一种基于棱镜的反射式垂直光耦合结构制造技术

本发明专利技术公开了一种基于棱镜的反射式垂直光耦合结构，包括：光纤；棱镜，所述光纤耦合连接至所述棱镜的第一面；以及待测光芯片，所述待测光芯片具有槽，所述棱镜的下部插入所述槽中，所述棱镜将来自所述光纤的垂直光信号转换成水平光信号，再从所述槽的侧面耦合至所述待测光芯片。测光芯片。测光芯片。

【技术实现步骤摘要】
一种基于棱镜的反射式垂直光耦合结构


[0001]本专利技术涉及光子集成领域，具体来说，涉及一种基于棱镜的反射式垂直光耦合结构，该耦合结构可以将垂直于波导表面的光耦合进波导芯片，可以应用于光波导芯片的测试。

技术介绍

[0002]随着现代社会高速信息化发展的需要，基于集成光学器件的光通信技术蓬勃发展，其中基于绝缘衬底上的硅材料波导制作工艺由于与传统的互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容，在产业化方面具有明显的优势，能实现光电混合集成。在光通讯领域，光信号的传输主要借助于光纤。对于硅基波导而言，由于其本身发光效率无法达到实用要求，同样需要利用光纤从外部将光源引入，因此其中一个关键性问题就是如何实现光纤与波导器件的高效耦合。
[0003]另外，在光芯片的研发过程中，为了减少成本、提高效率，在器件的封装前需要对芯片进行测试。为了提高大批量光芯片测试的效率，摒弃手动耦合平台，必须采用有效、可靠的耦合方案，在自动化平台上实现晶圆级的芯片测试。
[0004]目前，针对光芯片的耦合方式主要有两种，即光栅耦合和端面耦合。<br/>[0005]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于棱镜的反射式垂直光耦合结构，包括：光纤；棱镜，所述光纤耦合连接至所述棱镜的第一面；以及待测光芯片，所述待测光芯片具有槽，所述棱镜的下部插入所述槽中，所述棱镜将来自所述光纤的垂直光信号转换成水平光信号，再从所述槽的侧面耦合至所述待测光芯片。2.如权利要求1所述的基于棱镜的反射式垂直光耦合结构，其特征在于，所述棱镜是底面为直角三角形的柱形，进一步包括：第一直角面；第二直角面，所述第二直角面与所述第一直角面相连，所述光纤与所述棱镜的耦合位置位于所述第一直角面，其耦合位置临近所述第二直角面；以及斜面。3.如权利要求2所述的基于棱镜的反射式垂直光耦合结构，其特征在于，所述第一直角面和或所述第二直角面设置有增透膜。4.如权利要求2所述的基于棱镜的反射式垂直光耦合结构，其特征在于，所述斜面设置有增反膜。5.如权利要求2所述的基于棱镜的反射式垂直光耦合结构，其特征在于，所述直角三角形为等腰直角三角...

【专利技术属性】
技术研发人员：李冰，余朝晃，严亭，
申请(专利权)人：上海传输线研究所中国电子科技集团公司第二十三研究所，
类型：发明
国别省市：