【技术实现步骤摘要】
一种用于自动键合机的载具
[0001]本技术涉及半导体加工设备
,具体的说是涉及一种用于自动键合机的载具。
技术介绍
[0002]微电子组装中,引线键合作为一门复杂的组装和制造工艺技术,是提高通用微电子器件、专用集成电路、薄厚膜混合集成电路、多芯片组装、系统集成电路等微电子电路性能的关键技术。在键合过程中常用到自动键合机,将待加工的器件固定在夹具上,利用自动键合机的键合头对待加工器件进行键合,形成产品。但是,自动键合机的键合头的竖向行程距离是固定的,一般是15mm左右,高度较高或较低的待加工器件很难适应键合头的高度,需要多次手动调整夹具的位置;而且传统的夹具的上表面为平面,只能放置底部为平面的待加工器件,不能放置底部多样式、多结构的待加工器件。
技术实现思路
[0003]本技术所要解决的技术问题是提供一种夹具的高度可调节,且夹具可更换,适应底部形状不同的待加工器件的用于自动键合机的载具。
[0004]为解决上述问题,本技术所采取的技术方案是:
[0005]一种用于自动键合机的载具,其包括:L ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于自动键合机的载具,其特征在于,其包括:L型支架(1)、设置在所述支架(1)上的调高装置、以及设置在所述调高装置上部且与所述调高装置可拆卸连接的夹具(2),所述夹具(2)的上表面与待加工器件的形状相适配;所述支架(1)包括水平板(3)和竖直板(4);所述竖直板(4)靠近所述水平板(3)的一侧设有两条导轨(5);所述调高装置包括动力机构(6)和与所述动力机构(6)连接的升降块(7),所述升降块(7)背部设有与两条所述导轨(5)相配合的导条(8);所述夹具(2)可拆卸设置在所述升降块(7)的上部,所述动力机构(6)用于驱动所述升降块(7)上下运动,从而调节所述夹具(2)的高度。2.根据权利要求1所述的一种用于自动键合机的载具,其特征在于,所述动力机构(6)包括电机(9)、螺纹杆(10)、滑块(11)和两根连接杆(12);所述螺纹杆(10)水平设置,其一端与所述电机(9)的输出轴连接,另一端与所述竖直板(4)连接,所述滑块(11)与所述螺纹杆(10)螺纹连接,所述滑块(11)的两侧壁上分别铰接两根所述连接杆(12)的一端,两根所述连接杆(12)的另一端与所述升降块(7)的两侧壁铰接;所述电机(9)用于驱动所述螺纹杆(10)旋转,使所述滑块(11)沿远离或靠近所述竖直板(4)的方向运动,通过所述连接杆(12)将动力传递给所述升降...
【专利技术属性】
技术研发人员:王志国,
申请(专利权)人:石家庄军特电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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