功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的安装方法技术

本发明专利技术功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的安装方法属于半导体器件测试技术领域；该方法首先将调整件倒置，将环形磁铁套在接触端上，并旋拧上磁铁固定端，将环形磁铁固定；然后将调整件正置，调整件的接触端旋拧入泄压孔中；再将阀门件倒置，将下方粘贴有密封垫的圆形磁铁放入阀门件的阶梯通孔中；接着将遮挡环安装在阀门件的阶梯通孔中；最后将阀门件正置，将阀门件的连接件旋拧入泄压孔中；本发明专利技术功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的安装方法应用于功率器件测试探针卡，能够同时抑制高电压环境下探针之间非正常放电和高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移。境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移。境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移。

【技术实现步骤摘要】
功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的安装方法
[0001]本申请是专利技术专利申请《功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构及其安装标定方法》的分案申请。
[0002]原案申请日：2020
‑
07
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01。
[0003]原案申请号：2020106210545。
[0004]原案专利技术名称：功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构及其安装标定方法。


[0005]本专利技术功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的安装方法属于半导体器件测试


技术介绍

[0006]随着MEMS技术和半导体技术的不断发展，小型化高功率器件的产量逐年攀升。很多器件要在高电压和高温度环境下进行工作。确保这些器件能够在如此恶劣环境下正常工作，需要用探针卡对其性能进行测试。
[0007]功率器件测试的一项重要指标是击穿电压，该电压可以高达几千伏，在如此高电压下进行测试，探针卡的探针之间就可能产生非正常放电现象，瞬间就可以损坏测试设备以及被测晶圆。
[0008]功率器件测试的另一项重要指标是工作温度，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的安装方法，其特征在于，所述功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构在进气系统（1）上设置有泄压孔（1
‑
3），所述泄压孔（1
‑
3）内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件（1
‑
5），所述调整件（1
‑
5）包括截面为T形、中间具有通孔的接触端（1
‑5‑
1），环形磁铁（1
‑5‑
2）和上磁铁固定端（1
‑5‑
3），所述接触端（1
‑5‑
1）宽部侧壁套有螺纹，用于旋拧在泄压孔（1
‑
3）内壁，窄部设置有环形磁铁（1
‑5‑
2），窄部侧壁套有螺纹，所述上磁铁固定端（1
‑5‑
3）内壁攻有螺纹，用于旋拧在接触端（1
‑5‑
1）窄部侧壁，接触端（1
‑5‑
1）宽部下方与上磁铁固定端（1
‑5‑
3）上方将环形磁铁（1
‑5‑
2）固定；所述泄压孔（1
‑
3）内壁还旋拧有阀门件（1
‑
4），所述阀门件（1
‑
4）包括截面为倒T形、中间具有上窄下宽阶梯通孔的连接件（1
‑4‑
1），所述连接件（1
‑4‑
1）窄部侧壁套有螺纹，用于旋拧在泄压孔（1
‑
3）内壁，所述阶梯通孔的宽部放置有圆形磁铁（1
‑4‑
2），所述圆形磁铁（1
‑4‑
2...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵梁玉，王艾琳，王兴刚，周明，
申请(专利权)人：强一半导体苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：