高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器及其制作方法；传统的利用电荷收集变窄机制来实现窄带探测的方法在淬灭掉短波长载流子的同时也使目的波长的外量子效率受到显著损耗。本发明专利技术包括钙钛矿吸收层Ⅰ、电子阻挡层、钙钛矿吸收层Ⅱ、电子传输层、阳极电极和阴极电极。钙钛矿吸收层Ⅰ、电子阻挡层、钙钛矿吸收层Ⅱ、电子传输层依次排列在阳极电极与阴极电极之间。钙钛矿吸收层Ⅰ和电子阻挡层为P型；钙钛矿吸收层Ⅱ和电子传输层为N型；电子阻挡层与钙钛矿吸收层Ⅱ形成异质PN结。本发明专利技术具有实现高光响应、高比探测率、高外量子效率和小于20nm的半峰全宽的窄探测的功能，且外加偏置电压完全不会影响器件的窄带效果。置电压完全不会影响器件的窄带效果。置电压完全不会影响器件的窄带效果。

【技术实现步骤摘要】
高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器及其制作方法


[0001]本专利技术属于窄带光电探测
，具体涉及一种高EQE和低FWHM的钙钛矿窄带光电探测器及其制作方法。

技术介绍

[0002]窄带光电探测技术是一种光谱选择性光电探测技术，在当代生活中应用范围不断扩展，比如：在光学成像、机器视觉、光通信、气候检测、光谱学等领域。在这些领域中，只需要检测特定波长范围内的光，而其他波长范围的光需要被拒绝或不对光电探测器产生反应。所以窄带光电探测器作为光谱选择探测领域的核心器件，愈加受到了研究人员的关注和重视。其中，外量子效率(EQE)和半峰全宽(FWHM)是衡量窄带光电探测器探测能力的关键性因素。因此，设计具有高的外量子效率和低的半峰全宽的器件结构具有重要的意义和使用价值。
[0003]传统的窄带光电探测器通常通过下面四种方法来实现：(1)通过将宽带光电探测器与滤光片相结合；(2)通过等离子体激元效应有意增强特定波长范围内的吸收；(3)通过使用具有窄带吸收的光敏材料；(4)通过形成高密度表面缺陷或加入复合中心来淬灭短波长光生载流子的电荷收集变本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器，其特征在于：包括依次排列相连的阳极电极(5)、钙钛矿吸收层Ⅰ(1)、电子阻挡层(2)、钙钛矿吸收层Ⅱ(3)、电子传输层(4)和阴极电极(6)；钙钛矿吸收层Ⅰ(1)和电子阻挡层(2)为P型；钙钛矿吸收层Ⅱ(3)和电子传输层(4)为N型；电子阻挡层(2)与钙钛矿吸收层Ⅱ(3)形成异质PN结。2.根据权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器，其特征在于：所述电子阻挡层(2)的材料采用Spiro
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OMeTAD。3.根据权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器，其特征在于：所述钙钛矿吸收层Ⅰ(1)的厚度为1
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2μm。4.根据权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器，其特征在于：所述钙钛矿吸收层Ⅰ(1)的厚度为1.5μm。5.根据权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器，其特征在于：所述钙钛矿吸收层Ⅱ(3)的厚度为31μm；所述电子传输层(4)的厚度为0.02μm
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0.1μm；所述阳极电极(5)的厚度可选为0.15μm
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0.3μm；所述阴极电极(6)的厚度可选为0.1μm
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0.5μm。6.根据权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器，其特征在于：所述阳极电极(5)的材料采用ITO；所述阴极电极(6)的材料采用Ag；...

【专利技术属性】
技术研发人员：李宜原，张钰，逯鑫淼，张辉朝，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：