晶圆进行风淋吹干时，通过上方的均风网可以很好的对风扇吹出的风进行均匀发散，避免了风扇吹出的风造成的不均匀的情况，并且把均风网两侧的卡块卡在凹槽内进行安装，这样的设计相比与传统的螺纹连接，具有方便拆装，更换方便的优点。
[0019]5、本专利技术设置有驱动轮、第一皮带、从动轮和传送带，这样的设计大大提高了本装置的功能化，使用者在进行使用时可启动驱动轮，驱动轮带着第一皮带从而使得上当的从动轮进行旋转，最后可以带着上方的传送带进行传动运动，并且驱动轮与从动轮之间的直径长度不一样，从而可以对高度旋转的电机进行减速，并且传送带的设计使得本装置具备了自动传动清洗的功能，避免劳动力的使用。
附图说明
[0020]图1为本专利技术一种防脱落装置及晶圆清洗设备的主视结构示意图；
[0021]图2为本专利技术一种防脱落装置及晶圆清洗设备的风淋仓内部结构示意图；
[0022]图3为本专利技术一种防脱落装置及晶圆清洗设备的风扇与驱动电机连接结构示意图；
[0023]图4为本专利技术一种防脱落装置及晶圆清洗设备的清洗仓内部结构示意图；
[0024]图5为本专利技术一种防脱落装置及晶圆清洗设备的上卡板与下卡板连接结构示意图。
[0025]图中：1、传送电机；2、驱动轮；3、第一皮带；4、从动轮；5、传送带；6、限位槽；7、下卡板；8、上卡板；9、水箱；10、清洗仓；11、管道；12、废液箱；13、风淋仓；14、变速箱；15、驱动电机；16、销轴；17、液压缸；18、活动杆；19、挡板；20、转轴；21、风扇；22、均风网；23、卡块；24、凹槽；25、第一阶梯轮；26、第二皮带；27、第二阶梯轮；28、水泵；29、水管；30、喷头；31、弹簧。
具体实施方式<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种防脱落装置及晶圆清洗设备，包括传送电机(1)和从动轮(4)，其特征在于：所述传送电机(1)的下方连接有驱动轮(2)，且驱动轮(2)的上方连接有第一皮带(3)，所述从动轮(4)安装于第一皮带(3)的上方，且从动轮(4)的上方连接有传送带(5)，所述传送带(5)的上方设置有限位槽(6)，且限位槽(6)的上方安装有下卡板(7)，所述下卡板(7)的一侧设置有上卡板(8)，且上卡板(8)的右侧设置有水箱(9)，所述水箱(9)的下方设置有清洗仓(10)，且清洗仓(10)的下方安装有管道(11)，所述管道(11)的下方连接有废液箱(12)，且废液箱(12)的右侧设置有风淋仓(13)，所述风淋仓(13)的上方设置有变速箱(14)，且变速箱(14)的上方安装有驱动电机(15)，所述驱动电机(15)的右侧设置有销轴(16)，且销轴(16)的下方连接有液压缸(17)，所述液压缸(17)的下方连接有活动杆(18)，且活动杆(18)的下方设置有挡板(19)，所述挡板(19)的左侧连接有转轴(20)，所述风淋仓(13)的内部设置有风扇(21)，且风扇(21)的下方设置有均风网(22)，所述均风网(22)的左右两侧均设置有卡块(23)，且卡块(23)的外部设置有凹槽(24)，所述变速箱(14)的内部设置有第一阶梯轮(25)，且第一阶梯轮(25)的下方设置有第二皮带(26)，所述第二皮带(26)的左侧连接有第二阶梯轮(27)，所述水箱(9)的内部设置有水泵(28)，且水泵(28)的下方连接有水管(29)，所述水管(29)的下方连接有喷头(30)，所述限位槽(6)的内部设置有弹簧(31)。2.根据权利要求1所述的一种防脱落装置及晶圆清洗设备，其特征在于：所述传送带(5)通过从动轮(4)与第一皮带(3)之间的配合与驱动轮(2)、传送电机(1)构成传动结构，且驱动轮(2)、第一皮带(3)与从动轮(4)之间为活...
【专利技术属性】
技术研发人员：张志华，
申请(专利权)人：嘉兴瑾澎箱包有限公司，
类型：发明
国别省市：
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