一种用于吸附剂在低温高真空条件下吸附性能的测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于吸附剂在低温高真空条件下吸附性能的测试装置，包括低温恒温器，吸附柱组件，一级缓冲罐，二级缓冲罐和真空泵机组和气源等。所述吸附剂放置于吸附柱中，所述吸附柱与制冷机二级冷头通过高导热率的铜软连接实现热连接，所述吸附柱与真空容器通过固定拉杆实现机械固定，所述制冷机与恒温器使用波纹管密封连接，制冷机单独使用支架固定。本发明专利技术的有益效果是以制冷机为冷源，只需供电，无需低温液体介质，且温度连续可调，操作方便；制冷机与吸附剂之间无硬连接，减少了制冷机振动对吸附剂在吸附过程中产生的影响，提高了测试结果的准确性。高了测试结果的准确性。高了测试结果的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于吸附剂在低温高真空条件下吸附性能的测试装置


[0001]本专利技术涉及吸附剂吸附性能测试领域，具体涉及一种用于吸附剂在低温高真空条件下吸附性能的测试装置。

技术介绍

[0002]低温高真空(10
‑4‑
10
‑1Pa)条件下，吸附剂对气体的吸附特性是低温吸附泵的关键参数。随着我国的低温吸附泵技术和大型氦制冷机的发展，对吸附剂的性能研究也逐渐深入，但依旧不能满足研究需求，尤其是在4K
‑
10K温区，但这部分温区吸附剂吸附性能的数据对低温吸附泵的性能格外重要。
[0003]目前对吸附剂性能最常见的检测手段，就是在液氮温区条件下，吸附剂吸附氮气的性能反映吸附剂的一些性能特征，如比表面积，孔容等参数。但是该手段仅能提供孔径大于氮气分子直径的微孔特征，而通常在高真空的吸附泵主要吸附气体为氢气或者氦气，使用氮气作为表征气体就不再精确。也有些机构使用液氦作为冷源得到低温环境测试，但是在降温过程中就会使用大量液氦预冷及液氦浸泡，而液氦作为一种战略资源其价格昂贵，势必造成大量资源浪费和测试成本。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于吸附剂在低温高真空条件下吸附性能的测试装置，其特征在于：包括低温恒温器(1)、吸附柱组件(2)、进气调节装置(3)、二级缓冲组件(4)、一级缓冲组件(5)、气源(6)和真空泵机组(7)；所述吸附柱组件(2)和制冷机(101)二级冷头通过铜软连接(105)实现热连接；所述吸附柱组件(2)和真空容器(103)通过固定拉杆(108)实现机械固定；所述吸附柱组件(2)通过进气调节装置(3)和二级缓冲组件(4)连接；所述进气调节装置(3)设有第一真空规(301)、第一毛细管(302)和第一球阀(34)作为进入吸附柱组件(2)内气体量控制和吸附柱组件(2)内压强监测装置；所述二级缓冲组件(4)主要设有二级缓冲容器(401)和第二真空规(402)和第二球阀(45)；所述二级缓冲容器(401)通过监测第二真空规(402)压力配合第二球阀(45)通气时长实现与一级缓冲组件(5)的气体流通量控制；所述一级缓冲组件(5)设有一级缓冲容器(501)、第二毛细管(502)、第三真空规(503)、微量调节阀(504)和第四球阀(56)；所述一级缓冲容器(501)通过监测第三真空规(503)压力配合微量调节阀(504)调节流量大小实现与气源(6)的气体流通量控制；所述真空泵机组(7)和吸附柱组件(2)、一级缓冲罐(3)和二级缓冲罐(4)均通过管道连接。2.如权利要求1所述的一种用于吸附剂在低温高真空条件下吸附性能的测试装置，其特征在于：低温恒温器(1)包括：制冷机(101)、密封波纹管(102)、真空容器(103)、加热器(104)、铜软连接(105)、冷屏(106)、制冷机固定支架(107)、固定拉...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡锐，杨庆喜，陈肇玺，陈仕琳，宋云涛，王思慧，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：