数据分析装置、数据分析方法以及与其相关的品质提升系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种数据分析装置、数据分析方法与品质提升系统。数据分析装置包含组合产生模块、比率计算模块与权重计算模块。组合产生模块针对与生产作业程序对应的待分析数据进行关联性分析后，据以产生关联性信息。比率计算模块依据关联性信息中的高风险组合的离群产品个数的总和，以及在待分析数据中的产品总量而计算比率参数。权重计算模块依据关联性信息中的高风险因子组合数，以及在待分析数据中的生产控制因子组合的总数量而计算权重参数。生产设备依据比率参数与权重参数而选择性调整生产作业程序的设定。整生产作业程序的设定。整生产作业程序的设定。

【技术实现步骤摘要】
数据分析装置、数据分析方法以及与其相关的品质提升系统


[0001]本专利技术涉及一种数据分析装置、数据分析方法以及与其相关的品质提升系统，且特别是涉及一种用于提升生产作业程序的良率的数据分析装置、数据分析方法以及与其相关的品质提升系统。

技术介绍

[0002]请参照图1，其是生产不同产品的生产工厂的示意图。通常，生产工厂10的产线可能用于生产多种产品。例如，此处以不同形状代表产品A(101)、产品B(103)、产品C(105)、产品D(107)。
[0003]除了生产的产品本身可能不同外，制造业的品质管理涉及五种要素。这五种要素为，人(Man)、机器(Machine)、材料(Material)、方法(Method)与环境(Environment)。在生产工厂10里，这五种品质管理要素中的任何一种都可能涉及多种参数，且各个参数都另有多种可能的选项。这些参数与可能的选项的组合，都可能影响生产工厂10生产产品A(101)、产品B(103)、产品C(105)、产品D(107)时的良率。
[0004]承上，在制造业的生产过程中，若出现良率问题时，需经过繁琐的流程进行检视。此种作法需花费很长时间确认是哪个环节出错。但是，此种做法费时费工，甚至常常难以发现问题原因。因此，如何能针对产品的生产作业程序快速找出影响离群产品的比率的关键问题并加以修正，为一提升制造业的产品品质的重要议题。

技术实现思路

[0005]本专利技术是有关于一种对离群数据加以分析后，依据分析结果而调整生产作业程序的相关设定的数据分析装置、数据分析方法以及与其相关的品质提升系统。本专利技术的数据分析装置、数据分析方法以及与其相关的品质提升系统，可提升特定生产作业程序所生产的产品良率。
[0006]根据本专利技术的第一方面，提出一种应用于生产设备的数据分析装置。生产设备于第一生产作业程序生产第一产品。数据分析装置包含：组合产生模块、比率计算模块，以及权重计算模块。比率计算模块与权重计算模块均电连接于组合产生模块。组合产生模块针对与第一生产作业程序对应的第一组待分析数据进行关联性分析后，据以产生第一组关联性信息。比率计算模块依据第一组关联性信息中的多个第一高风险组合的离群产品个数的总和，以及在第一组待分析数据中的第一产品总量而计算第一比率参数。第一产品总量指生产设备在第一生产作业程序中所生产的第一产品的数量。权重计算模块依据第一组关联性信息中的第一高风险因子组合数，以及在第一组待分析数据中的第一生产控制因子组合的总数量而计算第一权重参数。生产设备依据第一比率参数与第一权重参数而选择性调整第一生产作业程序的设定。
[0007]根据本专利技术的第二方面，提出一种数据分析方法。数据分析方法应用于对生产设备进行分析的数据分析装置。其中，生产设备于第一生产作业程序生产第一产品。数据分析
方法包含以下步骤：首先，针对与第一生产作业程序对应的第一组待分析数据进行关联性分析后，据以产生第一组关联性信息。其次，依据第一组关联性信息中的多个第一高风险组合的离群产品个数的总和，以及在第一组待分析数据中的第一产品总量而计算第一比率参数。其中，第一产品总量指生产设备在第一生产作业程序中所生产的第一产品的数量。此外，依据第一组关联性信息中的第一高风险因子组合数，以及在第一组待分析数据中的第一生产控制因子组合的总数量而计算第一权重参数。生产设备依据第一比率参数与第一权重参数而选择性调整第一生产作业程序的设定。
[0008]根据本专利技术的第三方面，提出一种包含彼此信号连接的数据提供装置与数据分析装置的品质提升系统。数据提供装置包含：流程监控模块与数据筛选模块。流程监控模块对用于生产一产品的一生产设备所进行的一生产作业程序进行监控，进而产生多笔监控数据。数据筛选模块电连接于流程监控模块，其是依据筛选条件而从监控数据中选择一组待分析数据。数据分析装置包含：组合产生模块、比率计算模块，以及权重计算模块。比率计算模块与权重计算模块均电连接于组合产生模块。组合产生模块针对与生产作业程序对应的该组待分析数据进行关联性分析后，据以产生一组关联性信息。比率计算模块依据该关联性信息中的多个高风险组合的离群产品个数的总和，以及在该组待分析数据中的产品总量而计算比率参数。产品总量指生产设备在生产作业程序中所生产的产品的数量。权重计算模块依据该组关联性信息中的高风险因子组合数，以及在该组待分析数据中的生产控制因子组合的总数量而计算权重参数。生产设备依据比率参数与权重参数而选择性调整生产作业程序的设定。
附图说明
[0009]为让本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，以下结合附图对本专利技术的具体实施方式作详细说明，其中：
[0010]图1是生产不同产品的生产工厂的示意图。
[0011]图2是举例说明与生产作业程序相关的数据的示意图。
[0012]图3是品质提升系统的示意图。
[0013]图4是数据提供装置的示意图。
[0014]图5是数据分析装置的示意图。
[0015]图6是数据分析装置根据待分析数据而产生评估结果的流程图。
[0016]符号说明
[0017]生产工厂10、21
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产品A101
[0018]产品B103
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产品C105
[0019]产品D107
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生产设备21a
[0020]品质提升系统20
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数据提供装置23、30
[0021]数据分析装置25、50
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评估与决策装置27
[0022]流程监控模块31
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数据库33
[0023]输出模块35
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数据筛选模块37
[0024]品质检验模块38
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接收模块39、51
[0025]权重计算模块58
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传送模块53
[0026]组合产生模块55
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比率计算模块57
[0027]步骤S501、S503、S505、S507、S509
具体实施方式
[0028]如前所述，对制造业而言，如何改善整体的生产作业程序并提升良率，为一相当复杂的问题。实务上，制造业的生产工厂类型很多，除了实际生产的产品可能不同外，生产工厂的生产过程也有相当差异。以半导体制造业为例，至少包含晶圆制造厂与测试厂。晶圆制造厂主要生产集成电路，而测试厂则对集成电路进行测试。乍看之下，晶圆制造厂与测试厂所做的事情并不相同，其生产作业程序的品质管理的考量也会不同。但就数据分析的角度而言，无论是晶圆制造厂、测试厂或是其他各种制造厂，其生产作业程序均可以“产品”为导向而进行分析。
[0029]对晶圆制造厂而言，其产品为实际制造出的集成电路，而其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种数据分析装置，应用于一生产设备，其特征在于，该生产设备是于一第一生产作业程序产生一第一产品，且该数据分析装置包含：一组合产生模块，其针对与该第一生产作业程序对应的一第一组待分析数据进行一关联性分析后，据以产生一第一组关联性信息；一比率计算模块，电连接于该组合产生模块，其依据该第一组关联性信息中的多个第一高风险组合的离群产品个数的总和，以及在该第一组待分析数据中的一第一产品总量而计算一第一比率参数，其中该第一产品总量是指该生产设备在该第一生产作业程序中所生产的该第一产品的数量；以及，一权重计算模块，电连接于该组合产生模块，其依据该第一组关联性信息中的一第一高风险因子组合数，以及在该第一组待分析数据中的一第一生产控制因子组合的总数量而计算一第一权重参数，其中该生产设备依据该第一比率参数与该第一权重参数而选择性调整该第一生产作业程序的设定。2.如权利要求1所述的数据分析装置，其特征在于，该生产设备于一第二生产作业程序生产一第二产品，其中该组合产生模块针对与该第二生产作业程序对应的一第二组待分析数据进行该关联性分析后，据以产生一第二组关联性信息，该比率计算模块依据该第二组关联性信息中的多个第二高风险组合的离群产品个数的总和，以及在该第二组待分析数据中的一第二产品总量而计算一第二比率参数，其中该第二产品总量是指该生产设备在该第二生产作业程序中所生产的该第二产品的数量，且该权重计算模块依据该第二组关联性信息中的一第二高风险因子组合数，以及在该第二组待分析数据中的一第二生产控制因子组合的总数量而计算一第二权重参数，其中该生产设备依据该第二比率参数与该第二权重参数而选择性调整该第二生产作业程序的设定。3.如权利要求2所述的数据分析装置，其特征在于，将该第一比率参数与该第一权重参数相乘后得出一第一品质积分，且将该第二比率参数与该第二权重参数相乘后得出一第二品质积分，其中，当该第一品质积分高于该第二品质积分时，与该第一生产作业程序相关的多个第一组生产控制因子须优先被调整；以及，当该第一品质积分低于该第二品质积分时，与该第二生产作业程序相关的多个第二组生产控制因子须优先被调整。4.如权利要求1所述的数据分析装置，其特征在于，该多个第一组生产控制因子与该多个第二组生产控制因子不同。5.如权利要求1所述的数据分析装置，其特征在于，该多个第一组生产控制因子中的至少一者与该多个第二组生产控制因子相同。6.如权利要求1所述的数据分析装置，其特征在于，该组合产生模块是于该关联性分析中，根据该第一组待分析数据而确认在与该第一生产作业程序相关的多个第一组生产控制因子中的至少一个第一高风险组合，以及，判断与该至少一个第一高风险组合所对应的该第一高风险组合的离群产品个数的总和与该至少一个第一高风险组合所对应的该第一高风险因子组合数。
7.如权利要求1所述的数据分析装置，其特征在于，该多个第一组生产控制因子是与该第一生产作业程序中的一品质管理要素相关。8.一种数据分析方法，应用于分析一生产设备的一数据分析装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：余承叡，田银锦，吴怡欣，苏育萱，
申请(专利权)人：财团法人资讯工业策进会，
类型：发明
国别省市：