【技术实现步骤摘要】
一种真空分子泵的抽速调节装置
[0001]本技术涉及分子泵配套辅助设备
,具体为一种真空分子泵的抽速调节装置。
技术介绍
[0002]分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵;通常来说,通过调节分子泵转速,来调节气体的抽速,从而改变工艺压力;但是分子泵转速调节因分子泵的特性不同,调节范围有一定的限制;另外,分子泵的寿命也和自身转速有密切关系,运行在最佳转速时寿命最长,通过调节分子泵转速的方式调节工艺压力,对分子泵寿命有所影响。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种真空分子泵的抽速调节装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种真空分子泵的抽速调节装置,包括:分子泵壳体、连接座、连接支架、驱动电机、驱动丝杆、螺纹圈、调节盖板、滑套、滑柱,所述的分子泵壳体为分子泵的主壳体,所述的连接座为圆环形,连接座固接在分子泵壳体进气口的端口内侧,所述的驱动电机通过连接支架固接在连接座的中心位置,所述的驱动丝杆固接在驱动电机的输出轴上,所述的调节盖板为圆盘形,调节盖板的半径与连接座内孔半径对应,所述的螺纹圈固接在调节盖板的中心位置,且螺纹圈与驱动丝杆通过螺纹连接,所述的滑套设置有多个,多个滑套均匀固接在调节盖板的外侧,所述的滑柱竖直固接在连接座的上端面,且滑柱滑动连接在滑套内。
[0005]进一步的,所述的分子泵壳体上设置有连接线通孔,连接线通孔供驱动电机的信号线 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空分子泵的抽速调节装置,包括:分子泵壳体(1)、连接座(2)、连接支架(3)、驱动电机(4)、驱动丝杆(5)、螺纹圈(6)、调节盖板(7)、滑套(8)、滑柱(9),所述的分子泵壳体(1)为分子泵的主壳体,其特征在于,所述的连接座(2)为圆环形,连接座(2)固接在分子泵壳体(1)进气口的端口内侧,所述的驱动电机(4)通过连接支架(3)固接在连接座(2)的中心位置,所述的驱动丝杆(5)固接在驱动电机(4)的输出轴上,所述的调节盖板(7)为圆盘形,调节盖板(7)的半径与连接座(2)内孔半径对应,所述的螺纹圈(6)固接在调节盖板...
【专利技术属性】
技术研发人员:龚鹰,
申请(专利权)人:上海敦隆机电有限公司,
类型:新型
国别省市:
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