一种硅烷尾气处理机构制造技术

本发明专利技术提供一种硅烷尾气处理机构，包括罐体和尾气管，其特征在于，尾气管通过波纹管连通于罐体侧壁上，且成排设置；罐体的一端设置有检修盖，检修盖上设置有电磁阀与罐体内部连通；罐体的另一端设置有排气后盖，排气后盖上设置有排放管道，排放管道与罐体内部连通；罐体内设置有滤芯，滤芯通过螺杆固定在排气后盖上。使用本机构可直接取代硅烷废气处理过程中的三个环节，使整个处理过程优化成PECVD主机台

【技术实现步骤摘要】
一种硅烷尾气处理机构


[0001]本专利技术应用于太阳能电池PECVD工序后，尤其涉及一种硅烷尾气处理机构。

技术介绍

[0002]太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、刻蚀、PECVD镀膜、丝网印刷和烧结测试这七大工序，其中，在PECVD镀膜工序后会产生硅烷废气，此废气需经过处理后才能排放，通常该处理过程需要经过PECVD主机台
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真空泵
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泵后处理器
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燃烧桶
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粉尘沉积塔
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酸雾塔多个环节后才能达到排放标准，该环节不仅繁琐制造成本高，管道、部件多维修保养难，还存在安全隐患，因此亟待解决。

技术实现思路

[0003]鉴于以上，本专利技术提供一种硅烷尾气处理机构，使用本机构可直接取代硅烷废气处理过程中的三个环节，使整个处理过程优化成PECVD主机台
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真空泵
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硅烷尾气处理机构
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酸雾塔，不仅缩小了废气处理成本，降低了维修保养难度，还解决了废气辗转多次处理的安全隐患问题。
[0004]具体技术方案如下：一种硅烷尾气处理机构，包括罐体和尾气管，其特征在于，尾气管通过波纹管连通于罐体侧壁上，且成排设置；罐体的一端设置有检修盖，检修盖上设置有电磁阀与罐体内部连通；罐体的另一端设置有排气后盖，排气后盖上设置有排放管道，排放管道与罐体内部连通；罐体内设置有滤芯，滤芯通过螺杆固定在排气后盖上。
[0005]进一步，所述电磁阀包括氮气电磁阀和压缩空气电磁阀，分别控制向罐体内通过氮气和压缩空气。
[0006]进一步，检修盖中间设置观察窗，可观察罐体内部情况。
[0007]进一步，罐体侧壁上安装有负压传感器。
[0008]进一步，所述排放管道上安装有负压表和风量阀门。
[0009]进一步，还包括支腿，支撑于罐体侧壁下方，支腿底部安装有脚杯。
[0010]进一步，各管道连接处设置有KF接头。
[0011]本专利技术附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0012]图1为本专利技术硅烷尾气处理机构的结构示意图；图2为本专利技术硅烷尾气处理机构的内部滤芯链接结构示意图；其中，1
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罐体，2
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尾气管，3
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波纹管，4
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检修盖，5
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氮气电磁阀，6
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压缩空气电磁阀，7
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观察窗，8
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排气后盖，9
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排放管道，10
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负压表，11
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风量阀门，12
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负压传感器，13
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滤芯，14
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螺杆，15
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锁定螺母，16
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支腿，17
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脚杯，18
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KF接头，19
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夹层吊顶。
具体实施方式
[0013]在本专利技术的描述中，需要理解的是，指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0014]参照图1
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2，本实施例中硅烷尾气处理机构，包括罐体1和尾气管2，尾气管2通过波纹管3连通于罐体1侧壁上，且成排设置,波纹管3的可弯曲特性可最大程度的解决尾气管2与罐体1对接不准的问题。罐体1的一端设置有检修盖4，检修盖4中间设置观察窗7，可观察罐体1内部情况，检修盖4上设置有电磁阀与罐体1内部连通，电磁阀包括氮气电磁阀5和压缩空气电磁阀6，分别控制向罐体内通过氮气和压缩空气；罐体1的另一端设置有排气后盖8，排气后盖8上设置有排放管道9，排放管道9与罐体1内部连通；罐体1内设置有滤芯13，滤芯13通过螺杆14固定在排气后盖8上，通过锁定螺母15与螺杆14进行锁固。
[0015]在使用时，将本实施例的硅烷尾气处理机构应用在废弃处理环节的酸雾塔之前，当PECVD主机台内产生的废气经过真空泵抽取出来，顺着尾气管2与波纹管3进入到罐体1，罐体1内部增加滤芯13，滤芯13可以过滤掉废气中的氧化铝和颗粒，然后氮气电磁阀5和压缩空气电磁阀6根据设备系统控制开、关和通入罐体1内压缩空气和氮气的流量，废气内含有的硅烷成分遇到压缩空气时就会燃烧，燃烧后则向罐体1内吹扫氮气，把处理后的气体通过排放管道9排到酸雾塔处理。因此使用本实施例的硅烷尾气处理机构替代泵后处理器、燃烧桶、粉尘沉积塔三道工序，不仅简化了原废气处理流程，缩小了废气处理成本，降低了维修保养难度，还解决了废气辗转多次处理的安全隐患问题。
[0016]优选的，罐体1侧壁上安装有负压传感器12。排放管道9上安装有风量阀门11和负压表10，控制和监控处理后的气体排出的流量和压力。
[0017]优选的，硅烷尾气处理机构还包括支腿16，支撑于罐体1侧壁下方，支腿16底部安装有脚杯17，支腿16和脚杯17的设置可对位于夹层吊顶19上方的罐体1起支撑作用。进一步，各管道连接处设置有KF接头18进行密封。
[0018]尽管参照本专利技术的示意性实施例对本专利技术的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本专利技术原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本专利技术的精神。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅烷尾气处理机构，包括罐体和尾气管，其特征在于，尾气管通过波纹管连通于罐体侧壁上，且成排设置；罐体的一端设置有检修盖，检修盖上设置有电磁阀与罐体内部连通；罐体的另一端设置有排气后盖，排气后盖上设置有排放管道，排放管道与罐体内部连通；罐体内设置有滤芯，滤芯通过螺杆固定在排气后盖上。2.根据权利要求1所述的硅烷尾气处理机构，其特征在于，所述电磁阀包括氮气电磁阀和压缩空气电磁阀，分别控制向罐体内通过氮气和压缩空气。3.根据权利要求1所述的硅烷尾气处理机构，其特征在于，检修盖中...

【专利技术属性】
技术研发人员：段波，陶龙忠，陈海钧，胡杰，岳成武，张坤，孙红彬，
申请(专利权)人：江苏润阳光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：