一种靶材真空喷涂生产设备制造技术

本实用新型专利技术适用于喷涂设备技术领域，尤其涉及一种靶材真空喷涂生产设备，包括喷涂装置，所述靶材真空喷涂生产设备还包括壳体、端盖和转盘，端盖可拆卸连接在壳体的顶部，且端盖上设置有定位组件，转盘通过轴承转动设置在壳体内腔底部，且通过电机驱动，转盘上端固定有双轴电机，双轴电机的两个转动轴上通过丝杆连接有滑块，滑块与转盘滑动连接，滑块远离双轴电机的一侧设置有电动推杆，电动推杆靠近滑块的一端固定有定位块，喷涂装置设置在壳体外壁上，壳体内壁上至少设置有一组滑轨，滑轨上滑动连接有喷头，喷头与喷涂装置连接。本实用新型专利技术能够对靶材进行快速且均匀的喷涂，旋转式喷涂，保证了各处喷涂厚度一致，有效提高了喷涂的效率和效果。涂的效率和效果。涂的效率和效果。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材真空喷涂生产设备


[0001]本技术属于喷涂设备
，尤其涉及一种靶材真空喷涂生产设备。

技术介绍

[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
[0003]喷涂通过喷枪或碟式雾化器，借助于压力或离心力，分散成均匀而微细的雾滴，施涂于被涂物表面的涂装方法。可分为空气喷涂、无空气喷涂、静电喷涂以及上述基本喷涂形式的各种派生的方式，如大流量低压力雾化喷涂、热喷涂、自动喷涂、多组喷涂等。
[0004]在靶材的生产过程中，需要对靶材进行喷涂处理。但是现有的靶材喷涂装置结构复杂，容易导致喷涂的厚度不一致，喷涂效果不好。

技术实现思路

[0005]本技术实施例的目的在于提供一种靶材真空喷涂生产设备，旨在解决现有的靶材喷涂装置结构复杂，容易导致喷涂的厚度不一致，喷涂效果不好。
[0006]本技术实施例是这样实现的，一种靶材真空喷涂生产设备，包括喷涂装置，所述靶材真空喷涂生产设备还包括壳体、端盖和转盘，端盖可拆卸连接在壳体的顶部，且端盖上设置有定位组件，转盘通过轴承转动设置在壳体内腔底部，且通过电机驱动，转盘上端固定有双轴电机，双轴电机的两个转动轴上通过丝杆连接有滑块，滑块与转盘滑动连接，滑块远离双轴电机的一侧设置有电动推杆，电动推杆靠近滑块的一端固定有定位块，喷涂装置设置在壳体外壁上，壳体内壁上至少设置有一组滑轨，滑轨上滑动连接有喷头，喷头与喷涂装置连接。
[0007]优选地，所述端盖上设置有单向阀和气压平衡阀，单向阀连接有负压装置。
[0008]优选地，所述定位组件包括气缸、活塞杆和压板，气缸用于驱动活塞杆移动，活塞杆上设置有通槽，压板中部开设有两个滑槽，压板通过两个滑槽中间的位置与通过滑动连接，活塞杆与压板靠近气缸的一侧之间设置有压紧弹簧，活塞杆远离气缸的的一端开设有开口槽，活塞杆端部的两侧滑动连接有水平设置的定位滑块，定位滑块的外径设置有固定环，固定环与活塞杆外径之间设置有定位弹簧，定位弹簧位于活塞杆内的一侧设置有斜面，压板位于两个滑槽之间的位置固定有芯杆，芯杆与活塞杆同轴设置，且芯杆远离气缸的一端设置有楔块。
[0009]优选地，所述内壁上端设置有多个挡板，挡板层叠设置。
[0010]优选地，所述壳体底部设置有支腿。
[0011]本技术实施例提供的一种靶材真空喷涂生产设备，结构简单，设计合理，能够对靶材进行快速且均匀的喷涂，旋转式喷涂，保证了各处喷涂厚度一致，有效提高了喷涂的效率和效果。
附图说明
[0012]图1为本技术实施例提供的一种靶材真空喷涂生产设备的结构示意图；
[0013]图2为图1中A处的局部放大图；
[0014]图3为本技术实施例提供的一种靶材真空喷涂生产设备的部分结构示意图。
[0015]附图中：1、壳体；2、支腿；3、电机；4、轴承；5、转盘；6、喷涂装置；7、滑轨；8、喷头；9、靶材；10、顶盖；11、气压平衡阀；12、单向阀；13、挡板；14、双轴电机；15、滑块；16、电动推杆；17、定位块；18、压板；19、芯杆；20、楔块；21、定位滑块；22、固定环；23、定位弹簧；24、压紧弹簧。
具体实施方式
[0016]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0017]以下结合具体实施例对本技术的具体实现进行详细描述。
[0018]如图1、2和3所示，为本技术实施例提供的一种靶材真空喷涂生产设备的结构示意图，包括喷涂装置6，所述靶材真空喷涂生产设备还包括壳体1、端盖10和转盘5，端盖10可拆卸连接在壳体1的顶部，且端盖10上设置有定位组件，转盘5通过轴承4转动设置在壳体1内腔底部，且通过电机3驱动，转盘5上端固定有双轴电机14，双轴电机14的两个转动轴上通过丝杆连接有滑块15，滑块15与转盘5滑动连接，滑块15远离双轴电机14的一侧设置有电动推杆16，电动推杆16靠近滑块15的一端固定有定位块17，喷涂装置6设置在壳体1外壁上，壳体1内壁上至少设置有一组滑轨7，滑轨7上滑动连接有喷头8，喷头8与喷涂装置6连接。
[0019]在本技术的一个实例中，在使用时，打开端盖10，将靶材9放入壳体1内，靶材9放置在转盘5上端，先启动双轴电机14，双轴电机14通过丝杆驱动滑块15滑动，滑块15从靶材9的内径将靶材9固定，再启动电动推杆16，电动推杆16通过定位块17从靶材9的外径将靶材9固定，并且定位块17与滑块15相对设置，避免了靶材9出现变形，然后盖上端盖10，通过端盖10将壳体1密封，并且通过定位组件将靶材9固定住，最后将壳体1与端盖10之间的空腔抽为真空，启动喷涂装置6，电机3通过转盘3驱动靶材9高度旋转，喷头8则沿滑轨7滑动，利用喷头8对靶材9进行喷涂。在本技术中，喷涂的全过程中，靶材9均处于高度旋转的状态，因此只要喷头8沿滑轨7匀速移动即可保证靶材9的喷涂厚度一致。
[0020]如图1、2和3所示，作为本技术的一种优选实施例，所述端盖10上设置有单向阀12和气压平衡阀11，单向阀12连接有负压装置。
[0021]在本技术的一个实例中，负压装置用于通过单向阀12将端盖10与壳体1之间的空气抽出，使得端盖10与壳体1形成真空环境，气压平衡阀11用于在开启端盖10时，平衡端盖10与壳体1之间的气压。
[0022]如图1、2和3所示，作为本技术的一种优选实施例，所述定位组件包括气缸、活
塞杆和压板18，气缸用于驱动活塞杆移动，活塞杆上设置有通槽，压板18中部开设有两个滑槽，压板18通过两个滑槽中间的位置与通过滑动连接，活塞杆与压板18靠近气缸的一侧之间设置有压紧弹簧24，活塞杆远离气缸的的一端开设有开口槽，活塞杆端部的两侧滑动连接有水平设置的定位滑块21，定位滑块21的外径设置有固定环22，固定环22与活塞杆外径之间设置有定位弹簧23，定位弹簧23位于活塞杆内的一侧设置有斜面，压板18位于两个滑槽之间的位置固定有芯杆19，芯杆19与活塞杆同轴设置，且芯杆19远离气缸的一端设置有楔块20。
[0023]在本技术的一个实例中，在进行定位时，气缸驱动活塞杆伸长，活塞杆逐渐伸入靶材9内腔内，直至压板18与靶材9的端部相抵，活塞杆进一步伸长，压板9将挤压压紧弹簧24，此时与芯杆19连接的楔块20与定位滑块21上的斜面相抵，从而推动定位滑块21滑动，从靶材9的内径将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材真空喷涂生产设备，包括喷涂装置(6)，其特征在于，所述靶材真空喷涂生产设备还包括壳体(1)、端盖(10)和转盘(5)，端盖(10)可拆卸连接在壳体(1)的顶部，且端盖(10)上设置有定位组件，转盘(5)通过轴承(4)转动设置在壳体(1)内腔底部，且通过电机(3)驱动，转盘(5)上端固定有双轴电机(14)，双轴电机(14)的两个转动轴上通过丝杆连接有滑块(15)，滑块(15)与转盘(5)滑动连接，滑块(15)远离双轴电机(14)的一侧设置有电动推杆(16)，电动推杆(16)靠近滑块(15)的一端固定有定位块(17)，喷涂装置(6)设置在壳体(1)外壁上，壳体(1)内壁上至少设置有一组滑轨(7)，滑轨(7)上滑动连接有喷头(8)，喷头(8)与喷涂装置(6)连接。2.根据权利要求1所述的靶材真空喷涂生产设备，其特征在于，所述端盖(10)上设置有单向阀(12)和气压平衡阀(11)，单向阀(12)连接有负压装置。3.根据权利要求1所述的靶材真...

【专利技术属性】
技术研发人员：段翠桃，
申请(专利权)人：段翠桃，
类型：新型
国别省市：