一种滤波方法、滤波电路技术

本申请实施例提供了滤波方法、滤波电路，用于对测量半导体设备的工艺腔室温度的热电偶输出的电压信号进行滤波，该方法包括：将热电偶输出的电压信号放大预设倍数，得到经过放大的电压信号；对经过放大的电压信号进行有源低通滤波，得到经过有源低通滤波的电压信号；对经过有源低通滤波的电压信号进行有源带阻滤波，得到经过有源带阻滤波的电压信号；将经过有源带阻滤波的电压信号缩小预设倍数，得到该电压信号对应的经过滤波的电压信号。本实施例得到的经过滤波的电压信号可以较为精确的表示工艺腔室的温度，当利用经过滤波的电压信号对工艺腔室的温度进行控制时，可以较为精确地对工艺腔室的温度进行控制。地对工艺腔室的温度进行控制。地对工艺腔室的温度进行控制。

【技术实现步骤摘要】
一种滤波方法、滤波电路


[0001]本申请涉及半导体领域，具体涉及滤波方法、滤波电路。

技术介绍

[0002]工艺腔室的温度对半导体器件的制造过程中的很多工艺环节具有重要影响。例如，薄膜制备过程中的在衬底表面沉积形成固体薄膜的关键工艺环节，工艺腔室的温度不仅是决定薄膜中元素反应快慢及程度的关键因素并且对薄膜的致密度、均匀性均有重要影响。因此，需要对工艺腔室的温度控制进行精确地控制。热电偶是被广泛应用的测量温度的元件。由于工业环境中诸如高频信号的干扰，热电偶输出的电压信号除了包括可以较为精确地表示工艺腔室的温度的电压信号，还包括叠加在较为精确地表示工艺腔室的温度的电压信号上的诸如高频信号的干扰信号，导致热电偶输出的电压信号表示的工艺腔室的温度不精确。若由温控表直接利用热电偶输出的电压信号进行温控，由于热电偶输出的电压信号表示的温度不准确，导致温控不精确。

技术实现思路

[0003]为克服相关技术中存在的问题，本申请提供一种滤波方法、滤波电路。
[0004]根据本申请实施例的第一方面，提供一种滤波方法，包括：
[0005]将用于测量半导体设备的工艺腔室的温度的热电偶输出的电压信号放大预设倍数，得到经过放大的电压信号；
[0006]对经过放大的电压信号进行有源低通滤波，得到经过有源低通滤波的电压信号；
[0007]对经过有源低通滤波的电压信号进行有源带阻滤波，得到经过有源带阻滤波的电压信号；
[0008]将经过有源带阻滤波的电压信号缩小预设倍数，得到所述热电偶输出的电压信号对应的经过滤波的电压信号。
[0009]在一些实施例中，所述热电偶为热电动势小于预设电动势阈值的S型热电偶。
[0010]在一些实施例中，对经过放大的电压信号进行有源低通滤波，得到经过有源低通滤波的电压信号包括：
[0011]利用二阶有源低通滤波电路滤除经过放大的电压信号中的高频信号，得到经过有源低通滤波的电压信号。
[0012]在一些实施例中，对经过有源低通滤波的电压信号进行有源带阻滤波，得到经过有源带阻滤波的电压信号包括：
[0013]利用有源带阻滤波电路滤除经过有源低通滤波的电压信号中设定频率的工频信号，得到经过有源带阻滤波的电压信号。
[0014]在一些实施例中，还包括：
[0015]以预设软件滤波方式对热电偶输出的多个电压信号中的每一个电压信号各自对应的经过滤波的电压信号进行处理，得到用于温控的电压信号；
[0016]将用于温控的电压信号输入到温控表，以由温控表基于当前电压信号，控制加热元件的输出功率，加热元件用于对工艺腔室进行加热。
[0017]根据本申请实施例的第二方面，提供一种滤波电路，包括：
[0018]信号放大电路，被配置为对用于测量半导体设备的工艺腔室的温度的热电偶输出的电压信号放大预设倍数，得到经过放大的电压信号；
[0019]有源低通滤波电路，被配置为对经过放大的电压信号进行有源低通滤波，得到经过有源低通滤波的电压信号；
[0020]有源带阻滤波电路，被配置为对经过有源低通滤波的电压信号进行有源带阻滤波，得到经过有源带阻滤波的电压信号；
[0021]滤波信号生成电路，被配置为将经过有源带阻滤波的电压信号缩小预设倍数，得到所述热电偶输出的电压信号对应的经过滤波的电压信号。
[0022]在一些实施例中，所述热电偶为热电动势小于预设电动势阈值的S型热电偶。
[0023]在一些实施例中，有源低通滤波电路为截止频率小于预设频率的二阶有源低通滤波电路。
[0024]在一些实施例中，有源带阻滤波电路为双T带阻滤波电路，有源带阻滤波电路进一步被配置为滤除经过有源低通滤波的电压信号中设定频率的工频信号。
[0025]在一些实施例中，信号放大电路包括：第一差分信号放大电路与第一差分信号放大电路的输出端连接的第一低通滤波电路，第一差分信号放大电路用于对热电偶输出的电压信号放大预设倍数，第一低通滤波电路用于滤除第一差分信号放大电路的输出端输出的电压信号中的交流干扰信号；滤波信号生成电路包括：第二差分信号放大电路与第二差分信号放大电路的输出端连接的第二低通滤波电路，第二差分信号放大电路用于将经过有源带阻滤波的电压信号缩小预设倍数，第二低通滤波电路用于滤除第二差分信号放大电路的输出端输出的电压信号中的交流干扰信号。
[0026]本申请实施例提供的滤波方法、滤波电路，通过将用于测量半导体设备的工艺腔室的温度的热电偶输出的电压信号放大预设倍数，得到经过放大的电压信号；对经过放大的电压信号进行有源低通滤波，得到经过有源低通滤波的电压信号；对经过有源低通滤波的电压信号进行有源带阻滤波，得到经过有源带阻滤波的电压信号；将经过有源带阻滤波的电压信号缩小预设倍数，得到电压信号对应的经过滤波的电压信号。实现了对用于测量半导体设备的工艺腔室的温度的热电偶输出的电压信号进行滤波，滤除造成干扰的信号，得到可以较为精确的表示半导体设备的工艺腔室的温度的电压信号即热电偶输出的电压信号对应的经过滤波的电压信号。从而，当热电偶输出的电压信号对应的经过滤波的电压信号被用于工艺腔室的温度控制时，温控表可以根据热电偶输出的电压信号对应的经过滤波的电压信号、电压信号与温度的对应关系，得到较为精确的工艺腔室的温度，从而可以根据较为精确的工艺腔室的温度，控制用于对工艺腔室进行加热的加热元件的输出功率，进而较为精确地对工艺腔室的温度进行控制。
附图说明
[0027]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
[0028]图1示出了本申请实施例提供的滤波方法的流程图；
[0029]图2示出了通过有源低通滤波对高频信号的幅值进行衰减的效果示意图；
[0030]图3示出了通过有源带阻滤波对非高频干扰信号的幅值进行衰减的效果示意图；
[0031]图4示出了本申请实施例提供的滤波电路的结构框图；
[0032]图5示出了滤波电路的一个结构示意图。
具体实施方式
[0033]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关专利技术相关的部分。
[0034]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0035]图1示出了本申请实施例提供的滤波方法的流程图，该方法包括：
[0036]步骤101，将用于测量半导体设备的工艺腔室的温度的热电偶输出的电压信号放大预设倍数，得到经过放大的电压信号。
[0037]步骤101
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104示例性地示出在对该热电偶输出的一个电压信号进行滤波的过程中执行的步骤。该热电偶每一次对工艺腔室进行温度测量，均可以输出一个表示工艺腔室的温度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滤波方法，其特征在于，所述方法包括：将用于测量半导体设备的工艺腔室温度的热电偶输出的电压信号放大预设倍数，得到经过放大的电压信号；对所述经过放大的电压信号进行有源低通滤波，得到经过有源低通滤波的电压信号；对所述经过有源低通滤波的电压信号进行有源带阻滤波，得到经过有源带阻滤波的电压信号；将所述经过有源带阻滤波的电压信号缩小所述预设倍数，得到所述热电偶输出的电压信号对应的经过滤波的电压信号。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述热电偶为热电动势小于预设电动势阈值的S型热电偶。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述经过放大的电压信号进行有源低通滤波，得到经过有源低通滤波的电压信号包括：利用二阶有源低通滤波电路滤除所述经过放大的电压信号中的高频信号，得到经过有源低通滤波的电压信号。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述经过有源低通滤波的电压信号进行有源带阻滤波，得到经过有源带阻滤波的电压信号包括：利用有源带阻滤波电路滤除经过有源低通滤波的电压信号中设定频率的工频信号，得到经过有源带阻滤波的电压信号。5.根据权利要求1
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4中任意一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：以预设软件滤波方式对所述热电偶输出的多个电压信号中的每一个电压信号各自对应的经过滤波的电压信号进行处理，得到用于温控的电压信号；将所述用于温控的电压信号输入到温控表，以由所述温控表基于当前电压信号控制加热元件的输出功率，所述加热元件用于对所述工艺腔室进行加热。6.一种滤波电路，其特征在于，所述滤波电路包括：信号放大电路，被配置为对用于测量半导体设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：张颖，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：