一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件制造技术

本实用新型专利技术涉及热阴极弧放电离子源技术领域，具体涉及一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件。本实用新型专利技术包括馈电连接铜杆、陶瓷管、安装法兰、金属保护管、屏蔽陶瓷管、灯丝安装端子、灯丝；安装法兰上设有两个馈穿孔，每个馈穿孔的两侧分别固定连接有陶瓷管和金属保护管，馈电连接铜杆的前端穿过陶瓷管和金属保护管中心进入真空环境，馈电连接铜杆穿出馈穿孔的部分上套有屏蔽陶瓷管，馈电连接铜杆前端连接有灯丝安装端子，灯丝连接在两个灯丝安装端子上。本实用新型专利技术能够保证离子源能够快速更换灯丝，便于维护和维修。便于维护和维修。便于维护和维修。

【技术实现步骤摘要】
一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件


[0001]本专利技术涉及热阴极弧放电离子源
，具体涉及一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件。

技术介绍

[0002]在热阴极弧放电离子源上，等离子体是通过空间电子的碰撞电离来产生的。为了使空间中有足够的自由电子，需要将阴极加热至3000K左右以实现电子的热发射，所以热阴极弧放电离子源的阴极通常使用钨材料制成的灯丝。钨灯丝需要馈入较大电流以维持加热，电流通常为100-120A，但同时钨灯丝作为弧放电的阴极，灯丝的正负两端均需要满足与放电室的绝缘。离子源在工作状态下内部为真空，灯丝在馈入大电流的同时还要满足真空密封要求。
[0003]传统的技术方案中，离子源上安装灯丝，需要将灯丝的陶瓷绝缘管通过可伐合金钎焊至离子源身上，并且馈电端子也通过可伐合金钎焊至陶瓷绝缘管上，以实现绝缘要求和真空密封要求。但这样的技术方案在使用中会带来难以维护和难以维修的问题。
[0004]在离子源运行过程中，如果出现灯丝损坏，例如：因灯丝电流过大出现的灯丝烧断现象，或者因局部电弧放电出现的灯丝熔毁现象本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件，其特征在于：包括馈电连接铜杆(1)、陶瓷管(2)、安装法兰(3)、金属保护管(5)、屏蔽陶瓷管(6)、灯丝安装端子(7)、灯丝(8)；安装法兰(3)上设有两个馈穿孔，每个馈穿孔的两侧分别固定连接有陶瓷管(2)和金属保护管(5)，馈电连接铜杆(1)的前端穿过陶瓷管(2)和金属保护管(5)中心进入真空环境，馈电连接铜杆(1)穿出馈穿孔的部分上套有屏蔽陶瓷管(6)，馈电连接铜杆(1)前端连接有灯丝安装端子(7)，灯丝(8)连接在两个灯丝安装端子(7)上。2.根据权利要求1所述的一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件，其特征在于：所述馈电连接铜杆(1)为光滑杆，其后端连接外部供电电缆。3.根据权利要求2所述的一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件，其特征在于：所述馈电连接铜杆(1)与陶瓷管(2)通过可伐合金(10)焊接连接，保证馈电连接铜杆(1)进入陶瓷管(2)后真空密封。4.根据权利要求3所述的一种用于热阴...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿少飞，曹建勇，魏会领，周博文，余珮炫，罗怀宇，杨宪福，周红霞，
申请(专利权)人：核工业西南物理研究院，
类型：新型
国别省市：