一种含有乙烯和S-H键废气的处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种含有乙烯和S

【技术实现步骤摘要】
一种含有乙烯和S
‑
H键废气的处理装置


[0001]本技术涉及玻璃生产废气处理
，尤其涉及一种含有乙烯和S
‑
H键废气的处理装置。

技术介绍

[0002]目前，国内在线硅膜的废气处理装置还较为少见。在线硅膜镀膜产生的废气主要由氮气、硅烷热分解产生的含氢的Si
‑
Hx多晶硅粉尘、乙烯氮气、空气组成。在以往生产中，在线硅膜镀膜产生的废气通常被直接排放，粉尘对大气环境造成污染。而随着废气排放标准越来越严格，在线硅膜排废治理势在必行，为此我们提出一种含有乙烯和S
‑
H键废气的处理装置。

技术实现思路

[0003](一)技术目的
[0004]为解决
技术介绍
中存在的技术问题，本技术提出一种含有乙烯和S
‑
H键废气的处理装置。
[0005](二)技术方案
[0006]本技术提供了一种含有乙烯和S
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H键废气的处理装置，包括底座，所述底座的顶部左侧壳体固定连接有燃烧器外壳，所述燃烧器外壳的左侧顶部壳体内圈固定套接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含有乙烯和S
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H键废气的处理装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶部左侧壳体固定连接有燃烧器外壳(2)，所述燃烧器外壳(2)的左侧顶部壳体内圈固定套接有进气管，所述燃烧器外壳(2)的中部内壁周圈固定套设有燃烧器机构(201)，所述燃烧器外壳(2)的右侧壳体通过输气管连接有喷淋箱(3)，所述喷淋箱(3)的底部壳体通过螺栓连接有收液箱(4)，所述喷淋箱(3)的顶部壳体内壁固定连接有喷淋机构(15)，且喷淋箱(3)的右侧壳体内圈固定套接有排气管，所述收液箱(4)的顶部壳体固定连接在底座(1)的顶部右侧壳体上，所述收液箱(4)的右侧底部壳体内圈套接有泵机(5)，所述泵机(5)的底部壳体通过泵机底座固定连接在底座(1)的顶部壳体上。2.根据权利要求1所述的一种含有乙烯和S
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H键废气的处理装置，其特征在于，所述喷淋箱(3)的正面壳体外壁通过电机底座固定连接有伺服电机(6)，所述伺服电机(6)的输出轴固定连接有转轴(7)，所述转轴(7)远离伺服电机(6)的一端外圈固定套接有传动轴(8)。3.根据权利要求2所述的一种含...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕应成，刘卫东，马玉聪，张欣，孙立群，陈幸，李清华，樊兴生，王磊，郑良金，
申请(专利权)人：秦皇岛耀华玻璃技术开发有限公司，
类型：新型
国别省市：