【技术实现步骤摘要】
放电灯及其更换方法、以及曝光方法及装置
[0001]本专利技术申请是国际申请日为2016年12月9日、国际申请号为 PCT/JP2016/086730、进入中国国家阶段的国家申请号为 201680081229.X、专利技术名称为“放电灯及其更换方法、以及曝光方法及 装置”的专利技术申请的分案申请。
[0002]本专利技术涉及放电灯及其更换方法、具备放电灯的光源装置、使 用该更换方法的曝光方法、具备该光源装置的曝光装置、以及使用 曝光技术的器件制造方法。
技术介绍
[0003]在用于制造各种器件(液晶显示器件或半导体器件等)的光刻 工序中，为了将形成于光罩的图案向涂布有感光材料的基板(玻璃 板件或半导体晶片等)转印而使用的一次曝光型的投影曝光装置及 扫描曝光型的投影曝光装置等曝光装置中，存在具备由超高压水银 灯等放电灯和聚光镜组合而构成的曝光用光源装置的类型。
[0004]在以往的光源装置中，存在如下光源装置：在放电灯的一方的 灯头设置凸缘部及层差部，在设有开口的灯座部的表面载置该凸缘 部的状态下，在该开口内用杆部件等对该层差部向下方施力，由此 将该放电灯固定(例如，参照专利文献1)。另外，曝光装置用的放 电灯若使用超过预先设定的容许时间，则可能因照度降低而导致曝 光性能(析像度等)恶化。因此，在放电灯的累计使用时间经过该 容许时间时，会更换为未使用的放电灯。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：国际公开第2007/066947号小册子>
技术实现思路
[0008]在曝光装置的光源装置中，例如在将已用完的放电灯和未使用 的放电灯保管于共用的保管部，且可自动进行放电灯的更换的情况 下，以往因已用完的放电灯和未使用的放电灯的外形相同，所以有 可能会再次使用已用完的放电灯。
[0009]另外，例如在将非轴对称的放电灯从保管部向放电灯的设置位 置搬送时，若该放电灯的旋转角较大地偏离目标值，则有可能无法 迅速地向搬送部等交付该放电灯。
[0010]本专利技术的方案鉴于此种情况，目的在于能够容易地对放电灯的 状态进行确认。
[0011]根据本专利技术的第1方案，提供一种放电灯，其装填于具备检测 部的装置，该检测部检测放电灯的使用状态，该放电灯具备：放电 用的电极；和被检测部，其被上述检测部检测，在对上述电极通电 时，被检测部从第1状态变化为第2状态。
[0012]根据本专利技术的第2方案，提供一种放电灯，其具备形成发光部 的玻璃部件、和以夹着上述玻璃部件的方式设置的第1灯头部件及 第2灯头部件，在上述第1灯头部件设有贯通孔。
[0013]根据第3方案，提供一种光源装置，其具备本专利技术的方案的放 电灯，该光源装置具
备：保管部，其保管该放电灯；搬送部，其搬 送该放电灯；送光部，其使光束向上述放电灯的上述第1灯头部件 的上述贯通孔入射；受光部，其对从上述贯通孔通过的上述光束进 行检测；和控制部，其使用上述受光部的检测结果求出上述放电灯 的状态。
[0014]根据第4方案，提供一种曝光装置，其具备：本专利技术的方案的 光源装置；照明系统，其利用从上述光源装置的上述放电灯产生的 光对光罩进行照明；和投影光学系统，其将上述光罩的图案的像投 影至基板。
[0015]根据第5方案，提供一种更换方法，其是本专利技术的方案的放电 灯的更换方法，包括：保管上述放电灯；将上述放电灯从保管部搬 送至设置位置；使光束向上述放电灯的上述第1灯头部件的上述贯 通孔入射；对通过上述贯通孔的上述光束进行检测；和使用上述光 束的检测结果求出上述放电灯的状态。
[0016]根据第6方案，提供一种曝光方法，包括：使用本专利技术的方案 的放电灯的更换方法而更换放电灯；利用从上述放电灯产生的光对 光罩进行照明；和将上述光罩的图案的像投影至基板。
[0017]根据第7方案，提供一种器件制造方法，包括：使用本专利技术的 方案的曝光装置或曝光方法在基板上形成感光层的图案；和对形成 有上述图案的上述基板进行处理。
附图说明
[0018]图1是表示第1实施方式的曝光装置的概略结构的图。
[0019]图2是表示图1中的放电灯的图。
[0020]图3的(A)是沿着图3的(B)的AA线的剖视图，(B)是表 示未使用的放电灯的阳极侧灯头部的剖视图，(C)是表示已用完的 放电灯的阳极侧灯头部的剖视图。
[0021]图4的(A)是表示图1中的光源装置的、将一部分切除后的俯 视图，(B)是表示图4的(A)的光源装置的、将一部分切除后的 侧视图。
[0022]图5是表示放电灯的阳极侧灯头部及夹紧机构的立体图。
[0023]图6的(A)是表示使滑动部移动的过程中的光源装置的、将一 部分切除后的俯视图，(B)是表示图6的(A)的光源装置的、将 一部分切除后的侧视图。
[0024]图7的(A)是表示将放电灯的阳极侧灯头部夹持的状态的图， (B)是表示解除对灯头部的夹持的状态的图。
[0025]图8是表示光源装置的、将一部分切除后的侧视图。
[0026]图9的(A)是表示由用于抓持灯的爪部抓持阳极侧灯头部的状 态的俯视图，(B)是图9的(A)的侧视图。
[0027]图10的(A)是表示使放电灯移动的过程中的光源装置的、将 一部分切除后的俯视图，(B)使表示图10的(A)的光源装置的、 将一部分切除后的侧视图。
[0028]图11是表示设置于灯保管用转盘的多个放电灯的、将一部分切 除后的图。
[0029]图12是表示灯保管用转盘的定位部的图。
[0030]图13是表示放电灯的更换方法的一例的流程图。
[0031]图14的(A)是表示第2实施方式的未使用的放电灯的阳极侧 灯头部的剖视图，(B)是表示已用完的放电灯的阳极侧灯头部的剖 视图。
[0032]图15的(A)和(B)分别是表示图14的(A)的阳极侧灯头 部的夹紧机构的剖视图。
[0033]图16的(A)是表示第1变形例的放电灯的阳极侧灯头部的剖 视图，(B)是表示第2变形例的放电灯的阳极侧灯头部的剖视图。
[0034]图17的(A)是表示第3变形例的放电灯的阳极侧灯头部的剖 视图，(B)是表示图17的(A)的球体移动至下方的状态的剖视 图。
[0035]图18的(A)是表示将第4变形例的放电灯的阳极侧灯头部夹 持的状态的图，(B)是表示图18的(A)的阳极侧灯头部的放大 剖视图，(C)是表示图18的(B)的端子部的剖视图，(D)是表 示从D方向观察图18的(B)的端子部的内部的图。
[0036]图19的(A)是表示第5变形例的放电灯的阳极侧灯头部的端 子部的内部的图，(B)是表示图19的(A)的2个弹性铰接部的 前端的间隔扩大了的状态的图。
[0037]图20的(A)是表示第6变形例的放电灯的阳极侧灯头部的端 子部的内部的图，(B)是表示图20的(A)的2个弹性铰接部的 前端的间隔扩大了的状态的图。本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种放电灯，其装填于具备检测部的装置，所述检测部检测放电灯的使用状态，所述放电灯的特征在于，具备：放电用的...
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