一种柔性透明场发射冷阴极的制备方法技术

本发明专利技术属于场发射冷阴极领域，提供了一种柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其主要特征是在耐高温透明柔性基底上，基于超薄多孔氧化铝(AAO)模板以及真空物理沉积技术，实现在柔性及透光性良好的基底上的场发射冷阴极材料的制备。该制备方法主要包括4部分，(1)在柔性透明基底上沉积导电透明金膜；(2)在沉积金膜的基底上附着AAO模板；(3)利用真空物理沉积技术制备得spindt型金属阵列；(4)去除AAO模板。本发明专利技术的柔性透明场发射冷阴极制备方法简单、成本低、可进行大面积制备，在柔性平板显示器等领域中有广泛的应用前景。等领域中有广泛的应用前景。等领域中有广泛的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性透明场发射冷阴极的制备方法


[0001]本专利技术属于电子材料制备
，具体涉及了一种柔性透明场发射冷阴极的制备方法，尤其涉及一种柔性透明场发射spindt阴极的制备方法。

技术介绍

[0002]场发射的原理是通过外加电场使材料的表面势垒高度降低、宽度变窄，电子由于隧道效应穿过表面势垒，形成电子发射。场发射冷阴极可分为：以spindt型阴极为代表的金属尖锥阵列型，以碳纳米管为代表的新材料型，以及过渡金属氧化物等，其结构主要包括：发射体尖锥、绝缘层、导电层、栅极。如今，场发射冷阴极已经广泛应用于各个方面，例如场发射显示屏，它综合了阴极射线管和液晶显示器的优点，具备画质清晰、低功耗、寿命长、相应快等特性，此外还应用于晶体管、真空微波管、X射线管、电子显微等领域。
[0003]随着柔性电子器件的发展，柔性冷阴极材料也备受关注。与传统场发射冷阴极相比，柔性冷阴极材料在具有良好发射性能的同时有利于实现电子器件的小型化设计、方便携带、制造成本低的要求。因此，实现柔性场发射冷阴极材料的制备对于将来应用于可卷曲显示器等领域具有重要意义。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)在柔性透明基底上沉积导电透明金膜；(2)在沉积金膜的基底上附着AAO模板；(3)利用真空物理沉积技术制备得spindt型金属阵列；(4)去除AAO模板，得到场发射阴极材料。2.根据权利要求1所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，所制备的柔性透明场发射冷阴极包括：耐高透明柔性基底，导电层，以及沉积在导电层上的spindt型金属阵列。3.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，基底材料采用耐高温柔性透明材料。4.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，导电膜采用Au或ZAO，并且导电膜的厚度可调。5.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，在步骤(1)中，基底采用乙醇进行超声波清洗。6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑辉，周珂，张阳，郑梁，郑鹏，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：