一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统，第一球面镜的出光面与第二球面镜的入光面为边缘接触式连接，第二球面镜的出光面与第三球面镜的入光面之间设有间距，微透镜包括第一微透镜和第二微透镜，第一微透镜和第二微透镜的相对镜面的Y轴方向均设有球面阵列结构。本实用新型专利技术采用三片球面镜对激光光束进行准直，再经过两片微透镜阵列在Y轴方向聚焦成线性光。三片球面镜对激光发散角进行压缩准直，微透镜阵列在Y方向对准直后的光束进行会聚，而对X方向的光束进行发散，最终在工作面上形成长度为180

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统


[0001]本技术涉及光学领域，特别是涉及一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统。

技术介绍

[0002]太阳能电池板硅基片表面的形貌检测，采用808nm半导体激光照射硅片表面，激发硅片发光，再用红外相机接收并通过软件图像分析。在激光整形成长度较大的线光斑中，采用柱面镜或鲍威尔棱镜会造成线性光斑的能量分布不均，整体成高斯分布，中心能量密度高而边缘能量密度低。为了达到整体光斑的均匀，因此将激光通过微透镜阵列整形成长度为180mm线性光。

技术实现思路

[0003]本技术主要解决的技术问题是提供一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统，能够得到均匀性要求90%以上的线性光。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统，包括：沿着光线入射方向依次设有三片球面镜和两片微透镜，球面镜分别包括第一球面镜、第二球面镜和第三球面镜，第一球面镜的出光面与第二球面镜的入光面为边缘接触式连接，第二球面镜的出光面与第三球面镜的入光面之间设有间距本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统，其特征在于，包括：沿着光线入射方向依次设有三片球面镜和两片微透镜，球面镜分别包括第一球面镜、第二球面镜和第三球面镜，第一球面镜的出光面与第二球面镜的入光面为边缘接触式连接，第二球面镜的出光面与第三球面镜的入光面之间设有间距，微透镜包括第一微透镜和第二微透镜，第一微透镜和第二微透镜的相对镜面的Y轴方向均设有球面阵列结构。2.根据权利要求1所述的太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统，其特征在于，第一球面镜的入光面和出光面的曲率半径为27.92
±
0.01mm，第二球面镜的入光面的曲率半径为136.02
±
0.01mm，第二球面镜的出光面的曲率半径为28.348
±
0.01mm，第三球面镜的入光面的曲率半径为81.8
±
0.01mm，第三球面镜的出光面的曲率半径为59.7
±
0.01mm。3.根据权利要求1所述的太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统，其特征在于，光源到第一球面镜的入光面中心的间距为32.29
±
0.1mm，第二球面镜的出光面中心与第三球面镜的入光面中心之间的间距为4.62
±
0.1mm，第三球面镜的出光面中心与第一微透镜中心之间的间距为12.32
±
0.1mm。4.根据权利要求1所述的太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统，其特征在于，第一球面镜的中心厚度为8
±
...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱洪荣，金浩程，
申请(专利权)人：常州市奥普泰克光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：