一种减少刷镍毛刺的特殊工艺方法技术

本发明专利技术是一种减少刷镍毛刺的特殊工艺方法，工艺方法步骤如下：第一步，前处理，抛光零件表面，保证零件表面抛光外观一致性，表面粗糙度2倍高于图纸要求；第二步，酸洗，增强镍层在金属表面的附着力和防腐能力；第三步，遮蔽，遮蔽不做刷镍制程的零件表面；第四步，电镀镍，目标膜厚：9um；第五步，刷镍后去遮蔽，并进行刷镍区域精抛光处理；第六步，采用2倍放大镜去检验刷镍区域周边毛刺状态，刷镍毛刺测量长度小于0.5mm满足刷镍外观和刷镍性能的要求。本发明专利技术主要用于提高零件表面抗腐蚀、导电率、耐磨性和稳定性。性和稳定性。性和稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种减少刷镍毛刺的特殊工艺方法


[0001]本专利技术属于刻蚀、PVD和ALD等半导体设备领域，具体说是一种减少刷镍毛刺的特殊工艺方法。

技术介绍

[0002]随着半导体领域的快速发展，关键零部件对激光焊接技术及腔体检漏要求越来越高，氦测方法及氦测工装治具对结果有很大影响。因此，针对关键产品设计专项治具，保证关键零部件激光焊接后内腔气密性实验可以满足需要。这些设备中许多关键零部件如内衬等都是直接接触晶圆，这些零部件刷镍区域的防腐性、导电率、耐磨性以及表面的稳定性都会直接影响晶圆的质量及使用寿命。因此开发一种减少刷镍毛刺的工艺方法十分关键。

技术实现思路

[0003]针对上述存在的问题，本专利技术提出一种减少刷镍毛刺的特殊工艺方法。主要用于提高零件表面抗腐蚀、导电率、耐磨性和稳定性。
[0004]本专利技术采用的技术方案是：
[0005]一种减少刷镍毛刺的特殊工艺方法，工艺方法步骤如下：
[0006]第一步，前处理，抛光零件表面，保证零件表面抛光外观一致性，表面粗糙度2倍高于图纸要求；<br/>[0007]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种减少刷镍毛刺的特殊工艺方法，其特征在于，工艺方法步骤如下：第一步，前处理，抛光零件表面，保证零件表面抛光外观一致性，表面粗糙度2倍高于图纸要求；第二步，酸洗，增强镍层在金属表面的附着力和防腐能力；第三步，遮蔽，遮蔽不做刷镍制程的零件表面；第四步，电镀镍，温度25～30℃，采取电压：5V，电流：电流密度：1A/dm2的刷镍...

【专利技术属性】
技术研发人员：张艳娟，邵颖，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：