一种具有调阻功能的压阻芯片制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有调阻功能的压阻芯片，包括四个惠斯通电桥桥臂电阻R1、R2、R3和R4，四个惠斯通电桥电极E1、E2、E3和E4，四个串联支路，每个串联支路的两侧均并排设置有一个可调支路；串联支路包括串联的M个第一电阻和(M

【技术实现步骤摘要】
一种具有调阻功能的压阻芯片


[0001]本技术涉及微电子机械系统领域，尤其涉及一种具有调阻功能的压阻芯片。

技术介绍

[0002]压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。压力传感器主要可以分为压阻式、应变式、电容式、谐振式等几种，其中压阻传感器具有制作工艺简单、成本低、高稳定性、高可靠性等优点，广泛应用于航空、航天、石油勘探等领域。
[0003]压阻芯片是压阻式压力传感器的核心器件，是压力传感器中直接感受压力信号的器件，是压力传感器中的敏感元件。压阻芯片的性能直接决定着压力传感器的性能。压阻芯片感受压力的电路，是由四个阻值相等的桥臂电阻组成的惠斯通电桥。但是由于在工艺的问题，使得四个桥臂电阻阻值存在着偏差，从而影响惠斯通电桥的零位输出。
[0004]一般情况下压阻芯片的惠斯通电桥零位输出绝对值要小于10mV才能够满足使用需求，对于零位输出较大的芯片，需要对桥臂电阻的进行调阻处理。现阶段广泛采用激光调阻工艺对桥臂电阻阻值进行修正，但是该方法会对芯片进行破坏，引入加工应力，调阻后本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有调阻功能的压阻芯片，其特征在于，包括：四个惠斯通电桥桥臂电阻R1、R2、R3和R4，四个惠斯通电桥电极E1、E2、E3和E4，四个串联支路(1)，每个串联支路(1)的两侧均并排设置有一个可调支路(2)；所述串联支路(1)包括串联的M个第一电阻(12)和(M
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1)个第一电极(11)，第一电阻(12)和第一电极(11)间隔分布；所述可调支路(2)包括N个第二电阻(22)和(N+1)个第二电极(21)；每个惠斯通电桥桥臂电阻的两端设置有第三电极(3)，每个第三电极通过所述串联支...

【专利技术属性】
技术研发人员：王立会，邓杨，
申请(专利权)人：广州市智芯禾科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：