【技术实现步骤摘要】
一种半导体纯水处理系统的保安过滤器
[0001]本技术涉及的是一种半导体纯水处理系统的保安过滤器，属于水处理设备
技术介绍
[0002]在半导体制作工艺中，80％以上的工序都要经过化学处理，而每一道化学处理都离不开超纯水。在硅片的处理工序中，一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程，此时如果水中含有杂质便会进入硅片，造成器件性能下降，成品率低。电子工业提出的超纯水电阻率≥18MΩ
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cm(25℃)，已极其接近理论纯水水质18.3MΩ
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cm(25℃)。
[0003]现有技术有用于生产半导体制作所需超纯水的处理系统，其中保安过滤器是处理系统的重要组成，在原水中的悬浮颗粒经过活性炭预处理设备仍残留一些细小颗粒，若这些杂质颗粒随着进水直接进入RO设备，长期下来会造成膜的堵塞，故设置保安过滤器保护RO膜。现有技术中的保安过滤器存在上盖与筒体之间容易松动，以及滤芯与上盖不能完全密封的情况，现有技术有设置保持架对滤芯进行定位的设计，然而其保持架结构较为复杂，生产成本较高。
技术实现思路
[0004]本技术提出的是一种半导体纯水处理系统的保安过滤器，其目的旨在克服现有技术存在的上述缺陷，通过合理化结构设计，提高上盖与筒体连接稳定性，以及简化滤芯保持架结构。
[0005]本技术的技术解决方案：一种半导体纯水处理系统的保安过滤器，其结构包括筒体和分别与筒体上下两端连接的上盖和下盖，上盖通过若干个吊环螺丝连接筒体上端，筒体内侧下端设底板，底板上设有若干...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体纯水处理系统的保安过滤器，其特征包括筒体和分别与筒体上下两端连接的上盖和下盖，上盖通过若干个吊环螺丝连接筒体上端，筒体内侧下端设底板，底板上设有若干个卡槽，筒体内侧上端设有聚丙烯保持架，聚丙烯保持架上设有与卡槽一一对应的孔，滤芯穿过聚丙烯保持架上的孔、底端嵌入底板上的卡槽内。2.如权利要求1所述的一种半导体纯水处理系统...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵敬献，丁海松，杜莹，王付刚，
申请(专利权)人：江苏源邦环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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